常壓噴流式電漿裝置技術
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技術名稱-中文常壓噴流式電漿裝置技術的執行單位是工研院機械所, 產出年度是103, 計畫名稱是觸控面板節能製程技術及設備開發計畫, 領域是綠能科技, 技術規格是激發主氣體CDA、N2。專利噴頭設計，可依需求更換；搭配前驅物導入系統可進行不同電漿改質或鍍膜製程, 潛力預估是大氣下產生電漿，無須真空腔體及欲抽氣時間，可線上即時處理.

序號	6714
產出年度	103
技術名稱-中文	常壓噴流式電漿裝置技術
執行單位	工研院機械所
產出單位	(空)
計畫名稱	觸控面板節能製程技術及設備開發計畫
領域	綠能科技
已申請專利之國家	台灣美國
已獲得專利之國家	是
技術現況敘述-中文	噴流式電漿裝置可進行快速表面活化、蝕刻及鍍膜處理，使用乾燥壓縮空氣即可點燃電漿，大幅減少製程成本。搭配多頭設計以及移載平台，可進行大面積處理。處理基材可為金屬、塑料以及玻璃材質。
技術現況敘述-英文	(空)
技術規格	激發主氣體CDA、N2。專利噴頭設計，可依需求更換；搭配前驅物導入系統可進行不同電漿改質或鍍膜製程
技術成熟度	試量產
可應用範圍	觸控面板、太陽能與顯示器、印刷電路板、包裝等產業
潛力預估	大氣下產生電漿，無須真空腔體及欲抽氣時間，可線上即時處理
聯絡人員	翁志強
電話	03-5918795
傳真	03-5820043
電子信箱	PeterWeng@itri.org.tw
參考網址	https://www.itri.org.tw/chi/tech-transfer/01.asp?RootNodeId=040&NodeId=041&NavRootNodeId=041
所須軟硬體設備	大氣電漿設備
需具備之專業人才	機電整合技術及電漿製程技術

序號

6714

產出年度

103

技術名稱-中文

常壓噴流式電漿裝置技術

執行單位

工研院機械所

產出單位

(空)

計畫名稱

觸控面板節能製程技術及設備開發計畫

領域

綠能科技

已申請專利之國家

台灣美國

已獲得專利之國家

是

技術現況敘述-中文

噴流式電漿裝置可進行快速表面活化、蝕刻及鍍膜處理，使用乾燥壓縮空氣即可點燃電漿，大幅減少製程成本。搭配多頭設計以及移載平台，可進行大面積處理。處理基材可為金屬、塑料以及玻璃材質。

技術現況敘述-英文

(空)

技術規格

激發主氣體CDA、N2。專利噴頭設計，可依需求更換；搭配前驅物導入系統可進行不同電漿改質或鍍膜製程

技術成熟度

試量產

可應用範圍

觸控面板、太陽能與顯示器、印刷電路板、包裝等產業

潛力預估

大氣下產生電漿，無須真空腔體及欲抽氣時間，可線上即時處理

聯絡人員

翁志強

電話

03-5918795

傳真

03-5820043

電子信箱

PeterWeng@itri.org.tw

參考網址

https://www.itri.org.tw/chi/tech-transfer/01.asp?RootNodeId=040&NodeId=041&NavRootNodeId=041

所須軟硬體設備

大氣電漿設備

需具備之專業人才

機電整合技術及電漿製程技術

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