薄膜之低溫成長方法與設備
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專利名稱-中文薄膜之低溫成長方法與設備的核准國家是中華民國, 執行單位是工研院材料所, 產出年度是93, 專利性質是發明, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 專利發明人是彭成鑑, 陳豐彥, 證書號碼是200889.
序號 | 563 |
產出年度 | 93 |
領域別 | (空) |
專利名稱-中文 | 薄膜之低溫成長方法與設備 |
執行單位 | 工研院材料所 |
產出單位 | (空) |
計畫名稱 | 工研院創新前瞻技術研究計畫 |
專利發明人 | 彭成鑑, 陳豐彥 |
核准國家 | 中華民國 |
獲證日期 | (空) |
證書號碼 | 200889 |
專利期間起 | (空) |
專利期間訖 | (空) |
專利性質 | 發明 |
技術摘要-中文 | 一種薄膜之低溫成長方法與設備 本發明係為一種薄膜之低溫成長方法與設備,在方法上,首先,將固態粉體 或分散之液態懸浮液,經即時乾燥形成固態粉體粒子,並經由攜帶氣體所產生之氣 流導入粉體處理室;接著,在粉體處理室中,將攜帶氣體以雷射或光直接照射來進 行粉體表面處理,或者以能量束照射攜帶氣體以產生低溫電漿以進行粉體表面處理 ,或者,兩種方式併用以進行粉體表面處理並加以活化;最後,即可將經處理後之 粉體粒子加速並撞擊在一基板,進行表面緻密化而形成一薄膜;在設備上,本發明 之成長設備包含:一原材料、一氣膠形成裝置、一表面處理室,以及一基板;運用 本發明所提供的設備與方法,即可以低溫方式成長含各種成分之薄膜,且特別適用 於高揮發性材料構成之薄膜。 |
技術摘要-英文 | (空) |
聯絡人員 | 彭成鑑 |
電話 | (空) |
傳真 | (空) |
電子信箱 | cjpeng@itri.org.tw |
參考網址 | http://www.itri.org.tw |
備註 | 原領域別為材料化工,95年改為生醫材化 |
特殊情形 | (空) |
同步更新日期 | 2023-07-05 |
序號563 |
產出年度93 |
領域別(空) |
專利名稱-中文薄膜之低溫成長方法與設備 |
執行單位工研院材料所 |
產出單位(空) |
計畫名稱工研院創新前瞻技術研究計畫 |
專利發明人彭成鑑, 陳豐彥 |
核准國家中華民國 |
獲證日期(空) |
證書號碼200889 |
專利期間起(空) |
專利期間訖(空) |
專利性質發明 |
技術摘要-中文一種薄膜之低溫成長方法與設備 本發明係為一種薄膜之低溫成長方法與設備,在方法上,首先,將固態粉體 或分散之液態懸浮液,經即時乾燥形成固態粉體粒子,並經由攜帶氣體所產生之氣 流導入粉體處理室;接著,在粉體處理室中,將攜帶氣體以雷射或光直接照射來進 行粉體表面處理,或者以能量束照射攜帶氣體以產生低溫電漿以進行粉體表面處理 ,或者,兩種方式併用以進行粉體表面處理並加以活化;最後,即可將經處理後之 粉體粒子加速並撞擊在一基板,進行表面緻密化而形成一薄膜;在設備上,本發明 之成長設備包含:一原材料、一氣膠形成裝置、一表面處理室,以及一基板;運用 本發明所提供的設備與方法,即可以低溫方式成長含各種成分之薄膜,且特別適用 於高揮發性材料構成之薄膜。 |
技術摘要-英文(空) |
聯絡人員彭成鑑 |
電話(空) |
傳真(空) |
電子信箱cjpeng@itri.org.tw |
參考網址http://www.itri.org.tw |
備註原領域別為材料化工,95年改為生醫材化 |
特殊情形(空) |
同步更新日期2023-07-05 |
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| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 李漢超、陳文鋕、施信德 | 證書號碼: 184311 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 楊志偉、蔡篤賢 | 證書號碼: 191467 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 李漢超,施信德 | 證書號碼: I222304 |
| 核准國家: 美國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 李漢超、陳文鋕、施信德 | 證書號碼: US6,792,415B2 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 陳頌傑、徐曉慧、杜宗瑋、謝育峰 | 證書號碼: 197829 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 杜宗瑋、黃文石、余淳鈞 | 證書號碼: 197827 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 杜宗瑋、王派斌 | 證書號碼: 200852 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 譚國俊、張鈞皓 | 證書號碼: 197828 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 秦其巍、林于絹 | 證書號碼: 197830 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 蔡篤賢、黃千泰 | 證書號碼: 200485 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 廖嘉新、李健興、郭耀煌、蒙以亨、龔俊杰 | 證書號碼: 205837 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 秦其巍,林于絹 | 證書號碼: 205852 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 通訊軟體關鍵技術開發五年計畫 | 專利發明人: 丁建文、黃悅民、黃建文 | 證書號碼: 發明第184611號 |
| 核准國家: 美國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 通訊軟體關鍵技術開發五年計畫 | 專利發明人: 鮑立國、杜唯源、李逸元 | 證書號碼: US6,694,437B1 |
| 核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 通訊軟體關鍵技術開發五年計畫 | 專利發明人: 楊儒林、廖基宏 | 證書號碼: 發明第192884號 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 李漢超、陳文鋕、施信德 | 證書號碼: 184311 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 楊志偉、蔡篤賢 | 證書號碼: 191467 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 李漢超,施信德 | 證書號碼: I222304 |
核准國家: 美國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 李漢超、陳文鋕、施信德 | 證書號碼: US6,792,415B2 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 陳頌傑、徐曉慧、杜宗瑋、謝育峰 | 證書號碼: 197829 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 杜宗瑋、黃文石、余淳鈞 | 證書號碼: 197827 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 杜宗瑋、王派斌 | 證書號碼: 200852 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 譚國俊、張鈞皓 | 證書號碼: 197828 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 秦其巍、林于絹 | 證書號碼: 197830 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 蔡篤賢、黃千泰 | 證書號碼: 200485 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 廖嘉新、李健興、郭耀煌、蒙以亨、龔俊杰 | 證書號碼: 205837 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 網路前瞻應用技術發展四年計畫 | 專利發明人: 秦其巍,林于絹 | 證書號碼: 205852 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 通訊軟體關鍵技術開發五年計畫 | 專利發明人: 丁建文、黃悅民、黃建文 | 證書號碼: 發明第184611號 |
核准國家: 美國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 通訊軟體關鍵技術開發五年計畫 | 專利發明人: 鮑立國、杜唯源、李逸元 | 證書號碼: US6,694,437B1 |
核准國家: 中華民國 | 執行單位: 資策會 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 通訊軟體關鍵技術開發五年計畫 | 專利發明人: 楊儒林、廖基宏 | 證書號碼: 發明第192884號 |
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