低溫多晶矽薄膜元件、低溫下直接沈積多晶矽薄膜的製程方法及其所應用之電感耦合式電漿化學氣相沈積設備
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文低溫多晶矽薄膜元件、低溫下直接沈積多晶矽薄膜的製程方法及其所應用之電感耦合式電漿化學氣相沈積設備的核准國家是中華民國, 證書號碼是I262550, 專利性質是發明, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是95, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 專利發明人是彭逸軒、黃志仁、王亮棠、張榮芳、翁得期.

序號	2834
產出年度	95
領域別	(空)
專利名稱-中文	低溫多晶矽薄膜元件、低溫下直接沈積多晶矽薄膜的製程方法及其所應用之電感耦合式電漿化學氣相沈積設備
執行單位	工研院院本部
產出單位	(空)
計畫名稱	工研院創新前瞻技術研究計畫
專利發明人	彭逸軒 \| 黃志仁 \| 王亮棠 \| 張榮芳 \| 翁得期
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	I262550
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種低溫多晶矽薄膜元件、低溫下直接沈積多晶矽薄膜的製程方法及其所應用之電感耦合式電漿化學氣相沈積設備，其乃利用高密度電漿與基材偏壓可誘發結晶的方式，致使多晶矽材料在低溫下結晶為多晶矽薄膜；再者，更利用具有優選方向及晶格常數與矽相近的誘發層，促使多晶矽薄膜之原子結構朝向規則排列，進而提高多晶矽薄膜的結晶品質與減少孕核層厚度。An element with a low temperature poly-silicon (poly-Si) film, a method of direct poly-Si deposition at low temperature and an inductively-coupled plasma chemical vapor deposition system are provided. Poly-Si materials are induced to crystallize into the poly-Si film at low temperature using high density plasma (HDP) and substrate bias. Further, an atom structure of the poly-Si film tends towards regular arrangement using an induction layer with optimum direction and lattice constant near that of Si. Therefore, crystallization quality of the poly-Si film is promoted and a depth of an incubation layer is decreased.
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	劉展洋
電話	03-5916037
傳真	03-5917431
電子信箱	JamesLiu@Itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	原領域別為通訊光電，95年改為電資通光
特殊情形	(空)

序號

2834

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

低溫多晶矽薄膜元件、低溫下直接沈積多晶矽薄膜的製程方法及其所應用之電感耦合式電漿化學氣相沈積設備

執行單位

工研院院本部

產出單位

(空)

計畫名稱

工研院創新前瞻技術研究計畫

專利發明人

彭逸軒 | 黃志仁 | 王亮棠 | 張榮芳 | 翁得期

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I262550

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種低溫多晶矽薄膜元件、低溫下直接沈積多晶矽薄膜的製程方法及其所應用之電感耦合式電漿化學氣相沈積設備，其乃利用高密度電漿與基材偏壓可誘發結晶的方式，致使多晶矽材料在低溫下結晶為多晶矽薄膜；再者，更利用具有優選方向及晶格常數與矽相近的誘發層，促使多晶矽薄膜之原子結構朝向規則排列，進而提高多晶矽薄膜的結晶品質與減少孕核層厚度。An element with a low temperature poly-silicon (poly-Si) film, a method of direct poly-Si deposition at low temperature and an inductively-coupled plasma chemical vapor deposition system are provided. Poly-Si materials are induced to crystallize into the poly-Si film at low temperature using high density plasma (HDP) and substrate bias. Further, an atom structure of the poly-Si film tends towards regular arrangement using an induction layer with optimum direction and lattice constant near that of Si. Therefore, crystallization quality of the poly-Si film is promoted and a depth of an incubation layer is decreased.

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

劉展洋

電話

03-5916037

傳真

03-5917431

電子信箱

JamesLiu@Itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

原領域別為通訊光電，95年改為電資通光

特殊情形

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一種低溫多晶矽薄膜器件及其制造方法與設備	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200510116621.7 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 98 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 彭逸軒 \| 黃志仁 \| 王亮棠 \| 張榮芳 \| 翁得期 @ 技術司專利資料集
一種低溫多晶硅薄膜器件及其制造方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200910006077.9 \| 專利期間起: 1999/10/20 \| 專利期間訖: 114/10/25 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 彭逸軒 \| 黃志仁 \| 王亮棠 \| 張榮芳 \| 翁得期 @ 技術司專利資料集

一種低溫多晶矽薄膜器件及其制造方法與設備

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一種低溫多晶硅薄膜器件及其制造方法

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一種高速假撚方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207547 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院化工所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 高科技纖維與產品技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 陳哲陽 \| 簡淑華 \| 黃麗娟 \| 黃泳彬 @ 技術司專利資料集
增進散熱與電磁屏蔽效應之半導體封裝	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207522 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 電子關鍵性材料與整合模組發展四年計畫 \| 專利發明人: 王興昇 \| 李榮賢 \| 陳棓煌 @ 技術司專利資料集
熱管均熱板	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 226177 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張長生 \| 楊書榮 @ 技術司專利資料集
一種資料通訊的方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6496481 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 吳炯憲 \| 馬金溝 @ 技術司專利資料集
Optical Disk Control Mechanism	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6665253 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 前瞻光資訊系統技術發展計畫 \| 專利發明人: 藍永松 \| 張啟伸 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 德國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥 \| 余基祥 \| 林妍君 \| 薛勝文 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 英國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥 \| 余基祥 \| 林妍君 \| 薛勝文 @ 技術司專利資料集
萃取醣苷類化合物之雙液相系統及其方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 157850 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院生醫中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 抗病毒及抗發炎中草藥研發及現代化技術平台之建立四年計畫 \| 專利發明人: 潘一紅 \| 李連滋 \| 邱惜禾 \| 劉惠儒 \| 姚心然 @ 技術司專利資料集

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具有彈性及耐用的探針	核准國家: 美國 \| 證書號碼: US-2003-0112024-A1 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 寬頻行動通訊系統整合技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 鄧德生.李鴻淇
射頻傳輸線之參數調校的方法及其結構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第197766號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 寬頻行動通訊系統整合技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 李繼華.梁春村.葉嘉範
劃碼多工進接系統之分離式波道卡架構	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: 175672 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院資通所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 寬頻行動通訊系統整合技術發展三年計畫 \| 專利發明人: 吳匡時 \| 林瀛寬 \| 彭明山
超音波成像系統之動態延遲曲線方法及裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第197676號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 醫療系統技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 胡振華 \| 高幼齡 \| 廖振南
一種用於三角積分器成像裝置之聚焦控制方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 發明第191461號 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 中科院電子所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 醫療系統技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 李百祺 \| 黃景忠 \| 陳淑娥 \| 高幼齡 \| 朱子英
具機能性之人工義肢套筒內襯	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 200027 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 鞋技中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 舒適保健鞋技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 楊文賓郭文龍張慶利
改良式鞋楦	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 249510 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 鞋技中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 舒適保健鞋技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 黃賜源吳松青廖明濠
快速鑑定微生物的方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 185390 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 食品所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 生物資源之收集保存與開發四年計畫 \| 專利發明人: 張長泉 \| 陳秀雯 \| 丁懷謙
用於製造生臭豆腐之菌群及滷水組合物及製造生臭豆腐之方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL98125700.3 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 食品所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 生物資源之收集保存與開發四年計畫 \| 專利發明人: 李淑芬 \| 李福臨 \| 余曉青 \| 黃偉勳 \| 劉育貞
製造丁四醇之酵母菌菌種	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 203328 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 食品所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 生物資源之收集保存與開發四年計畫 \| 專利發明人: 林錫杰 \| 溫秋燕 \| 許文浩 \| 劉桂郁 \| 朱文深
一種利用固態營養基質懸浮液培養絲狀真菌的方法	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL00103542.8 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 食品所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 生物資源之收集保存與開發四年計畫 \| 專利發明人: 吳文騰 \| 王培銘 \| 黃定國 \| 袁國芳
絲狀菌的培養方法	核准國家: 日本 \| 證書號碼: 3543085 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 食品所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 生物資源之收集保存與開發四年計畫 \| 專利發明人: 吳文騰 \| 王培銘 \| 黃定國 \| 袁國芳
Method for cultivation of filamentous fungi	核准國家: 美國 \| 證書號碼: US 6,746,862 B1 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 食品所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 生物資源之收集保存與開發四年計畫 \| 專利發明人: 吳文騰 \| 王培銘 \| 黃定國 \| 袁國芳
Method for detecting fermentation of stinky brine	核准國家: 新加坡 \| 證書號碼: 93899 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 食品所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 生物資源之收集保存與開發四年計畫 \| 專利發明人: 李淑芬 \| 余曉青 \| 李福臨
Transglutaminase gene of Streptoverticillium ladakanum and the transglutaminase encoded therefrom	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6,660,510 B2 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 食品所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 生物資源之收集保存與開發四年計畫 \| 專利發明人: 林怡杏 \| 劉昌協 \| 朱文深

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