製程氣體洩漏源偵測系統與方法
- 經濟部產業技術司–專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文製程氣體洩漏源偵測系統與方法的核准國家是中華民國, 執行單位是工研院能環所, 產出年度是97, 專利性質是發明, 計畫名稱是產業永續發展環安技術研發四年計畫, 專利發明人是呂建豪顏紹儀施惠雅游生任, 證書號碼是I293165.

序號	4642
產出年度	97
領域別	(空)
專利名稱-中文	製程氣體洩漏源偵測系統與方法
執行單位	工研院能環所
產出單位	(空)
計畫名稱	產業永續發展環安技術研發四年計畫
專利發明人	呂建豪顏紹儀施惠雅游生任
核准國家	中華民國
獲證日期	(空)
證書號碼	I293165
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種製程氣體洩漏源偵測系統。一開放光徑式FTIR偵測系統設置於該廠半導體製造廠之迴風處，用以偵測洩漏氣體，並且藉由一通訊網路將偵測所得之氣體成份資訊傳送至該資料伺服器。一多採樣孔與抽氣式FTIR偵測系統設置於該廠半導體製造廠內，用以利用設置於該廠半導體製造廠內之不同區域的管線收集並偵測洩漏氣體，並且藉由該通訊網路將偵測所得之氣體成份資訊傳送至該資料伺服器。一IR監測系統藉由該通訊網路自該資料伺服器取得該氣體成份資訊。一製程尾氣管理系統藉由該通訊網路自該IR監測系統取得該氣體成份資訊以進行可能洩漏來源之分析處理與判斷。 A system for detection of gas leakage sources. An open-path FTIR detection system is located before the return filter of recirculation air of a manufactory to detect leaked gas and transmits gas composition to a data server through a communication network. A multi-port extractive FTIR system is located in the manufactory to collect leaked gas, using pipelines located in different areas, and transmits gas composition to the data server through the communication network. An IR monitor system obtains the gas composition from the data server through the communication network. A process exhaust management system obtains the gas composition from the IR monitor system through the communication network for the analysis of gas leaking source.
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-59117812
傳真	03-5917431
電子信箱	oralp@itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	0
特殊情形	(空)
同步更新日期	2019-07-24

序號

4642

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

製程氣體洩漏源偵測系統與方法

執行單位

工研院能環所

產出單位

(空)

計畫名稱

產業永續發展環安技術研發四年計畫

專利發明人

呂建豪顏紹儀施惠雅游生任

核准國家

中華民國

獲證日期

(空)

證書號碼

I293165

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種製程氣體洩漏源偵測系統。一開放光徑式FTIR偵測系統設置於該廠半導體製造廠之迴風處，用以偵測洩漏氣體，並且藉由一通訊網路將偵測所得之氣體成份資訊傳送至該資料伺服器。一多採樣孔與抽氣式FTIR偵測系統設置於該廠半導體製造廠內，用以利用設置於該廠半導體製造廠內之不同區域的管線收集並偵測洩漏氣體，並且藉由該通訊網路將偵測所得之氣體成份資訊傳送至該資料伺服器。一IR監測系統藉由該通訊網路自該資料伺服器取得該氣體成份資訊。一製程尾氣管理系統藉由該通訊網路自該IR監測系統取得該氣體成份資訊以進行可能洩漏來源之分析處理與判斷。 A system for detection of gas leakage sources. An open-path FTIR detection system is located before the return filter of recirculation air of a manufactory to detect leaked gas and transmits gas composition to a data server through a communication network. A multi-port extractive FTIR system is located in the manufactory to collect leaked gas, using pipelines located in different areas, and transmits gas composition to the data server through the communication network. An IR monitor system obtains the gas composition from the data server through the communication network. A process exhaust management system obtains the gas composition from the IR monitor system through the communication network for the analysis of gas leaking source.

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-59117812

傳真

03-5917431

電子信箱

oralp@itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

特殊情形

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2019-07-24

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過程氣體泄漏源檢測系統與方法	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院能環所 \| 產出年度: 98 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 能源與環境領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 呂建豪 ,顏紹儀 ,施惠雅 ,游生任 , \| 證書號碼: ZL200610074008.8 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電熱氧化裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院綠能所 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 健康生活產業環安技術開發計畫 \| 專利發明人: 游生任,李壽南,施惠雅,顏紹儀,呂建豪,許榮男 \| 證書號碼: ZL200810100491.1 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電熱氧化裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院綠能所 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 健康生活產業環安技術開發計畫 \| 專利發明人: 游生任,李壽南,施惠雅,顏紹儀,呂建豪,許榮男 \| 證書號碼: I359687 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

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透過對話回合間內文關係來減少辨識錯誤的裝置與方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 資訊與通訊領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 吳旭智, 李青憲 \| 證書號碼: I321313 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
植入奈米碳管之製程方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子設備及模組技術開發三年計畫 \| 專利發明人: 廖仕傑 ,陳輝達 , \| 證書號碼: I321123 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
多執行緒程式之電源閘控方法以及電源閘控系統	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 100 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 游逸平,李政崑,莊國煜,吳宗憲 \| 證書號碼: 7,904,736 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
互動式顯示系統	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院資訊中心 \| 產出年度: 100 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 林盈孜,蕭詠今,陳右凱,李森,楊博智 \| 證書號碼: 7,916,129 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
無線環境下定位系統的新取樣點決定方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 徐銘駿, 崔文, 陳昭男 \| 證書號碼: I321928 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
通訊網路下之行動管理方法及裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 新世代行動通訊技術發展計畫 \| 專利發明人: 江為國, 何哲勳, 許建昌 \| 證書號碼: I321411 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
靜電放電防護電路	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 資訊與通訊領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳世宏, 柯明道 \| 證書號碼: 7,692,907 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
直流偏移消除電路	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: WiMAX個人行動數位機關鍵技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 高小文 \| 證書號碼: I320993 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

透過對話回合間內文關係來減少辨識錯誤的裝置與方法

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植入奈米碳管之製程方法

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多執行緒程式之電源閘控方法以及電源閘控系統

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互動式顯示系統

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無線環境下定位系統的新取樣點決定方法

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通訊網路下之行動管理方法及裝置

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靜電放電防護電路

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直流偏移消除電路

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非金屬基材表面之多層金屬鍍膜及其方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 朱繼文、劉伍健、卓廷彬、楊玉森 \| 證書號碼: 207037
具有輔助磁極組之磁控靶源裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 劉伍健、楊玉森 \| 證書號碼: 210407
鎳合金電鑄手指手套模具之製造方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 張瑞模、陳建仁、蔡兆豐、陳正義、鄭勝元 \| 證書號碼: 184907
球閥耐火結構改良	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 林庭凱、江文欽 \| 證書號碼: 211530
模具內傳送機構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 林志浩、蔡行知、魏江銘 \| 證書號碼: 214980
球閥結構改良	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 江文欽、林庭凱 \| 證書號碼: 220003
用於物理氣相沉積之金屬化銦錫氧化物靶	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 朱繼文、楊玉森、邱松茂 \| 證書號碼: 195390
U形支架式具位置指示之閥手輪	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 仲之豪、林進順 \| 證書號碼: 222536
球閥結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 江文欽、林庭凱 \| 證書號碼: 634651
球閥防火結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 林庭凱、江文欽 \| 證書號碼: 634266
中空金屬套管成形方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 翁震杰、賴逸林、鄭勝元 \| 證書號碼: 201043
U形支架式具位置指示之閥手輪	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 仲之豪、林進順 \| 證書號碼: 639900
波紋管之製造方法及該波紋管之膜片組串接成型裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 謝興達、曾光宏、侯信男、黃仁隆、曾界彰 \| 證書號碼: 201861
嵌入網際網路整合式晶片控制閥驅動器	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 林進順、古嘉琳 \| 證書號碼: 204712
電漿電弧焊接裝置、其焊槍及波紋管焊接裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 金屬中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 金屬工業關鍵性零組件加工技術四年計畫 \| 專利發明人: 謝興達、曾光宏、曾界彰、吳隆佃 \| 證書號碼: 224033

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