消除光阻中近接效應之方法
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文消除光阻中近接效應之方法的核准國家是韓國, 證書號碼是10-0566387, 專利性質是發明, 執行單位是工研院電光所, 產出年度是96, 計畫名稱是電子與光電領域環境建構計畫, 專利發明人是高蔡勝戴昌銘.

序號	3640
產出年度	96
領域別	(空)
專利名稱-中文	消除光阻中近接效應之方法
執行單位	工研院電光所
產出單位	(空)
計畫名稱	電子與光電領域環境建構計畫
專利發明人	高蔡勝戴昌銘
核准國家	韓國
獲證日期	(空)
證書號碼	10-0566387
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	光阻圖案中近接效應藉由小心地控制三個伴隨微影製程之獨立可變之值已可將其消除，這些值為執行曝光後烘烤的溫度、曝光系統之數值孔隙及部分同調參數(partial coherence parameter)，特別地，曝光後烘烤溫度應比製造廠建議的低20至25C，數值孔隙應為0.5左右，以及部分同調參數為0.8左右，若遵循這些準則，證實降至線距/線寬比(duty ratio)低於一且無近接效應之產生，且無需一光學近接校正可得到無歪曲圖案。_x000D_
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	劉展洋
電話	03-5916037
傳真	03-5917431
電子信箱	JamesLiu@Itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸
特殊情形	(空)

序號

3640

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

消除光阻中近接效應之方法

執行單位

工研院電光所

產出單位

(空)

計畫名稱

電子與光電領域環境建構計畫

專利發明人

高蔡勝戴昌銘

核准國家

韓國

獲證日期

(空)

證書號碼

10-0566387

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

光阻圖案中近接效應藉由小心地控制三個伴隨微影製程之獨立可變之值已可將其消除，這些值為執行曝光後烘烤的溫度、曝光系統之數值孔隙及部分同調參數(partial coherence parameter)，特別地，曝光後烘烤溫度應比製造廠建議的低20至25C，數值孔隙應為0.5左右，以及部分同調參數為0.8左右，若遵循這些準則，證實降至線距/線寬比(duty ratio)低於一且無近接效應之產生，且無需一光學近接校正可得到無歪曲圖案。_x000D_

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

劉展洋

電話

03-5916037

傳真

03-5917431

電子信箱

JamesLiu@Itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

原領域別為機械運輸，95年改為機電運輸

特殊情形

(空)

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一種高速假撚方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207547 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院化工所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 高科技纖維與產品技術開發四年計畫 \| 專利發明人: 陳哲陽、簡淑華、黃麗娟、黃泳彬 @ 技術司專利資料集
增進散熱與電磁屏蔽效應之半導體封裝	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207522 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院材料所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 電子關鍵性材料與整合模組發展四年計畫 \| 專利發明人: 王興昇、李榮賢、陳棓煌 @ 技術司專利資料集
熱管均熱板	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 226177 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 張長生、楊書榮 @ 技術司專利資料集
一種資料通訊的方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6496481 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 吳炯憲、馬金溝 @ 技術司專利資料集
Optical Disk Control Mechanism	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6665253 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院光電所 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 前瞻光資訊系統技術發展計畫 \| 專利發明人: 藍永松、張啟伸 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 德國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥、余基祥、林妍君、薛勝文 @ 技術司專利資料集
時序還原之方法與系統	核准國家: 英國 \| 證書號碼: 573696 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院晶片中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 晶片系統關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 林清祥、余基祥、林妍君、薛勝文 @ 技術司專利資料集
萃取醣苷類化合物之雙液相系統及其方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 157850 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院生醫中心 \| 產出年度: 94 \| 計畫名稱: 抗病毒及抗發炎中草藥研發及現代化技術平台之建立四年計畫 \| 專利發明人: 潘一紅、李連滋、邱惜禾、劉惠儒、姚心然 @ 技術司專利資料集

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漿紗預處理之方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 185205 \| 專利期間起: 1992/9/1 \| 專利期間訖: 108/9/7 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 高科技紡織產業技術研究與發展四年計畫 \| 專利發明人: 連榮盛、方國華、施陽平、魏亞中
金屬化纖維結構物及其製造法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 195760 \| 專利期間起: 1993/1/21 \| 專利期間訖: 110/12/18 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 高科技紡織產業技術研究與發展四年計畫 \| 專利發明人: 連榮盛、陳宏恩、黃博雄、陳俊明
圓編機主動送紗方法與裝置	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6745597 \| 專利期間起: 1990/12/30 \| 專利期間訖: 110/12/30 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 高科技紡織產業技術研究與發展四年計畫 \| 專利發明人: 唐建發、蔣錦煌
以光電方式量測連續帶狀物均勻度之溫度補償裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 189384 \| 專利期間起: 1992/10/11 \| 專利期間訖: 111/7/7 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 高科技紡織產業技術研究與發展四年計畫 \| 專利發明人: 唐建發、黃定國、陳鴻仁、劉文啟
一種空間布膜結構及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I220881 \| 專利期間起: 1993/9/11 \| 專利期間訖: 112/12/25 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 高科技紡織產業技術研究與發展四年計畫 \| 專利發明人: 王近年、陳宏恩、陳述亨、曾靖惠
一種利用光以偵測紗線噴節數之裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: M248793 \| 專利期間起: 1993/11/1 \| 專利期間訖: 102/12/29 \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 高科技紡織產業技術研究與發展四年計畫 \| 專利發明人: 張正東、唐建發、黃慶堂、沈乾龍、李俊輝、陳鴻仁、劉文啟
立體結構口罩	核准國家: 日本 \| 證書號碼: 3101352 \| 專利期間起: 1992/10/31 \| 專利期間訖: 1998/10/30 \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 高科技紡織產業技術研究與發展四年計畫 \| 專利發明人: 連榮盛、李仁雄、陳宏恩、黃博雄、林淨植
一種立體結構口罩	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: M243223 \| 專利期間起: 1993/9/11 \| 專利期間訖: 102/8/26 \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 高科技紡織產業技術研究與發展四年計畫 \| 專利發明人: 連榮盛、李仁雄、陳宏恩、黃博雄、林淨植
服裝之縫合方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 194374 \| 專利期間起: 1992/12/11 \| 專利期間訖: 111/1/22 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 舒適保健性紡織品研發四年計畫 \| 專利發明人: 沈培德、劉堅益、胡秀玲、劉徐瑞嬌、王素完
具有甲殼素與幾丁聚醣複合多孔體之創傷敷材及製造方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6693180 \| 專利期間起: 1991/4/4 \| 專利期間訖: 111/4/3 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 舒適保健性紡織品研發四年計畫 \| 專利發明人: 李瑞生、林維新、許峻源
評估相轉移織物機能之儀器與方法	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 6702456 \| 專利期間起: 1991/4/4 \| 專利期間訖: 111/4/3 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 舒適保健性紡織品研發四年計畫 \| 專利發明人: 盧本正、Hes Lubos
一種量測織物與皮膚間黏膩性的方法與裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 192742 \| 專利期間起: 1992/12/11 \| 專利期間訖: 111/9/22 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 紡織所 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 舒適保健性紡織品研發四年計畫 \| 專利發明人: 林雲光、周國村、高瑞宏、蘇英傑
用於豬隻榨乳之乳杯	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: M240786 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 農科院 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 基因轉殖動物生產醫藥用蛋白質技術之開發四年計畫 \| 專利發明人: 邱滄貴、林恩仲、方文德、蔡濱燦
線性量測裝置之製作方法(光學尺製作方法)	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 203538 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 產業機械整合型關鍵技術研究發展四年計畫 \| 專利發明人: 莊國欽、劉旺林、鍾添淦
離心沉降式之粉粒體粒徑線上量測分析裝置	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 205407 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 精機中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 產業機械整合型關鍵技術研究發展四年計畫 \| 專利發明人: 張立信、武東星、鍾添淦、詹子奇、簡國諭

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