電子束加工及模具製造技術
- 經濟部產業技術司可移轉技術資料集 @ 經濟部
技術名稱-中文電子束加工及模具製造技術的執行單位是工研院機械所, 產出年度是94, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 技術規格是1. 模仁尺寸：4、6吋。2. 模仁材質：金屬、矽、玻璃。3. 最小線寬≦20nm。4. 區塊對準精度≦30nm_x000D_。5. 疊層對準精度≦30nm_x000D_。6. 結構深寬比≧6。, 潛力預估是奈米技術被喻為第四波的工業革命，其重要性不言而喻。其中，奈米模仁的製造技術對於是否能將產品商業化扮演一重要角色。而電子束微影技術與乾蝕刻是奈米模仁最重要的加工技術之一。舉凡電子、光電、生醫等領域都有其應用的可能性。.
| 序號 | 1052 |
| 產出年度 | 94 |
| 技術名稱-中文 | 電子束加工及模具製造技術 |
| 執行單位 | 工研院機械所 |
| 產出單位 | (空) |
| 計畫名稱 | 工研院創新前瞻技術研究計畫 |
| 領域 | (空) |
| 已申請專利之國家 | (空) |
| 已獲得專利之國家 | (空) |
| 技術現況敘述-中文 | 本電子束直寫機具有獨特之曝光場調變技術，最小定位可達0.0012nm，因此可應用於許多不同種類之結構製造，例如3D之結構，螺旋圖形及孔洞陣列等等。 |
| 技術現況敘述-英文 | (空) |
| 技術規格 | 1. 模仁尺寸：4、6吋。2. 模仁材質：金屬、矽、玻璃。3. 最小線寬≦20nm。4. 區塊對準精度≦30nm_x000D_。5. 疊層對準精度≦30nm_x000D_。6. 結構深寬比≧6。 |
| 技術成熟度 | 試量產 |
| 可應用範圍 | 奈米電子、奈米材料、高密度儲存媒體、光學及顯示器應用、奈米壓印模仁、生醫晶片開發 |
| 潛力預估 | 奈米技術被喻為第四波的工業革命，其重要性不言而喻。其中，奈米模仁的製造技術對於是否能將產品商業化扮演一重要角色。而電子束微影技術與乾蝕刻是奈米模仁最重要的加工技術之一。舉凡電子、光電、生醫等領域都有其應用的可能性。 |
| 聯絡人員 | 陳建洋 |
| 電話 | 03-5915850 |
| 傳真 | 03-5826104 |
| 電子信箱 | cychen210@itri.org.tw |
| 參考網址 | http://www.itri.org.tw/ |
| 所須軟硬體設備 | 瞭解微影設備、精密成形設備等基礎知識 |
| 需具備之專業人才 | 具備光電子學、微影技術、微機電技術等相關基礎知識 |
| 同步更新日期 | 2024-09-03 |
序號1052 |
產出年度94 |
技術名稱-中文電子束加工及模具製造技術 |
執行單位工研院機械所 |
產出單位(空) |
計畫名稱工研院創新前瞻技術研究計畫 |
領域(空) |
已申請專利之國家(空) |
已獲得專利之國家(空) |
技術現況敘述-中文本電子束直寫機具有獨特之曝光場調變技術，最小定位可達0.0012nm，因此可應用於許多不同種類之結構製造，例如3D之結構，螺旋圖形及孔洞陣列等等。 |
技術現況敘述-英文(空) |
技術規格1. 模仁尺寸：4、6吋。2. 模仁材質：金屬、矽、玻璃。3. 最小線寬≦20nm。4. 區塊對準精度≦30nm_x000D_。5. 疊層對準精度≦30nm_x000D_。6. 結構深寬比≧6。 |
技術成熟度試量產 |
可應用範圍奈米電子、奈米材料、高密度儲存媒體、光學及顯示器應用、奈米壓印模仁、生醫晶片開發 |
潛力預估奈米技術被喻為第四波的工業革命，其重要性不言而喻。其中，奈米模仁的製造技術對於是否能將產品商業化扮演一重要角色。而電子束微影技術與乾蝕刻是奈米模仁最重要的加工技術之一。舉凡電子、光電、生醫等領域都有其應用的可能性。 |
聯絡人員陳建洋 |
電話03-5915850 |
傳真03-5826104 |
電子信箱cychen210@itri.org.tw |
參考網址http://www.itri.org.tw/ |
所須軟硬體設備瞭解微影設備、精密成形設備等基礎知識 |
需具備之專業人才具備光電子學、微影技術、微機電技術等相關基礎知識 |
同步更新日期2024-09-03 |
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| 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 1. Mold size: 4 and 6 inches
2. Mold material: metal, silicon and glass
3. Minimum line width≦20nm
4... | 潛力預估: 奈米技術被喻為第四波的工業革命，其重要性不言而喻。其中，奈米模仁的製造技術對於是否能將產品商業化扮演一重要角色。而電子束微影技術與乾蝕刻是奈米模仁最重要的加工技術之一。舉凡電子、光電、生醫等領域都有其... @ 經濟部產業技術司可移轉技術資料集 |
執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 產出單位: | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 領域: | 技術規格: 1. Mold size: 4 and 6 inches
2. Mold material: metal, silicon and glass
3. Minimum line width≦20nm
4... | 潛力預估: 奈米技術被喻為第四波的工業革命，其重要性不言而喻。其中，奈米模仁的製造技術對於是否能將產品商業化扮演一重要角色。而電子束微影技術與乾蝕刻是奈米模仁最重要的加工技術之一。舉凡電子、光電、生醫等領域都有其... @ 經濟部產業技術司可移轉技術資料集 |
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| 執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性微細結構四年計畫 | 領域: | 技術規格: 生胚直徑50-100mm，長度30-80mm。晶片直徑50-76mm，厚度0.5-1mm。 | 潛力預估: 用於電路保護與溫度感測元件，國內產值可達數億元 |
| 執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性微細結構四年計畫 | 領域: | 技術規格: 微結構厚度可達500um以上，加工精度可達1μm，可製造立體3D的細微結構與零組件 | 潛力預估: 可搶攻精密模具市場，極具市場潛力 |
| 執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性微細結構四年計畫 | 領域: | 技術規格: TiO2、ZnO等奈米粉體可分散至D(90)=90nm | 潛力預估: 可進入奈米粉體分散應用市場 |
| 執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性微細結構四年計畫 | 領域: | 技術規格: 接合組件強度可耐12kg/cm2之壓力 | 潛力預估: 可搶攻散熱元件市場，極具市場潛力 |
| 執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 關鍵元件材料開發及應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 白金觸媒:觸媒含量20wt%Pt/C、20%Pt-10%Ru/C ，氯離子含量小於200ppm。膜電極組:白金含量小於0.5mg/cm2，功率大於0.6W/cm2。高壓儲氫桶:以HDPE為內襯，直徑... | 潛力預估: 當石油逐漸耗竭時，以氫為能源的燃料電池，為最被看好的潔淨能源，未來大有機會取代現有發電機、電廠及電池。 |
| 執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 關鍵元件材料開發及應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 奈米尺度表面形貌分析技術、奈米尺度組成與結構分析技術、奈米尺度微觀組織分析技術、奈米尺度機械與物理性質分析技術。 | 潛力預估: 奈米材料檢測技術為快速擴散奈米核心技術於各種產業的不二路徑，能使產業界的創意構想獲得立即的驗證，並藉由這些產業普遍具有完整上下游供應鏈的特性，將技術迅速轉化成產品，未來極富潛力。 |
| 執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 關鍵元件材料開發及應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 被動控制:依設計減振效果可達10%以上；主動控制:依設計減振效果可達20%以上 | 潛力預估: 可搶攻專業型金字塔頂端消費市場如碳纖維複材自行車、網球拍、球杆等。 |
| 執行單位: 中科院航空所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 關鍵元件材料開發及應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 吸音係數量測,500Hz吸音係數0.73, 噪音減衰係數0.81 | 潛力預估: 可運用於環境空間中減少聲波對人體造成生心理的影響，整合不同領域的產業與材料，拓展與提昇傳統產業商機與技術。 |
| 執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 關鍵元件材料開發及應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 複合光學濾片包括電磁波屏蔽及近紅外線吸收兩項功能，電磁波屏蔽效果需符合CISPR規格B等級， T（全光域）＞ 60%，近紅外線吸收效果需符合T 800-1000nm≦10﹪(T 950nm ≦5 ﹪)... | 潛力預估: 透明之光波與微波協效研究之應用範圍頗為廣泛，近年來在民生與國防應用上需求驟增，為一亟具開發價值之科技，值得吾人投入更多的人力及資源，作長期的開發研究計畫。 |
| 執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: G蛋白偶聯接受體藥物研發二年計畫 | 領域: | 技術規格: 1.HCS藥物篩選；2.每天可篩選1500-2000個；3.Cell Image Assay | 潛力預估: 作為GPCR藥物篩選代工,爭取國際市場 |
| 執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 基因藥物技術及產品開發四年計畫 | 領域: | 技術規格: 利用重組腺病毒rAd/AGL載體病毒顆粒感染GSDIII病人初級培養細胞，經肝醣含量分析等實驗結果證實，感染效率良好，且具有生物活性，顯示基因治療在細胞層次確實具有療效。 | 潛力預估: 基因藥物遞送與檢測系統之建立 |
| 執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 基因藥物技術及產品開發四年計畫 | 領域: | 技術規格: 20公升醱酵槽平均可生產1克的質體 | 潛力預估: 可作為非病毒性疫苗、基因治療藥物及病毒生產所需之質體 |
| 執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 基因藥物技術及產品開發四年計畫 | 領域: | 技術規格: 5公升規模平盤細胞培養，細胞數可達1E+10，病毒力價4E+12 | 潛力預估: 可作為遺傳性疾病基因藥物、癌症藥物 |
| 執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 基因藥物技術及產品開發四年計畫 | 領域: | 技術規格: 6公升規模30支RB850轉瓶細胞培養，細胞數可達1E+10，病毒力價2E+13 | 潛力預估: 可作為防禦性疫苗、癌症藥物 |
| 執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 基因藥物技術及產品開發四年計畫 | 領域: | 技術規格: 在心臟衰竭倉鼠模式中以活體心臟注射遞送腺相關病毒基因載體，並證實所構築及生產的腺相關病毒基因載體具有療效。 | 潛力預估: 開發治療心臟衰竭之基因治療藥物 |
執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性微細結構四年計畫 | 領域: | 技術規格: 生胚直徑50-100mm，長度30-80mm。晶片直徑50-76mm，厚度0.5-1mm。 | 潛力預估: 用於電路保護與溫度感測元件，國內產值可達數億元 |
執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性微細結構四年計畫 | 領域: | 技術規格: 微結構厚度可達500um以上，加工精度可達1μm，可製造立體3D的細微結構與零組件 | 潛力預估: 可搶攻精密模具市場，極具市場潛力 |
執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性微細結構四年計畫 | 領域: | 技術規格: TiO2、ZnO等奈米粉體可分散至D(90)=90nm | 潛力預估: 可進入奈米粉體分散應用市場 |
執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 功能性微細結構四年計畫 | 領域: | 技術規格: 接合組件強度可耐12kg/cm2之壓力 | 潛力預估: 可搶攻散熱元件市場，極具市場潛力 |
執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 關鍵元件材料開發及應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 白金觸媒:觸媒含量20wt%Pt/C、20%Pt-10%Ru/C ，氯離子含量小於200ppm。膜電極組:白金含量小於0.5mg/cm2，功率大於0.6W/cm2。高壓儲氫桶:以HDPE為內襯，直徑... | 潛力預估: 當石油逐漸耗竭時，以氫為能源的燃料電池，為最被看好的潔淨能源，未來大有機會取代現有發電機、電廠及電池。 |
執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 關鍵元件材料開發及應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 奈米尺度表面形貌分析技術、奈米尺度組成與結構分析技術、奈米尺度微觀組織分析技術、奈米尺度機械與物理性質分析技術。 | 潛力預估: 奈米材料檢測技術為快速擴散奈米核心技術於各種產業的不二路徑，能使產業界的創意構想獲得立即的驗證，並藉由這些產業普遍具有完整上下游供應鏈的特性，將技術迅速轉化成產品，未來極富潛力。 |
執行單位: 中科院材料所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 關鍵元件材料開發及應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 被動控制:依設計減振效果可達10%以上；主動控制:依設計減振效果可達20%以上 | 潛力預估: 可搶攻專業型金字塔頂端消費市場如碳纖維複材自行車、網球拍、球杆等。 |
執行單位: 中科院航空所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 關鍵元件材料開發及應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 吸音係數量測,500Hz吸音係數0.73, 噪音減衰係數0.81 | 潛力預估: 可運用於環境空間中減少聲波對人體造成生心理的影響，整合不同領域的產業與材料，拓展與提昇傳統產業商機與技術。 |
執行單位: 中科院化學所 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 關鍵元件材料開發及應用四年計畫 | 領域: | 技術規格: 複合光學濾片包括電磁波屏蔽及近紅外線吸收兩項功能，電磁波屏蔽效果需符合CISPR規格B等級， T（全光域）＞ 60%，近紅外線吸收效果需符合T 800-1000nm≦10﹪(T 950nm ≦5 ﹪)... | 潛力預估: 透明之光波與微波協效研究之應用範圍頗為廣泛，近年來在民生與國防應用上需求驟增，為一亟具開發價值之科技，值得吾人投入更多的人力及資源，作長期的開發研究計畫。 |
執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: G蛋白偶聯接受體藥物研發二年計畫 | 領域: | 技術規格: 1.HCS藥物篩選；2.每天可篩選1500-2000個；3.Cell Image Assay | 潛力預估: 作為GPCR藥物篩選代工,爭取國際市場 |
執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 基因藥物技術及產品開發四年計畫 | 領域: | 技術規格: 利用重組腺病毒rAd/AGL載體病毒顆粒感染GSDIII病人初級培養細胞，經肝醣含量分析等實驗結果證實，感染效率良好，且具有生物活性，顯示基因治療在細胞層次確實具有療效。 | 潛力預估: 基因藥物遞送與檢測系統之建立 |
執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 基因藥物技術及產品開發四年計畫 | 領域: | 技術規格: 20公升醱酵槽平均可生產1克的質體 | 潛力預估: 可作為非病毒性疫苗、基因治療藥物及病毒生產所需之質體 |
執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 基因藥物技術及產品開發四年計畫 | 領域: | 技術規格: 5公升規模平盤細胞培養，細胞數可達1E+10，病毒力價4E+12 | 潛力預估: 可作為遺傳性疾病基因藥物、癌症藥物 |
執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 基因藥物技術及產品開發四年計畫 | 領域: | 技術規格: 6公升規模30支RB850轉瓶細胞培養，細胞數可達1E+10，病毒力價2E+13 | 潛力預估: 可作為防禦性疫苗、癌症藥物 |
執行單位: 生技中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 基因藥物技術及產品開發四年計畫 | 領域: | 技術規格: 在心臟衰竭倉鼠模式中以活體心臟注射遞送腺相關病毒基因載體，並證實所構築及生產的腺相關病毒基因載體具有療效。 | 潛力預估: 開發治療心臟衰竭之基因治療藥物 |
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