多晶矽膜的製造方法以及薄膜電晶體的製造方法
- 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文多晶矽膜的製造方法以及薄膜電晶體的製造方法的核准國家是中華民國, 執行單位是工研院電光所, 產出年度是97, 專利性質是發明, 計畫名稱是電子與光電領域環境建構計畫, 專利發明人是張榮芳陳麒麟王亮棠, 證書號碼是I292924.

序號	4359
產出年度	97
領域別	(空)
專利名稱-中文	多晶矽膜的製造方法以及薄膜電晶體的製造方法
執行單位	工研院電光所
產出單位	(空)
計畫名稱	電子與光電領域環境建構計畫
專利發明人	張榮芳陳麒麟王亮棠
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	I292924
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種多晶矽膜的製造方法，其步驟至少包括：提供基板，其中於基板上至少形成有金屬層，接著於基板上直接沈積多晶矽膜，然後對多晶矽膜進行熱板退火製程。藉由本發明之多晶矽膜的製造方法，能夠以較低的製造成本、較高的產率製造出高效能的多晶矽薄膜電晶體。 A fabricating method of polysilicon film includeing: a substrate with a metal layer thereon is provided, then a polysilicon film is deposited on the substrate directly, and then a hot plate annealing process is performed to the polysilicon film. The high efficiency polysilicon film can be fabricated by lower cost and higher throughput according to this method of the present invention.
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-59117812
傳真	03-5917431
電子信箱	oralp@itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	0
特殊情形	(空)
同步更新日期	2019-07-24

序號

4359

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

多晶矽膜的製造方法以及薄膜電晶體的製造方法

執行單位

工研院電光所

產出單位

(空)

計畫名稱

電子與光電領域環境建構計畫

專利發明人

張榮芳陳麒麟王亮棠

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I292924

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種多晶矽膜的製造方法，其步驟至少包括：提供基板，其中於基板上至少形成有金屬層，接著於基板上直接沈積多晶矽膜，然後對多晶矽膜進行熱板退火製程。藉由本發明之多晶矽膜的製造方法，能夠以較低的製造成本、較高的產率製造出高效能的多晶矽薄膜電晶體。 A fabricating method of polysilicon film includeing: a substrate with a metal layer thereon is provided, then a polysilicon film is deposited on the substrate directly, and then a hot plate annealing process is performed to the polysilicon film. The high efficiency polysilicon film can be fabricated by lower cost and higher throughput according to this method of the present invention.

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-59117812

傳真

03-5917431

電子信箱

oralp@itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

特殊情形

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2019-07-24

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直接沉積多晶矽之方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 97 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 電子與光電領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 王亮棠陳麒麟彭逸軒張榮芳黃志仁 \| 證書號碼: I291206 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
直接沉積多晶矽之方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院顯示中心 \| 產出年度: 98 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 新世代捲軸軟性顯示關鍵技術發展計畫 \| 專利發明人: 王亮棠, 陳麒麟, 彭逸軒, 張榮芳, 黃志仁 \| 證書號碼: 7,521,341 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
多晶硅膜的制造方法以及薄膜晶體管的制造方法	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院顯示中心 \| 產出年度: 98 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 新世代捲軸軟性顯示關鍵技術發展計畫 \| 專利發明人: 張榮芳, 陳麒麟, 王亮棠 \| 證書號碼: ZL200610003079.9 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

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透過對話回合間內文關係來減少辨識錯誤的裝置與方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 資訊與通訊領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 吳旭智, 李青憲 \| 證書號碼: I321313 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
植入奈米碳管之製程方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子設備及模組技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 廖仕傑 ,陳輝達 , \| 證書號碼: I321123 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
多執行緒程式之電源閘控方法以及電源閘控系統	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 100 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 游逸平,李政崑,莊國煜,吳宗憲 \| 證書號碼: 7,904,736 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
互動式顯示系統	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院資訊中心 \| 產出年度: 100 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 林盈孜,蕭詠今,陳右凱,李森,楊博智 \| 證書號碼: 7,916,129 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
無線環境下定位系統的新取樣點決定方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 徐銘駿, 崔文, 陳昭男 \| 證書號碼: I321928 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
通訊網路下之行動管理方法及裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 新世代行動通訊技術發展計畫 \| 專利發明人: 江為國, 何哲勳, 許建昌 \| 證書號碼: I321411 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
靜電放電防護電路	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 資訊與通訊領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳世宏, 柯明道 \| 證書號碼: 7,692,907 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
直流偏移消除電路	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: WiMAX個人行動數位機關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 高小文 \| 證書號碼: I320993 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

透過對話回合間內文關係來減少辨識錯誤的裝置與方法

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植入奈米碳管之製程方法

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多執行緒程式之電源閘控方法以及電源閘控系統

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互動式顯示系統

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無線環境下定位系統的新取樣點決定方法

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通訊網路下之行動管理方法及裝置

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靜電放電防護電路

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直流偏移消除電路

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含VOC有機廢氣之處理方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 林樹榮, 吳信賢, 賴慶智 \| 證書號碼: 206408
用於處理全氟化合物之介電層放電裝置及模組	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 邱信夫, 呂建豪, 游生任 \| 證書號碼: 6,700,093
用以化學吸附氫化物氣體之潔淨劑及淨化有害氣體之方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 許榮男, 李壽南, 李秋煌, 黃建良, 姚品全 \| 證書號碼: 207344
傳染性病毒及病菌捕集器	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 李壽南, 邱信夫, 施惠雅 \| 證書號碼: ZL03264108.7
傳染性病毒及病菌捕集器	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 李壽南, 邱信夫, 施惠雅 \| 證書號碼: 224621
自氟化氣體回收氫氟酸的方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 周崇光, 呂建豪, 邱信夫, 吳學翰 \| 證書號碼: 190306
使用固定於多孔性擔體微生物的廢水/水處理方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 洪仁陽, 張王冠, 張敏超, 鄒文源, 彭明鏡 \| 證書號碼: 207297
生物污泥減量設備	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 洪仁陽, 鄒文源, 張王冠, 張敏超, 邵信 \| 證書號碼: 207350
超臨界氧化系統之結垢處理裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陳政群, 金順志, 賴重光 \| 證書號碼: 196528
導流管式流體化床廢水處理反應槽及應用該廢水處理反應槽的兩段式好氧/無氧生物活性載體流體化床廢水處理系統	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 林奇剛, 蔡宗岳, 曾淑鳳, 劉俊清, 陳榮耀 \| 證書號碼: 210003
可調式氣密裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃家銘, 蔡啟明, 黃嘉宏 \| 證書號碼: 190394
生物處理裝置及其淨化廢水或自來水原水的方法	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 莊順興, 邱創汎, 游惠宋, 張王冠, 邵信, 彭明鏡, 洪仁陽 \| 證書號碼: ZL01140206.7
浮動床型生物處理裝置以及使用該裝置淨化難分解性廢水或自來水原水的方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 莊順興, 邱創汎, 游惠宋, 張王冠, 邵信, 彭明鏡, 洪仁陽 \| 證書號碼: 206418
浮動床型生物處理裝置以及使用該裝置淨化難分解性廢水或自來水原水的方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 莊順興, 邱創汎, 游惠宋, 張王冠, 邵信, 彭明鏡, 洪仁陽 \| 證書號碼: 6,682,653
使用無紡布過濾的膜生物反應器	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 張王冠, 張敏超, 洪仁陽, 邵信 \| 證書號碼: ZL01144422.3

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