晶片之疊對量測標記
- 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文晶片之疊對量測標記的核准國家是中華民國, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是95, 專利性質是發明, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 專利發明人是顧逸霞、龐秀蘭、史密斯、奈吉, 證書號碼是I248154.

序號	2174
產出年度	95
領域別	(空)
專利名稱-中文	晶片之疊對量測標記
執行單位	工研院院本部
產出單位	(空)
計畫名稱	工研院創新前瞻技術研究計畫
專利發明人	顧逸霞、龐秀蘭、史密斯、奈吉
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	I248154
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	使用於半導體裝置製造之疊對量測方法中，一疊對對準記號有助於對準及/或半導體晶圓結構上的兩層之對準誤差量測，或同一層的不同曝光之對準誤差量測。本發明係關於一疊對量測記號，其係足夠小以致可置於半導體裝置之主動區域內，並結合適當量測方法，其結果可改善量測精確性。In an overlay metrology method used during semiconductor device fabrication, an overlay alignment mark facilitates alignment and/or measurement of alignment error of two layers on a semiconductor wafer structure, or different exposures on the same layer. A target is small enough to be positioned within the active area of a semiconductor device combined with appropriate measurement methods, which result in improved measurement accuracy.
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	劉展洋
電話	03-5916037
傳真	03-5917431
電子信箱	JamesLiu@Itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	原領域別為材料化工，95年改為生醫材化
特殊情形	(空)
同步更新日期	2019-07-24

序號

2174

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

晶片之疊對量測標記

執行單位

工研院院本部

產出單位

(空)

計畫名稱

工研院創新前瞻技術研究計畫

專利發明人

顧逸霞、龐秀蘭、史密斯、奈吉

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I248154

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

使用於半導體裝置製造之疊對量測方法中，一疊對對準記號有助於對準及/或半導體晶圓結構上的兩層之對準誤差量測，或同一層的不同曝光之對準誤差量測。本發明係關於一疊對量測記號，其係足夠小以致可置於半導體裝置之主動區域內，並結合適當量測方法，其結果可改善量測精確性。In an overlay metrology method used during semiconductor device fabrication, an overlay alignment mark facilitates alignment and/or measurement of alignment error of two layers on a semiconductor wafer structure, or different exposures on the same layer. A target is small enough to be positioned within the active area of a semiconductor device combined with appropriate measurement methods, which result in improved measurement accuracy.

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

劉展洋

電話

03-5916037

傳真

03-5917431

電子信箱

JamesLiu@Itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

原領域別為材料化工，95年改為生醫材化

特殊情形

(空)

同步更新日期

2019-07-24

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晶片之疊對量測標記	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 97 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉 \| 證書號碼: 7,379,184 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
晶片之疊對量測標記	核准國家: 南韓 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞 ,龐秀蘭 ,史密斯奈吉 , \| 證書號碼: 10-1257961 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

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內置式晶圓微影疊對圖樣設計	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 96 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉 \| 證書號碼: I271811 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
依據標記影像對稱性來決定疊對誤差的方法與系統	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 96 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉 \| 證書號碼: I286196 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
依據標記影像對稱性來決定疊對誤差的方法與系統	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 100 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞,龐秀蘭,史密斯奈吉, \| 證書號碼: 7,477,396 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
疊對量測標記及其疊對誤差之量測方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 龐秀蘭,顧逸霞,史密斯奈吉 \| 證書號碼: I361266 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

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一種高速假撚方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院化工所 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 高科技纖維與產品技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 陳哲陽、簡淑華、黃麗娟、黃泳彬 \| 證書號碼: 207547 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
增進散熱與電磁屏蔽效應之半導體封裝	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 電子關鍵性材料與整合模組發展四年計畫 \| 專利發明人: 王興昇、李榮賢、陳棓煌 \| 證書號碼: 207522 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
熱管均熱板	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張長生、楊書榮 \| 證書號碼: 226177 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
一種資料通訊的方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 吳炯憲、馬金溝 \| 證書號碼: 6496481 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
Optical Disk Control Mechanism	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 前瞻光資訊系統技術發展計畫 \| 專利發明人: 藍永松、張啟伸 \| 證書號碼: 6665253 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 德國 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥、余基祥、林妍君、薛勝文 \| 證書號碼: 573696 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 英國 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥、余基祥、林妍君、薛勝文 \| 證書號碼: 573696 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
萃取醣苷類化合物之雙液相系統及其方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院生醫中心 \| 產出年度: 94 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 抗病毒及抗發炎中草藥研發及現代化技術平台之建立四年計畫 \| 專利發明人: 潘一紅、李連滋、邱惜禾、劉惠儒、姚心然 \| 證書號碼: 157850 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

一種高速假撚方法

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增進散熱與電磁屏蔽效應之半導體封裝

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一種資料通訊的方法

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Optical Disk Control Mechanism

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時序還原之方法與系統

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萃取醣苷類化合物之雙液相系統及其方法

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功率放大器電路及使用此電路的無線電傳送器/接收器	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 楊文蔚, 沈敏宏, 郭震中, 林劭冠, 馬思平 \| 證書號碼: 6,205,171
以快速傅利葉轉換為基礎之分碼多重進接犁耙式接收機架構及其方法	核准國家: 德國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 黃家齊, 王信淵, 黃永亮 \| 證書號碼: 0980149
以快速傅利葉轉換為基礎之分碼多重進接犁耙式接收機架構及其方法	核准國家: 芬蘭 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 黃家齊, 王信淵, 黃永亮 \| 證書號碼: 0980149
以快速傅利葉轉換為基礎之分碼多重進接犁耙式接收機架構及其方法	核准國家: 瑞典 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 黃家齊, 王信淵, 黃永亮 \| 證書號碼: 0980149
用來解開兩個展頻碼的方法與裝置	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 顧中威, 郭富彥 \| 證書號碼: 6,724,838
節拍計數器及其方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 陳芳祝 \| 證書號碼: 6,787,689
用於無線通訊網路之即時視訊傳送方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 蘇淑津, 劉志俊 \| 證書號碼: 6,658,019
調適型數位濾波器之學習方法與裝置	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 陳恆洲, 陳自強 \| 證書號碼: 6,654,412
以延遲量測同步的方法與裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 盧澄乾 \| 證書號碼: 184620
以延遲量測同步的方法與裝置	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 盧澄乾 \| 證書號碼: 6,647,246
展頻通訊系統的碼跟蹤系統及方法	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 陳蘊彥, 楊木榮 \| 證書號碼: ZL00106945.4
寬頻微帶線洩漏波天線	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 沈志文 \| 證書號碼: 211376
用於雙模式收發器的關聯器/有限脈衝頻率響應濾波器	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 郭富彥, 顧中威 \| 證書號碼: 6,748,014
碼群組辨識與框邊界同步的方法與裝置	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 陳柏村, 黃合淇, 陳蘊彥, 楊木榮 \| 證書號碼: 6,775,318
片狀天線	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 曾文仁, 沈志文, 陳建宏 \| 證書號碼: ZL01103747.4

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