半導體隔離應用技術
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技術名稱-中文半導體隔離應用技術的執行單位是工研院機械所, 產出年度是94, 計畫名稱是精密機械技術研究發展四年計畫, 技術規格是符合SEMI標準;潔淨等級Class 1或更佳;表面阻抗≦10^5 Ohms/sq;MCBF>25,000次。, 潛力預估是提供晶圓廠中光罩儲存傳送及載入機台更物美價廉的解決方案.

序號1034
產出年度94
技術名稱-中文半導體隔離應用技術
執行單位工研院機械所
產出單位(空)
計畫名稱精密機械技術研究發展四年計畫
領域(空)
已申請專利之國家(空)
已獲得專利之國家(空)
技術現況敘述-中文1. 符合SEMI標準。2. 模組化簡潔設計。3. 壓接或卡接組裝方式,無金屬零件。4. 靜電防護設計。5. 低有機物質釋出材料。
技術現況敘述-英文(空)
技術規格符合SEMI標準;潔淨等級Class 1或更佳;表面阻抗≦10^5 Ohms/sq;MCBF>25,000次。
技術成熟度試量產
可應用範圍6吋光罩盒
潛力預估提供晶圓廠中光罩儲存傳送及載入機台更物美價廉的解決方案
聯絡人員吳宗明
電話(03) 5917764
傳真(06) 693905
電子信箱TMWu@itri.org.tw
參考網址http://www.itri.org.tw/
所須軟硬體設備半導體相關設備
需具備之專業人才半導體設備相關背景
同步更新日期2023-07-22

序號

1034

產出年度

94

技術名稱-中文

半導體隔離應用技術

執行單位

工研院機械所

產出單位

(空)

計畫名稱

精密機械技術研究發展四年計畫

領域

(空)

已申請專利之國家

(空)

已獲得專利之國家

(空)

技術現況敘述-中文

1. 符合SEMI標準。2. 模組化簡潔設計。3. 壓接或卡接組裝方式,無金屬零件。4. 靜電防護設計。5. 低有機物質釋出材料。

技術現況敘述-英文

(空)

技術規格

符合SEMI標準;潔淨等級Class 1或更佳;表面阻抗≦10^5 Ohms/sq;MCBF>25,000次。

技術成熟度

試量產

可應用範圍

6吋光罩盒

潛力預估

提供晶圓廠中光罩儲存傳送及載入機台更物美價廉的解決方案

聯絡人員

吳宗明

電話

(03) 5917764

傳真

(06) 693905

電子信箱

TMWu@itri.org.tw

參考網址

http://www.itri.org.tw/

所須軟硬體設備

半導體相關設備

需具備之專業人才

半導體設備相關背景

同步更新日期

2023-07-22

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EN957-6跑步機穩定性測試技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 前進方向穩定性最大10度,其他方向最大5度 | 潛力預估: 提供相關業者具公正客觀之電動跑步機穩定性測試, 提升產品品質

車輛動態特性量測

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: 其它(驗證技術) | 潛力預估: 車用資料擷取器、車速計、方向盤角度扭力計、陀螺儀、壓力計、加速規、高度計、踏力計、行程計、輪速計等

自動轉向燈控制系統開發

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: Outlet interface: LIN 2.0 Auto-leveling sense resolution:0.3±0.1° controlbox size:60*60*40mm | 潛力預估: 以國內車燈修補市場頭燈為目標,增加其產品動態輔助照明特色,期粉幫助燈廠提升其售價與產量。日後更可應對國外燈系皆為車身網路接口之修補燈市場,若能即時掌握市場方向與關鍵技術,應有與車廠合作車燈開發設計機會...

車用馬達寬頻電磁雜訊產品改良技術

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: 寬頻傳導干擾和輻射干擾符合CISPR 25 Level 4要求。 | 潛力預估: 對策後之馬達可符合大部分車廠廠規EMI要求,進而提昇產品競爭力及建立自主開發技術。

真空鍍膜傳輸模組技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 模組化真空腔體技術,極限真空可達10-5 ~10-7 Torr,洩漏量:1×10-3Torr/hr以內, 張力自動控制:3~25Kg | 潛力預估: 影響之產業產值總體可達15億元

表面顯微量測技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 顯微線路量測模組:手動、自動量測符合3標準差規範 20X | 潛力預估: 可搶攻AOI國外設備廠商市場,極具市場潛力

SCF微奈米自動化清洗系統技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: RIE後殘留物去除率>95%;微粒去除率>0.5μm達98%以上 | 潛力預估: 可取代目前濕式清洗製程,減少大量使用有機溶劑,解決環保及缺水問題,創造每年約25億元的產值。

乾式噴洗自動化系統技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 1.>0.5μm的particle移除率100%;2.靜電消除及表面溫度補償控制 35~ 60 ± 2°C;3.高效能噴嘴:每一噴嘴之CO2消耗量小於200g/min.,出口速度大於300m/ | 潛力預估: 可取代目前濕式清洗製程,減少大量使用有機溶劑,解決環保及缺水問題,創造每年約10億元的產值。

超精細線材伸線成形技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: (1).精細線材直徑最小15mm(伸長率4%)(2).空心材外徑6mm(平均壁厚0.3mm、溝深0.1mm、內附微溝面數=40)、實/空心材斷面減縮比為70%、實心材直徑精度±0.01mm | 潛力預估: 可使台灣進入高附加價值之半導體封裝用之線材市場,此領域在台灣尚無明顯之競爭者,可另闢金屬產業的藍海

精緻材料連鑄製程系統技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: (1)ψ10mm高導電無氧銅連鑄棒材,晶粒尺寸<50μm、材料導電率>101 IACS、抗拉強度>220Mpa、伸長率>25%。(2)ψ8mm純金連鑄棒材,純度99.99%。(3)ψ8mm純銀連鑄棒... | 潛力預估: 可使台灣進入高附加價值之金屬原材料產業以及半導體封裝用之線材市場,此領域在台灣尚無明顯之競爭者,可另闢金屬產業的藍海

大氣電漿處理技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 線徑:0.05~0.5mm處理速度:20~60m/mi | 潛力預估: 為綠色環保製程,具取代部份有機溶劑濕式清潔潛力,可簡化清潔流程,降低對環境衝擊。

輕量結構金屬構件發泡成形技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 內層發泡材密度可達0.7cm3/g | 潛力預估: 可搶攻休閒運動器材結構輕量化市場需求,極具市場潛力

高值輕構件開發技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 鑄件長厚比250以上 | 潛力預估: 提供產品強度、剛性、輕量、環保等優點,具市場潛力

散熱系統之鋁銅複合軋延材料應用技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 鋁銅複合材料厚度1mm-20mm;寬度20mm-200mm | 潛力預估: 提供散熱系統優點,具市場潛力

摩擦攪拌銲接系統整合技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 摩擦攪拌銲道鎖孔深度<0.5mm,正向力<500Kgf | 潛力預估: 提供產品更大強度、剛性、環保等優點,具市場潛力

EN957-6跑步機穩定性測試技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 前進方向穩定性最大10度,其他方向最大5度 | 潛力預估: 提供相關業者具公正客觀之電動跑步機穩定性測試, 提升產品品質

車輛動態特性量測

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: 其它(驗證技術) | 潛力預估: 車用資料擷取器、車速計、方向盤角度扭力計、陀螺儀、壓力計、加速規、高度計、踏力計、行程計、輪速計等

自動轉向燈控制系統開發

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: Outlet interface: LIN 2.0 Auto-leveling sense resolution:0.3±0.1° controlbox size:60*60*40mm | 潛力預估: 以國內車燈修補市場頭燈為目標,增加其產品動態輔助照明特色,期粉幫助燈廠提升其售價與產量。日後更可應對國外燈系皆為車身網路接口之修補燈市場,若能即時掌握市場方向與關鍵技術,應有與車廠合作車燈開發設計機會...

車用馬達寬頻電磁雜訊產品改良技術

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: 寬頻傳導干擾和輻射干擾符合CISPR 25 Level 4要求。 | 潛力預估: 對策後之馬達可符合大部分車廠廠規EMI要求,進而提昇產品競爭力及建立自主開發技術。

真空鍍膜傳輸模組技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 模組化真空腔體技術,極限真空可達10-5 ~10-7 Torr,洩漏量:1×10-3Torr/hr以內, 張力自動控制:3~25Kg | 潛力預估: 影響之產業產值總體可達15億元

表面顯微量測技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 顯微線路量測模組:手動、自動量測符合3標準差規範 20X | 潛力預估: 可搶攻AOI國外設備廠商市場,極具市場潛力

SCF微奈米自動化清洗系統技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: RIE後殘留物去除率>95%;微粒去除率>0.5μm達98%以上 | 潛力預估: 可取代目前濕式清洗製程,減少大量使用有機溶劑,解決環保及缺水問題,創造每年約25億元的產值。

乾式噴洗自動化系統技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 1.>0.5μm的particle移除率100%;2.靜電消除及表面溫度補償控制 35~ 60 ± 2°C;3.高效能噴嘴:每一噴嘴之CO2消耗量小於200g/min.,出口速度大於300m/ | 潛力預估: 可取代目前濕式清洗製程,減少大量使用有機溶劑,解決環保及缺水問題,創造每年約10億元的產值。

超精細線材伸線成形技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: (1).精細線材直徑最小15mm(伸長率4%)(2).空心材外徑6mm(平均壁厚0.3mm、溝深0.1mm、內附微溝面數=40)、實/空心材斷面減縮比為70%、實心材直徑精度±0.01mm | 潛力預估: 可使台灣進入高附加價值之半導體封裝用之線材市場,此領域在台灣尚無明顯之競爭者,可另闢金屬產業的藍海

精緻材料連鑄製程系統技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: (1)ψ10mm高導電無氧銅連鑄棒材,晶粒尺寸<50μm、材料導電率>101 IACS、抗拉強度>220Mpa、伸長率>25%。(2)ψ8mm純金連鑄棒材,純度99.99%。(3)ψ8mm純銀連鑄棒... | 潛力預估: 可使台灣進入高附加價值之金屬原材料產業以及半導體封裝用之線材市場,此領域在台灣尚無明顯之競爭者,可另闢金屬產業的藍海

大氣電漿處理技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 線徑:0.05~0.5mm處理速度:20~60m/mi | 潛力預估: 為綠色環保製程,具取代部份有機溶劑濕式清潔潛力,可簡化清潔流程,降低對環境衝擊。

輕量結構金屬構件發泡成形技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 內層發泡材密度可達0.7cm3/g | 潛力預估: 可搶攻休閒運動器材結構輕量化市場需求,極具市場潛力

高值輕構件開發技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 鑄件長厚比250以上 | 潛力預估: 提供產品強度、剛性、輕量、環保等優點,具市場潛力

散熱系統之鋁銅複合軋延材料應用技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 鋁銅複合材料厚度1mm-20mm;寬度20mm-200mm | 潛力預估: 提供散熱系統優點,具市場潛力

摩擦攪拌銲接系統整合技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 輕量/高值化金屬零組件關鍵技術開發三年計畫 | 領域: | 技術規格: 摩擦攪拌銲道鎖孔深度<0.5mm,正向力<500Kgf | 潛力預估: 提供產品更大強度、剛性、環保等優點,具市場潛力

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