使用氣泡的基材表面處理方法及設備
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文使用氣泡的基材表面處理方法及設備的核准國家是美國, 專利性質是發明, 執行單位是工研院能環所, 產出年度是96, 計畫名稱是產業永續發展環安技術研發四年計畫, 專利發明人是金光祖陳秋美羅正忠 Farhang Sh 徐靜怡.

序號	3207
產出年度	96
領域別	(空)
專利名稱-中文	使用氣泡的基材表面處理方法及設備
執行單位	工研院能環所
產出單位	(空)
計畫名稱	產業永續發展環安技術研發四年計畫
專利發明人	金光祖陳秋美羅正忠 Farhang Sh 徐靜怡
核准國家	美國
獲證日期	(空)
證書號碼	(空)
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	從基材表面移除一物質，例如從晶圓移除光阻劑，或於基材表面形成一反應產物的技術被揭示。將複數片等間隔、平行的基材的底部垂直的浸入於一液體，將一氣體導入於該液體中且於該基材的下方連續形成氣泡，使得該等氣泡在破滅之前於兩相鄰基材之間不斷往上爬昇。在氣泡爬升的過程中在基材表面的液體邊界層被壓縮及更新，促進在該邊界層內的氣-液-固質傳效率，使得其中的反應更快速的被完成，於是基材表面更有效率的被處理。_x000D_
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	劉展洋
電話	03-5916037
傳真	03-5917431
電子信箱	JamesLiu@Itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸
特殊情形	(空)

序號

3207

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

使用氣泡的基材表面處理方法及設備

執行單位

工研院能環所

產出單位

(空)

計畫名稱

產業永續發展環安技術研發四年計畫

專利發明人

金光祖陳秋美羅正忠 Farhang Sh 徐靜怡

核准國家

美國

獲證日期

(空)

證書號碼

(空)

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

從基材表面移除一物質，例如從晶圓移除光阻劑，或於基材表面形成一反應產物的技術被揭示。將複數片等間隔、平行的基材的底部垂直的浸入於一液體，將一氣體導入於該液體中且於該基材的下方連續形成氣泡，使得該等氣泡在破滅之前於兩相鄰基材之間不斷往上爬昇。在氣泡爬升的過程中在基材表面的液體邊界層被壓縮及更新，促進在該邊界層內的氣-液-固質傳效率，使得其中的反應更快速的被完成，於是基材表面更有效率的被處理。_x000D_

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

劉展洋

電話

03-5916037

傳真

03-5917431

電子信箱

JamesLiu@Itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸

特殊情形

(空)

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使用氣泡的基材表面處理方法及設備	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200310100135.7 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院能環所 \| 產出年度: 97 \| 計畫名稱: 優質生活環安技術開發計畫 \| 專利發明人: 金光祖陳秋美羅正忠 Farhang Sh 徐靜怡 @ 技術司專利資料集

使用氣泡的基材表面處理方法及設備

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使用氣泡的基材表面處理方法及設備

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以本體論為基礎之知識圖形系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 198664 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 施信德
網路服務語意註冊系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 192858 \| 專利期間起: 37956 \| 專利期間訖: 44732 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 施信德 \| 喻瀚寬
網路服務推薦系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 198827 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 施信德 \| 陳文鋕
網路服務檢索與叢集系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 194252 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 廖炳堯 \| 施信德 \| 喻瀚寬
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以影像為基礎之突出部位辨識與追蹤方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207175 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 王學武 \| 楊德雲
使用線段描述肢體之肢體辨識技術之方法及系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 220503 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 王學武 \| 楊德雲

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