電容式壓力感測模組
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技術名稱-中文電容式壓力感測模組的執行單位是工研院南分院, 產出年度是102, 計畫名稱是南部新興產業發展關鍵技術計畫, 技術規格是Pressure range: 30~110 kPa, Resolution: 2 Pa, power consumption: 5 μA。, 潛力預估是主要合作廠商如3C電子廠商、ASIC 設計廠商、微機電代工廠商。.

序號6442
產出年度102
技術名稱-中文電容式壓力感測模組
執行單位工研院南分院
產出單位(空)
計畫名稱南部新興產業發展關鍵技術計畫
領域(空)
已申請專利之國家(空)
已獲得專利之國家(空)
技術現況敘述-中文高度計感測採用電容式感測結構設計,其主要優點在於可有效降低元件尺寸並可整合MEMS慣性感測元件於同一製程平台實現,降低開發成本。同時,為使元件之性能可以更加提升,在設計上將採取具專利性創新之共構差動參考電容,此一共構設計不僅可提供差動電容式所需之參考電容,且相較於傳統設計更具有較小尺寸之優勢,可有效將低元件成本。
技術現況敘述-英文(空)
技術規格Pressure range: 30~110 kPa, Resolution: 2 Pa, power consumption: 5 μA。
技術成熟度雛型
可應用範圍手機、遊戲機、數位相機、數位視訊、汽車導航、安全監控、人員追蹤,胎壓偵測系統,血壓偵測。
潛力預估主要合作廠商如3C電子廠商、ASIC 設計廠商、微機電代工廠商。
聯絡人員王世杰
電話06-3847007
傳真06-3847294
電子信箱JackSCWang@itri.org.tw
參考網址http://www.itri.org.tw/chi/is/p3.asp?RootNodeId=070&NavRootNodeId=071&nodeid=0720
所須軟硬體設備元件設計與電路設計模擬軟體工具。
需具備之專業人才電子電路、半導體製程、微機電、機械相關背景。

序號

6442

產出年度

102

技術名稱-中文

電容式壓力感測模組

執行單位

工研院南分院

產出單位

(空)

計畫名稱

南部新興產業發展關鍵技術計畫

領域

(空)

已申請專利之國家

(空)

已獲得專利之國家

(空)

技術現況敘述-中文

高度計感測採用電容式感測結構設計,其主要優點在於可有效降低元件尺寸並可整合MEMS慣性感測元件於同一製程平台實現,降低開發成本。同時,為使元件之性能可以更加提升,在設計上將採取具專利性創新之共構差動參考電容,此一共構設計不僅可提供差動電容式所需之參考電容,且相較於傳統設計更具有較小尺寸之優勢,可有效將低元件成本。

技術現況敘述-英文

(空)

技術規格

Pressure range: 30~110 kPa, Resolution: 2 Pa, power consumption: 5 μA。

技術成熟度

雛型

可應用範圍

手機、遊戲機、數位相機、數位視訊、汽車導航、安全監控、人員追蹤,胎壓偵測系統,血壓偵測。

潛力預估

主要合作廠商如3C電子廠商、ASIC 設計廠商、微機電代工廠商。

聯絡人員

王世杰

電話

06-3847007

傳真

06-3847294

電子信箱

JackSCWang@itri.org.tw

參考網址

http://www.itri.org.tw/chi/is/p3.asp?RootNodeId=070&NavRootNodeId=071&nodeid=0720

所須軟硬體設備

元件設計與電路設計模擬軟體工具。

需具備之專業人才

電子電路、半導體製程、微機電、機械相關背景。

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電容式壓力感測模組

執行單位: 工研院南分院 | 產出年度: 103 | 產出單位: | 計畫名稱: 南部新興產業發展關鍵技術計畫 | 領域: 製造精進 | 技術規格: Accelerometer:Range±2g ;Noise50μg/√Hz。 Gyroscope:Range±300deg/sec ;Noise0.02°/sec/√Hz。 Magnetometer:... | 潛力預估: 主要合作廠商如3C電子廠商、ASIC 設計廠商、微機電代工廠商等。

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電容式壓力感測模組

執行單位: 工研院南分院 | 產出年度: 103 | 產出單位: | 計畫名稱: 南部新興產業發展關鍵技術計畫 | 領域: 製造精進 | 技術規格: Accelerometer:Range±2g ;Noise50μg/√Hz。 Gyroscope:Range±300deg/sec ;Noise0.02°/sec/√Hz。 Magnetometer:... | 潛力預估: 主要合作廠商如3C電子廠商、ASIC 設計廠商、微機電代工廠商等。

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高感度微機電麥克風

執行單位: 工研院南分院 | 產出年度: 103 | 產出單位: | 計畫名稱: 南部新興產業發展關鍵技術計畫 | 領域: 製造精進 | 技術規格: 晶粒尺寸 : 1.2*1.2mm^2。 頻率響應 : 100Hz ~ 10kHz。 靈 敏 度 : -38 ± 3 dB。 訊 噪 比 : >62 dB。 總諧波失真率 : 0.2%@94dB... | 潛力預估: 主要合作廠商如電聲元件廠商、音訊處理系統廠商、ASIC 設計廠商、微機電代工廠商、消費性電子產品製造廠商等。

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高感度微機電麥克風

執行單位: 工研院南分院 | 產出年度: 103 | 產出單位: | 計畫名稱: 南部新興產業發展關鍵技術計畫 | 領域: 製造精進 | 技術規格: 晶粒尺寸 : 1.2*1.2mm^2。 頻率響應 : 100Hz ~ 10kHz。 靈 敏 度 : -38 ± 3 dB。 訊 噪 比 : >62 dB。 總諧波失真率 : 0.2%@94dB... | 潛力預估: 主要合作廠商如電聲元件廠商、音訊處理系統廠商、ASIC 設計廠商、微機電代工廠商、消費性電子產品製造廠商等。

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電動輪椅轂式有刷馬達減速傳動及離合機構開發技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 電子差速動力採單邊250W直流有刷轂式馬達驅動,二級斜齒輪減速,減速比18:1,最大速度11公里/小時 | 潛力預估: 輪轂式電動輪椅整合輪轂式馬達、減速及離合機構,為一模組化及輕量化設計,可取代市場現有之驅動傳動設計,並應用於輕量化可折收式電動輪椅

輔助動力式電動輪椅開發技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 輔助動力式電動輪椅採雙馬達驅動方式,單邊動力輸出100W、扭力感測範圍由±20N-m、手推力感測誤差10%、傳動減速80%以上,並具離合裝置可於電力不足時,以手動推動,為一電動及手動雙功能之電動輪椅 | 潛力預估: 德國 Otto Bock與日本 Yamaha已共同開發出類似之技術,但其應用之技術使產品過於昂貴,無法普及;而本技術下之產品可達相同功能,成本可降1/3以上,並提昇國產醫療代步輔具產品技術層次,增加...

永磁式磁阻系統設計開發技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 建立磁阻系統的設計之六個主要參數,計有永久磁鐵之磁通密度、作用面積、數量、氣隙、導磁飛輪材質及相對工程尺寸,提升磁阻系統的設計能力,建立磁阻系統控制方法和功率調整精準度達25瓦特以上,進而使磁阻功率誤... | 潛力預估: 磁阻系統為健身復健器材之重要核心模組,推出後可提高磁阻系統輸出功率及產品等級,降低成本並提高競爭優勢。

橢圓機步距電動調整設計開發技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 使用者適用身高範圍為150~190公分,依照不同使用者之人因尺寸與電控系統人因資料庫自動調整最適步距,或依使用者運動需求而手動調整所需之步距,以提高運動時之舒適度與增進健身效果達15%以上。 | 潛力預估: 電動步距調整橢圓機目前為國內外商業級高單價最受歡迎的健身器材,透過相關專利的佈局,可提高其他競爭公司進入的門檻,推出後將可提高產品附加功能及價值。

互動式健身車設計開發

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 把手端控制搖桿可模擬PC或PS2/XBOX之按鈕,方向把手可上、下、左、右控制遊戲主角,腳踩速度輸入控制速度 | 潛力預估: 互動式虛擬實境健身車為目前國內外健身器材創新產品,推出後將可搶得市場先機及其佔有率,且透過相關專利的佈局,可提高其他競爭公司進入的門檻

情境式虛擬導覽運動器材技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 畫面播放速度依跑帶速度自動調整具有互動式之變速風扇、負離子、精油水霧 | 潛力預估: 產品創新性佳,對消費者具有相當之吸引力,市場潛力大

電動輪椅與代步車ISO7176-2動態穩定性測試技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 最大斜坡角10度 | 潛力預估: 提供相關業者之電動輪椅與電動代步車公正客觀之產品品質保證

EN957-6跑步機穩定性測試技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 前進方向穩定性最大10度,其他方向最大5度 | 潛力預估: 提供相關業者具公正客觀之電動跑步機穩定性測試, 提升產品品質

車輛動態特性量測

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: 其它(驗證技術) | 潛力預估: 車用資料擷取器、車速計、方向盤角度扭力計、陀螺儀、壓力計、加速規、高度計、踏力計、行程計、輪速計等

自動轉向燈控制系統開發

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: Outlet interface: LIN 2.0 Auto-leveling sense resolution:0.3±0.1° controlbox size:60*60*40mm | 潛力預估: 以國內車燈修補市場頭燈為目標,增加其產品動態輔助照明特色,期粉幫助燈廠提升其售價與產量。日後更可應對國外燈系皆為車身網路接口之修補燈市場,若能即時掌握市場方向與關鍵技術,應有與車廠合作車燈開發設計機會...

車用馬達寬頻電磁雜訊產品改良技術

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: 寬頻傳導干擾和輻射干擾符合CISPR 25 Level 4要求。 | 潛力預估: 對策後之馬達可符合大部分車廠廠規EMI要求,進而提昇產品競爭力及建立自主開發技術。

真空鍍膜傳輸模組技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 模組化真空腔體技術,極限真空可達10-5 ~10-7 Torr,洩漏量:1×10-3Torr/hr以內, 張力自動控制:3~25Kg | 潛力預估: 影響之產業產值總體可達15億元

表面顯微量測技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 顯微線路量測模組:手動、自動量測符合3標準差規範 20X | 潛力預估: 可搶攻AOI國外設備廠商市場,極具市場潛力

SCF微奈米自動化清洗系統技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: RIE後殘留物去除率>95%;微粒去除率>0.5μm達98%以上 | 潛力預估: 可取代目前濕式清洗製程,減少大量使用有機溶劑,解決環保及缺水問題,創造每年約25億元的產值。

乾式噴洗自動化系統技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 1.>0.5μm的particle移除率100%;2.靜電消除及表面溫度補償控制 35~ 60 ± 2°C;3.高效能噴嘴:每一噴嘴之CO2消耗量小於200g/min.,出口速度大於300m/s | 潛力預估: 可取代目前濕式清洗製程,減少大量使用有機溶劑,解決環保及缺水問題,創造每年約10億元的產值。

電動輪椅轂式有刷馬達減速傳動及離合機構開發技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 電子差速動力採單邊250W直流有刷轂式馬達驅動,二級斜齒輪減速,減速比18:1,最大速度11公里/小時 | 潛力預估: 輪轂式電動輪椅整合輪轂式馬達、減速及離合機構,為一模組化及輕量化設計,可取代市場現有之驅動傳動設計,並應用於輕量化可折收式電動輪椅

輔助動力式電動輪椅開發技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 輔助動力式電動輪椅採雙馬達驅動方式,單邊動力輸出100W、扭力感測範圍由±20N-m、手推力感測誤差10%、傳動減速80%以上,並具離合裝置可於電力不足時,以手動推動,為一電動及手動雙功能之電動輪椅 | 潛力預估: 德國 Otto Bock與日本 Yamaha已共同開發出類似之技術,但其應用之技術使產品過於昂貴,無法普及;而本技術下之產品可達相同功能,成本可降1/3以上,並提昇國產醫療代步輔具產品技術層次,增加...

永磁式磁阻系統設計開發技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 建立磁阻系統的設計之六個主要參數,計有永久磁鐵之磁通密度、作用面積、數量、氣隙、導磁飛輪材質及相對工程尺寸,提升磁阻系統的設計能力,建立磁阻系統控制方法和功率調整精準度達25瓦特以上,進而使磁阻功率誤... | 潛力預估: 磁阻系統為健身復健器材之重要核心模組,推出後可提高磁阻系統輸出功率及產品等級,降低成本並提高競爭優勢。

橢圓機步距電動調整設計開發技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 使用者適用身高範圍為150~190公分,依照不同使用者之人因尺寸與電控系統人因資料庫自動調整最適步距,或依使用者運動需求而手動調整所需之步距,以提高運動時之舒適度與增進健身效果達15%以上。 | 潛力預估: 電動步距調整橢圓機目前為國內外商業級高單價最受歡迎的健身器材,透過相關專利的佈局,可提高其他競爭公司進入的門檻,推出後將可提高產品附加功能及價值。

互動式健身車設計開發

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 把手端控制搖桿可模擬PC或PS2/XBOX之按鈕,方向把手可上、下、左、右控制遊戲主角,腳踩速度輸入控制速度 | 潛力預估: 互動式虛擬實境健身車為目前國內外健身器材創新產品,推出後將可搶得市場先機及其佔有率,且透過相關專利的佈局,可提高其他競爭公司進入的門檻

情境式虛擬導覽運動器材技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 畫面播放速度依跑帶速度自動調整具有互動式之變速風扇、負離子、精油水霧 | 潛力預估: 產品創新性佳,對消費者具有相當之吸引力,市場潛力大

電動輪椅與代步車ISO7176-2動態穩定性測試技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 最大斜坡角10度 | 潛力預估: 提供相關業者之電動輪椅與電動代步車公正客觀之產品品質保證

EN957-6跑步機穩定性測試技術

執行單位: 自行車中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 自行車暨健康系統關鍵技術開發計畫 | 領域: | 技術規格: 前進方向穩定性最大10度,其他方向最大5度 | 潛力預估: 提供相關業者具公正客觀之電動跑步機穩定性測試, 提升產品品質

車輛動態特性量測

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: 其它(驗證技術) | 潛力預估: 車用資料擷取器、車速計、方向盤角度扭力計、陀螺儀、壓力計、加速規、高度計、踏力計、行程計、輪速計等

自動轉向燈控制系統開發

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: Outlet interface: LIN 2.0 Auto-leveling sense resolution:0.3±0.1° controlbox size:60*60*40mm | 潛力預估: 以國內車燈修補市場頭燈為目標,增加其產品動態輔助照明特色,期粉幫助燈廠提升其售價與產量。日後更可應對國外燈系皆為車身網路接口之修補燈市場,若能即時掌握市場方向與關鍵技術,應有與車廠合作車燈開發設計機會...

車用馬達寬頻電磁雜訊產品改良技術

執行單位: 車輛中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 汽車產業關鍵技術研發聯盟三年計畫 | 領域: | 技術規格: 寬頻傳導干擾和輻射干擾符合CISPR 25 Level 4要求。 | 潛力預估: 對策後之馬達可符合大部分車廠廠規EMI要求,進而提昇產品競爭力及建立自主開發技術。

真空鍍膜傳輸模組技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 模組化真空腔體技術,極限真空可達10-5 ~10-7 Torr,洩漏量:1×10-3Torr/hr以內, 張力自動控制:3~25Kg | 潛力預估: 影響之產業產值總體可達15億元

表面顯微量測技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 顯微線路量測模組:手動、自動量測符合3標準差規範 20X | 潛力預估: 可搶攻AOI國外設備廠商市場,極具市場潛力

SCF微奈米自動化清洗系統技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: RIE後殘留物去除率>95%;微粒去除率>0.5μm達98%以上 | 潛力預估: 可取代目前濕式清洗製程,減少大量使用有機溶劑,解決環保及缺水問題,創造每年約25億元的產值。

乾式噴洗自動化系統技術

執行單位: 金屬中心 | 產出年度: 94 | 產出單位: | 計畫名稱: 光電組件先進製程自動化系統技術三年計畫 | 領域: | 技術規格: 1.>0.5μm的particle移除率100%;2.靜電消除及表面溫度補償控制 35~ 60 ± 2°C;3.高效能噴嘴:每一噴嘴之CO2消耗量小於200g/min.,出口速度大於300m/s | 潛力預估: 可取代目前濕式清洗製程,減少大量使用有機溶劑,解決環保及缺水問題,創造每年約10億元的產值。

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