以臭氧水成長超薄氧化層的方法
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專利名稱-中文以臭氧水成長超薄氧化層的方法的核准國家是中華民國, 證書號碼是I255510, 專利性質是發明, 執行單位是工研院能環所, 產出年度是95, 計畫名稱是高科技產業用水技術開發三年計畫, 專利發明人是陳永裕、金光祖、陳秋美、羅正忠.

序號	2479
產出年度	95
領域別	(空)
專利名稱-中文	以臭氧水成長超薄氧化層的方法
執行單位	工研院能環所
產出單位	(空)
計畫名稱	高科技產業用水技術開發三年計畫
專利發明人	陳永裕 \| 金光祖 \| 陳秋美 \| 羅正忠
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	I255510
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	本發明將臭氧氣體溶於去離子水中形成臭氧水，再將矽晶圓浸入臭氧水中成長超薄氧化層，用以取代傳統製程中的高溫成長超薄氧化層。本發明的優點為省時、省能、不需高溫即可成長超薄、高密度、高均勻性的氧化層。The present invention relates to a method for forming an ultra thin oxide layer by using an ozonated water, which comprises the steps of dissolving an ozone-containing gas in deionized water to form an ozonated water, and immersing a silicon wafer in the ozonated water to from an ultra thin oxide layer on the wafer. The method according to the present invention can substitute for the conventional high temperature process for growing an ultra thin oxide layer and form an ultra thin oxide layer in high density and high uniformity by taking the advantages of time-saving, energy-saving but without conducting at an elevated temperature.
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	劉展洋
電話	03-5916037
傳真	03-5917431
電子信箱	JamesLiu@Itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	原領域別為材料化工，95年改為生醫材化
特殊情形	(空)

序號

2479

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

以臭氧水成長超薄氧化層的方法

執行單位

工研院能環所

產出單位

(空)

計畫名稱

高科技產業用水技術開發三年計畫

專利發明人

陳永裕 | 金光祖 | 陳秋美 | 羅正忠

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I255510

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

本發明將臭氧氣體溶於去離子水中形成臭氧水，再將矽晶圓浸入臭氧水中成長超薄氧化層，用以取代傳統製程中的高溫成長超薄氧化層。本發明的優點為省時、省能、不需高溫即可成長超薄、高密度、高均勻性的氧化層。The present invention relates to a method for forming an ultra thin oxide layer by using an ozonated water, which comprises the steps of dissolving an ozone-containing gas in deionized water to form an ozonated water, and immersing a silicon wafer in the ozonated water to from an ultra thin oxide layer on the wafer. The method according to the present invention can substitute for the conventional high temperature process for growing an ultra thin oxide layer and form an ultra thin oxide layer in high density and high uniformity by taking the advantages of time-saving, energy-saving but without conducting at an elevated temperature.

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

劉展洋

電話

03-5916037

傳真

03-5917431

電子信箱

JamesLiu@Itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

原領域別為材料化工，95年改為生醫材化

特殊情形

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用於豬隻榨乳之乳杯	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: M240786 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 農科院 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 基因轉殖動物生產醫藥用蛋白質技術之開發四年計畫 \| 專利發明人: 邱滄貴 \| 林恩仲 \| 方文德 \| 蔡濱燦
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應用SERCOS傳輸技術於數位運動控制之裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: M250185 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 產業機械整合型關鍵技術研究發展四年計畫 \| 專利發明人: 王文金
具有微粒子粒徑量測功能的離心萃取裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I223609 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 產業機械整合型關鍵技術研究發展四年計畫 \| 專利發明人: 劉廷芳 \| 張昫揚 \| 陳志豪
改善澱粉塑膠批次改質造粒之連續製程方法及其裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 226282 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 塑膠中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 精密及環保塑膠之新加工製程三年計畫 \| 專利發明人: 吳易凡
原型模具或翻砂模具製作用之熱固性塑材代木的製備方法及所製得的代木	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 193612 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 塑膠中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 精密及環保塑膠之新加工製程三年計畫 \| 專利發明人: 王昭欽 \| 沈曉復

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