乾式UV光基板洗淨設備及方法
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文乾式UV光基板洗淨設備及方法的核准國家是中華民國, 證書號碼是I241221, 專利性質是發明, 執行單位是工研院能資所, 產出年度是94, 計畫名稱是高科技產業用水技術開發計畫, 專利發明人是金光祖、張佩琳、鄭曉芬、陳秋美.

序號	1279
產出年度	94
領域別	(空)
專利名稱-中文	乾式UV光基板洗淨設備及方法
執行單位	工研院能資所
產出單位	(空)
計畫名稱	高科技產業用水技術開發計畫
專利發明人	金光祖 \| 張佩琳 \| 鄭曉芬 \| 陳秋美
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	I241221
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	本發明揭示一種乾式UV光基板洗淨方法，包含將一基板置於一密閉空間；將一清洗氣體以垂直於該基板的一待清洗表面的方向導入該密閉空間；將一UV光垂直照射於該基板的待清洗表面上；及由該基板下方及圍繞待清洗表面的渠道從該密閉空間抽氣，於是將該清洗氣體及承載於其中的被清洗出來的污染物移出該封閉空間。本發明亦揭示一種乾式UV光基板洗淨設備。_x000D_
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	劉展洋
電話	03-5916037
傳真	03-5917431
電子信箱	JamesLiu@Itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	原領域別為材料化工，95年改為生醫材化
特殊情形	(空)

序號

1279

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

乾式UV光基板洗淨設備及方法

執行單位

工研院能資所

產出單位

(空)

計畫名稱

高科技產業用水技術開發計畫

專利發明人

金光祖 | 張佩琳 | 鄭曉芬 | 陳秋美

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I241221

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

本發明揭示一種乾式UV光基板洗淨方法，包含將一基板置於一密閉空間；將一清洗氣體以垂直於該基板的一待清洗表面的方向導入該密閉空間；將一UV光垂直照射於該基板的待清洗表面上；及由該基板下方及圍繞待清洗表面的渠道從該密閉空間抽氣，於是將該清洗氣體及承載於其中的被清洗出來的污染物移出該封閉空間。本發明亦揭示一種乾式UV光基板洗淨設備。_x000D_

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

劉展洋

電話

03-5916037

傳真

03-5917431

電子信箱

JamesLiu@Itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

原領域別為材料化工，95年改為生醫材化

特殊情形

(空)

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移除多孔性材質中不純物的方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院能環所 \| 產出年度: 96 \| 計畫名稱: 產業永續發展環安技術研發四年計畫 \| 專利發明人: 金光祖陳秋美張佩琳鄭曉芬 @ 技術司專利資料集
移除多孔性材質中不純物的方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I296287 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院能環所 \| 產出年度: 97 \| 計畫名稱: 能源與環境領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 金光祖陳秋美張佩琳鄭曉芬 @ 技術司專利資料集

移除多孔性材質中不純物的方法

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增進散熱與電磁屏蔽效應之半導體封裝	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207522 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 電子關鍵性材料與整合模組發展四年計畫 \| 專利發明人: 王興昇 \| 李榮賢 \| 陳棓煌 @ 技術司專利資料集
熱管均熱板	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 226177 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張長生 \| 楊書榮 @ 技術司專利資料集
一種資料通訊的方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6496481 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 吳炯憲 \| 馬金溝 @ 技術司專利資料集
Optical Disk Control Mechanism	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6665253 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 前瞻光資訊系統技術發展計畫 \| 專利發明人: 藍永松 \| 張啟伸 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 德國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥 \| 余基祥 \| 林妍君 \| 薛勝文 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 英國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥 \| 余基祥 \| 林妍君 \| 薛勝文 @ 技術司專利資料集
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車輛側滑試驗器查驗設備	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: M241641 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 車輛中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 車輛研測關鍵技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 辜宏恩 \| 張曜錠
車輛煞車試驗器查驗設備	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: M241640 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 車輛中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 車輛研測關鍵技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 辜宏恩 \| 張曜錠
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汽車頭燈旋轉裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 219211 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 車輛中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 車輛研測關鍵技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 王溫良 \| 李旺軒
汽車頭燈旋轉裝置	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: 614200 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 車輛中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 車輛研測關鍵技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 王溫良 \| 李旺軒
汽車關門音發聲機構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 220943 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 車輛中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 車輛研測關鍵技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 林峰仰 \| 潘國良
飛機與地面地形碰撞的偵測處理方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第191875號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 飛航資訊廣播及通訊技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 鄭世通
調頻連續波雷達高度計之數位控制式線性掃頻模式	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第197868號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 飛航資訊廣播及通訊技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 林鈺山 \| 劉鳳玲 \| 鄭世通
布面(七)	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 088113 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新式樣 \| 執行單位: 紡拓會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 紡織品設計技術開發與推廣四年計畫 \| 專利發明人: 謝詠絮
布面(八)	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 088114 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新式樣 \| 執行單位: 紡拓會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 紡織品設計技術開發與推廣四年計畫 \| 專利發明人: 謝詠絮
布面(九)	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 088166 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新式樣 \| 執行單位: 紡拓會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 紡織品設計技術開發與推廣四年計畫 \| 專利發明人: 謝詠絮
濕式轉移印花用轉印圖案紙加工方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 190301 \| 專利期間起: 1992/10/21 \| 專利期間訖: 108/9/19 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 高科技紡織產業技術研究與發展四年計畫 \| 專利發明人: 鄭琨琳 \| 蔡聰文 \| 林峰標 \| 蔡榮裕
漿紗預處理之方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 185205 \| 專利期間起: 1992/9/1 \| 專利期間訖: 108/9/7 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 高科技紡織產業技術研究與發展四年計畫 \| 專利發明人: 連榮盛 \| 方國華 \| 施陽平 \| 魏亞中
金屬化纖維結構物及其製造法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 195760 \| 專利期間起: 1993/1/21 \| 專利期間訖: 110/12/18 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 高科技紡織產業技術研究與發展四年計畫 \| 專利發明人: 連榮盛 \| 陳宏恩 \| 黃博雄 \| 陳俊明

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