光電半導體製程尾氣管理系統
- 技術司可移轉技術資料集 @ 經濟部

技術名稱-中文光電半導體製程尾氣管理系統的執行單位是工研院環安中心, 產出年度是93, 計畫名稱是產業環境與安全衛生應用技術發展計畫, 技術規格是‧製程機台、化學品與製程尾氣網路介面之電腦化管理系統 ‧製程機台排氣管路編輯系統 ‧化學品可能洩漏源搜尋系統, 潛力預估是與製程尾氣資料庫結合,提供現場人員可能之管線洩漏位置,迅速解決所發生之空氣品質異常狀態。.

序號359
產出年度93
技術名稱-中文光電半導體製程尾氣管理系統
執行單位工研院環安中心
產出單位(空)
計畫名稱產業環境與安全衛生應用技術發展計畫
領域(空)
已申請專利之國家(空)
已獲得專利之國家(空)
技術現況敘述-中文光電半導體製程氣體洩漏之洩漏源搜尋過程中,除了有製程原物料與製程尾氣之資料外,更需要化學物質在管路系統中的流動情形,才能迅速縮小搜尋範圍,立即找出洩漏管線之位置。光電半導體製程尾氣管理系統能提供專用的製程管線排氣圖示系統,並與製程尾氣資料庫結合搜尋,提供現場人員可能之管線洩漏位置,迅速解決所發生之空氣品質異常狀態。
技術現況敘述-英文(空)
技術規格‧製程機台、化學品與製程尾氣網路介面之電腦化管理系統 ‧製程機台排氣管路編輯系統 ‧化學品可能洩漏源搜尋系統
技術成熟度其他
可應用範圍使用特殊化學品作為生產原料之光電半導體晶圓廠
潛力預估與製程尾氣資料庫結合,提供現場人員可能之管線洩漏位置,迅速解決所發生之空氣品質異常狀態。
聯絡人員呂建豪
電話(03) 5915027
傳真(03) 5915027
電子信箱ghleu@itri.org.tw
參考網址http://www.cesh.itri.org.tw
所須軟硬體設備
需具備之專業人才光電半導體晶片與面板製造廠商 ‧光電半導體製程尾氣處理設備製造廠商 ‧光電半導體毒氣監控系統整合廠商

序號

359

產出年度

93

技術名稱-中文

光電半導體製程尾氣管理系統

執行單位

工研院環安中心

產出單位

(空)

計畫名稱

產業環境與安全衛生應用技術發展計畫

領域

(空)

已申請專利之國家

(空)

已獲得專利之國家

(空)

技術現況敘述-中文

光電半導體製程氣體洩漏之洩漏源搜尋過程中,除了有製程原物料與製程尾氣之資料外,更需要化學物質在管路系統中的流動情形,才能迅速縮小搜尋範圍,立即找出洩漏管線之位置。光電半導體製程尾氣管理系統能提供專用的製程管線排氣圖示系統,並與製程尾氣資料庫結合搜尋,提供現場人員可能之管線洩漏位置,迅速解決所發生之空氣品質異常狀態。

技術現況敘述-英文

(空)

技術規格

‧製程機台、化學品與製程尾氣網路介面之電腦化管理系統 ‧製程機台排氣管路編輯系統 ‧化學品可能洩漏源搜尋系統

技術成熟度

其他

可應用範圍

使用特殊化學品作為生產原料之光電半導體晶圓廠

潛力預估

與製程尾氣資料庫結合,提供現場人員可能之管線洩漏位置,迅速解決所發生之空氣品質異常狀態。

聯絡人員

呂建豪

電話

(03) 5915027

傳真

(03) 5915027

電子信箱

ghleu@itri.org.tw

參考網址

http://www.cesh.itri.org.tw

所須軟硬體設備

需具備之專業人才

光電半導體晶片與面板製造廠商 ‧光電半導體製程尾氣處理設備製造廠商 ‧光電半導體毒氣監控系統整合廠商

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智慧型多點採樣FTIR氣體分析

執行單位: 工研院綠能所 | 產出年度: 101 | 產出單位: | 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: (1)採樣點 : 8 - 40 點; (2)偵測下限: 對於大多數氣體 1-10 ppm; (3)單點可監測物種 : 最多可達20種; (4)採樣速度 : 每15 秒 一點; (5)可監測氣體種類 ... | 潛力預估:

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氣體解析系統及方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 7,472,023 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院能環所 | 產出年度: 98 | 計畫名稱: 能源與環境領域環境建構計畫 | 專利發明人: 呂建豪 ,邱信夫 ,顏紹儀 ,王光聖 ,施惠雅 ,

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製程氣體洩漏源偵測系統與方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 7,528,373 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院能環所 | 產出年度: 98 | 計畫名稱: 能源與環境領域環境建構計畫 | 專利發明人: 呂建豪 ,顏紹儀 ,施惠雅 ,游生任 ,

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過程氣體泄漏源檢測系統與方法

核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200610074008.8 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院能環所 | 產出年度: 98 | 計畫名稱: 能源與環境領域環境建構計畫 | 專利發明人: 呂建豪 ,顏紹儀 ,施惠雅 ,游生任 ,

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氣體洩漏判別方法及系統

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I449907 | 專利期間起: 120/12/28 | 專利期間訖: 氣體洩漏判別方法及系統 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院綠能所 | 產出年度: 103 | 計畫名稱: 健康生活產業環安技術開發計畫 | 專利發明人: 呂建豪 ,顏紹儀 ,游生任

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氣體解析系統及方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 7472023 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院能環所 | 產出年度: 98 | 計畫名稱: 能源與環境領域環境建構計畫 | 專利發明人: 呂建豪 ,邱信夫 ,顏紹儀 ,王光聖 ,施惠雅 ,

@ 技術司專利資料集

製程氣體洩漏源偵測系統與方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 7528373 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院能環所 | 產出年度: 98 | 計畫名稱: 能源與環境領域環境建構計畫 | 專利發明人: 呂建豪 ,顏紹儀 ,施惠雅 ,游生任 ,

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自氟化氣體回收氫氟酸的方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 190306 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院環安中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 | 專利發明人: 周崇光, 呂建豪, 邱信夫, 吳學翰

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智慧型多點採樣FTIR氣體分析

執行單位: 工研院綠能所 | 產出年度: 101 | 產出單位: | 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 | 領域: 民生福祉 | 技術規格: (1)採樣點 : 8 - 40 點; (2)偵測下限: 對於大多數氣體 1-10 ppm; (3)單點可監測物種 : 最多可達20種; (4)採樣速度 : 每15 秒 一點; (5)可監測氣體種類 ... | 潛力預估:

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氣體解析系統及方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 7,472,023 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院能環所 | 產出年度: 98 | 計畫名稱: 能源與環境領域環境建構計畫 | 專利發明人: 呂建豪 ,邱信夫 ,顏紹儀 ,王光聖 ,施惠雅 ,

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製程氣體洩漏源偵測系統與方法

核准國家: 美國 | 證書號碼: 7,528,373 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院能環所 | 產出年度: 98 | 計畫名稱: 能源與環境領域環境建構計畫 | 專利發明人: 呂建豪 ,顏紹儀 ,施惠雅 ,游生任 ,

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核准國家: 中國大陸 | 證書號碼: ZL200610074008.8 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院能環所 | 產出年度: 98 | 計畫名稱: 能源與環境領域環境建構計畫 | 專利發明人: 呂建豪 ,顏紹儀 ,施惠雅 ,游生任 ,

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氣體洩漏判別方法及系統

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: I449907 | 專利期間起: 120/12/28 | 專利期間訖: 氣體洩漏判別方法及系統 | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院綠能所 | 產出年度: 103 | 計畫名稱: 健康生活產業環安技術開發計畫 | 專利發明人: 呂建豪 ,顏紹儀 ,游生任

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氣體解析系統及方法

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製程氣體洩漏源偵測系統與方法

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自氟化氣體回收氫氟酸的方法

核准國家: 中華民國 | 證書號碼: 190306 | 專利期間起: | 專利期間訖: | 專利性質: 發明 | 執行單位: 工研院環安中心 | 產出年度: 93 | 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 | 專利發明人: 周崇光, 呂建豪, 邱信夫, 吳學翰

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H.264視訊編解碼系統

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 本技術符合視訊壓縮標準ITU-T Rec. H.264 Baseline Profile Level 1.3 | 潛力預估: 根據工研院IEK (2004.10)的資料,2003年全球MPEG IC的產值為1,838百萬美元,而到2007年,由於數位電視產業的興起,使得整體MPEG IC產值高達3,149百萬美元,其中MPE...

支援多重輸入輸出之智慧型無線模式交換器

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 符合不同無線通訊系統之介面規格。 | 潛力預估: 預期藉由多模產品的多樣性,可擴大系統廠商的客層,並藉由可重置系統降低硬體成本,預期可大幅提升廠商的獲利空間。

光通道性能監視新技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 多波道WDM訊號量測, OSNR監視模組可量動態範圍約5~35dB,誤差值在0.5dB以內。 | 潛力預估: 本技術可用來協助國內 光通訊系統廠商, 測試儀器廠及建立”光通道性能監控量測模組”或運用於光通量測儀器設計, 並可協助元件廠商提昇光元件檢測的品質指標。

AiP (Antenna in Package) 技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 天線模組尺寸小於20 × 20 × 3 mm3,天線頻寬於2.4 GHz達到70 MHz。 | 潛力預估: 小型化無線區域網路Dongle卡、高整合度之完整前端模組設計

多頻帶車用系統天線技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 1.車用天線單元與場型控制技術:開發高增益低姿勢車用天線、垂向輻射天線場型控制之天線、寬頻圓極化全向性天線、全向性水平輻射天線場型控制之天線、超寬頻(UWB)或滿足802.16通訊系統之天線、全向性水... | 潛力預估: 預期於未來幾年內,相關的車用天線系統之需求將會大幅增加,而多頻帶車用天線系統技術開發正是希望能領導未來車用天線的市場。本計畫在兩年的執行上在天線設計、車體對天線效應模擬與射頻前端模組上都已有相當豐盛的...

螺旋字串比對法/字元間距分群法

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 字串比對技術 | 潛力預估: 可套用至廠商原有產品之內,提昇系統效能以提高產品競爭力

錄音語料庫壓縮合成技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 壓縮位元率1200 bps。 | 潛力預估: 在產值達新台幣40億電子字典產業上,可提升電子字典IC產業單晶片系統( SOC)的發展。

行動訊息服務互通平台規格

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 系統規格設計、程式架構設計 | 潛力預估: 訊息服務目前已成為網際網路和行動通訊網路中成長最快的服務之一,而訊息互通是一必然之需求。

Flexible Power Management for DTV system intended for a power-limited receiver device

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 架構與演算法設計 | 潛力預估: 所發展的 FGS 視音訊編碼與 time-slicing 串流跨層整合技術,可直接應用於數位電視廣播傳輸中提供接收終端彈性管理功耗的機制,不僅與下層(實體層)的歐規新興標準 DVB-H 相容,更與國際...

Java Phone

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 1. JTWI compliant, include CLDC 1.1, MIDP 2.0, WMA 1.1, MMAPI 2. 100% TCK compliant 3. Jbenchmark v1... | 潛力預估: 預計至公元 2010 年將引導廠商投資金額約新台幣 4,700 萬元,促進產值約新台幣 31億元

MIA9 FPGA共通平台系統-嵌入式系統軟體技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 1. ARM9 based Embedded Linux 2. 支援 timer、DMA、interrupt、UART、Flash、LCD 等 drivers 3. 支援 Multimedia功能,如... | 潛力預估: ARM 處理器已普遍為嵌入式系統所使用,含 Intel、TI 等,搭配上 Linux 自由開放且穩定的作業系統,將使產品更具競爭力。

伺服器集中控管機制技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 符合 IPMI 國際標準 | 潛力預估: 未來伺服器集中式控管是一大趨勢,除了網路安全管理之外,可以應用在一般機器管理。

智慧型網路安全分析與偵測技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 1. 建立紀錄分析格式 2. 訂定無線監控偵測樣式 | 潛力預估: 隨著網路安全事件急遽增加,對於事件的判斷與分析更需要精確,故需要蒐集各方面的詳盡資訊

Web Service安全技術-XKMS及SAML

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 1.符合W3C國際標準 2.符合OASIS國際標準SAML | 潛力預估: 隨著網路應用的發達及XML與研的廣被接受,對於相關應用的安全問題必須提供容易整合、足夠完整及簡單易用的方式,此兩項技術恰符合此一趨勢

英語單詞語音辨識技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 1.建立美國腔與台灣腔聲學模型。 2.完成英文語音指令辨識技術。 | 潛力預估: 提供國內業界一個自行掌握的英語辨識核心技術的管道。

H.264視訊編解碼系統

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 本技術符合視訊壓縮標準ITU-T Rec. H.264 Baseline Profile Level 1.3 | 潛力預估: 根據工研院IEK (2004.10)的資料,2003年全球MPEG IC的產值為1,838百萬美元,而到2007年,由於數位電視產業的興起,使得整體MPEG IC產值高達3,149百萬美元,其中MPE...

支援多重輸入輸出之智慧型無線模式交換器

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 符合不同無線通訊系統之介面規格。 | 潛力預估: 預期藉由多模產品的多樣性,可擴大系統廠商的客層,並藉由可重置系統降低硬體成本,預期可大幅提升廠商的獲利空間。

光通道性能監視新技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 多波道WDM訊號量測, OSNR監視模組可量動態範圍約5~35dB,誤差值在0.5dB以內。 | 潛力預估: 本技術可用來協助國內 光通訊系統廠商, 測試儀器廠及建立”光通道性能監控量測模組”或運用於光通量測儀器設計, 並可協助元件廠商提昇光元件檢測的品質指標。

AiP (Antenna in Package) 技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 天線模組尺寸小於20 × 20 × 3 mm3,天線頻寬於2.4 GHz達到70 MHz。 | 潛力預估: 小型化無線區域網路Dongle卡、高整合度之完整前端模組設計

多頻帶車用系統天線技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 1.車用天線單元與場型控制技術:開發高增益低姿勢車用天線、垂向輻射天線場型控制之天線、寬頻圓極化全向性天線、全向性水平輻射天線場型控制之天線、超寬頻(UWB)或滿足802.16通訊系統之天線、全向性水... | 潛力預估: 預期於未來幾年內,相關的車用天線系統之需求將會大幅增加,而多頻帶車用天線系統技術開發正是希望能領導未來車用天線的市場。本計畫在兩年的執行上在天線設計、車體對天線效應模擬與射頻前端模組上都已有相當豐盛的...

螺旋字串比對法/字元間距分群法

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 字串比對技術 | 潛力預估: 可套用至廠商原有產品之內,提昇系統效能以提高產品競爭力

錄音語料庫壓縮合成技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 壓縮位元率1200 bps。 | 潛力預估: 在產值達新台幣40億電子字典產業上,可提升電子字典IC產業單晶片系統( SOC)的發展。

行動訊息服務互通平台規格

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 系統規格設計、程式架構設計 | 潛力預估: 訊息服務目前已成為網際網路和行動通訊網路中成長最快的服務之一,而訊息互通是一必然之需求。

Flexible Power Management for DTV system intended for a power-limited receiver device

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 架構與演算法設計 | 潛力預估: 所發展的 FGS 視音訊編碼與 time-slicing 串流跨層整合技術,可直接應用於數位電視廣播傳輸中提供接收終端彈性管理功耗的機制,不僅與下層(實體層)的歐規新興標準 DVB-H 相容,更與國際...

Java Phone

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 1. JTWI compliant, include CLDC 1.1, MIDP 2.0, WMA 1.1, MMAPI 2. 100% TCK compliant 3. Jbenchmark v1... | 潛力預估: 預計至公元 2010 年將引導廠商投資金額約新台幣 4,700 萬元,促進產值約新台幣 31億元

MIA9 FPGA共通平台系統-嵌入式系統軟體技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 1. ARM9 based Embedded Linux 2. 支援 timer、DMA、interrupt、UART、Flash、LCD 等 drivers 3. 支援 Multimedia功能,如... | 潛力預估: ARM 處理器已普遍為嵌入式系統所使用,含 Intel、TI 等,搭配上 Linux 自由開放且穩定的作業系統,將使產品更具競爭力。

伺服器集中控管機制技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 符合 IPMI 國際標準 | 潛力預估: 未來伺服器集中式控管是一大趨勢,除了網路安全管理之外,可以應用在一般機器管理。

智慧型網路安全分析與偵測技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 1. 建立紀錄分析格式 2. 訂定無線監控偵測樣式 | 潛力預估: 隨著網路安全事件急遽增加,對於事件的判斷與分析更需要精確,故需要蒐集各方面的詳盡資訊

Web Service安全技術-XKMS及SAML

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 1.符合W3C國際標準 2.符合OASIS國際標準SAML | 潛力預估: 隨著網路應用的發達及XML與研的廣被接受,對於相關應用的安全問題必須提供容易整合、足夠完整及簡單易用的方式,此兩項技術恰符合此一趨勢

英語單詞語音辨識技術

執行單位: 工研院電通所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院通訊與光電領域環境建構計畫 | 領域: | 技術規格: 1.建立美國腔與台灣腔聲學模型。 2.完成英文語音指令辨識技術。 | 潛力預估: 提供國內業界一個自行掌握的英語辨識核心技術的管道。

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