晶片之疊對量測標記
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文晶片之疊對量測標記的核准國家是美國, 證書號碼是7,379,184, 專利性質是發明, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是97, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 專利發明人是顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉.

序號	4820
產出年度	97
領域別	(空)
專利名稱-中文	晶片之疊對量測標記
執行單位	工研院院本部
產出單位	(空)
計畫名稱	工研院創新前瞻技術研究計畫
專利發明人	顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉
核准國家	美國
獲證日期	(空)
證書號碼	7,379,184
專利期間起	(空)
專利期間訖	(空)
專利性質	發明
技術摘要-中文	使用於半導體裝置製造之疊對量測方法中，一疊對對準記號有助於對準及/或半導體晶圓結構上的兩層之對準誤差量測，或同一層的不同曝光之對準誤差量測。本發明係關於一疊對量測記號，其係足夠小以致可置於半導體裝置之主動區域內，並結合適當量測方法，其結果可改善量測精確性。 In an overlay metrology method used during semiconductor device fabrication, an overlay alignment mark facilitates alignment and/or measurement of alignment error of two layers on a semiconductor wafer structure, or different exposures on the same layer. A target is small enough to be positioned within the active area of a semiconductor device combined with appropriate measurement methods, which result in improved measurement accuracy.
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-59117812
傳真	03-5917431
電子信箱	oralp@itri.org.tw
參考網址	http://www.patentportfolio.itri.org.tw
備註	0
特殊情形	(空)

序號

4820

產出年度

領域別

(空)

專利名稱-中文

晶片之疊對量測標記

執行單位

工研院院本部

產出單位

(空)

計畫名稱

工研院創新前瞻技術研究計畫

專利發明人

顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉

核准國家

美國

獲證日期

(空)

證書號碼

7,379,184

專利期間起

(空)

專利期間訖

(空)

專利性質

發明

技術摘要-中文

使用於半導體裝置製造之疊對量測方法中，一疊對對準記號有助於對準及/或半導體晶圓結構上的兩層之對準誤差量測，或同一層的不同曝光之對準誤差量測。本發明係關於一疊對量測記號，其係足夠小以致可置於半導體裝置之主動區域內，並結合適當量測方法，其結果可改善量測精確性。 In an overlay metrology method used during semiconductor device fabrication, an overlay alignment mark facilitates alignment and/or measurement of alignment error of two layers on a semiconductor wafer structure, or different exposures on the same layer. A target is small enough to be positioned within the active area of a semiconductor device combined with appropriate measurement methods, which result in improved measurement accuracy.

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-59117812

傳真

03-5917431

電子信箱

oralp@itri.org.tw

參考網址

http://www.patentportfolio.itri.org.tw

備註

特殊情形

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完全圖解人工智慧: 零基礎也OK!從NLP、圖像辨識到生成模型,現代人必修的53堂AI課

@ 臺灣出版新書預告書訊

德國租稅通則

@ 出版書目資料

09/12-19:03高雄市政府南南東方 375.8 公里發生規模6.7有感地震，最大震度屏東縣鵝鑾鼻、臺東縣蘭嶼、高雄市、臺南市佳里、雲林縣四湖、彰化縣大城2級。

開放資料燈號: 綠色 | 地震報告編號: 112067 | 地震報告種類: 地震報告

@ 顯著有感地震報告

臺灣臺北地方檢察署會計報告

資料集識別碼: 158430 | 詮釋資料更新時間: 2025-04-24 15:34:38 | 品質檢測: 金 | 檔案格式: ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;... | 編碼格式: UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-... | 提供機關: 臺灣臺北地方檢察署 | 服務分類: 公共資訊 | 資料集描述: 臺灣臺北地方檢察署依據政府資訊公開法規定，提供會計月報相關資訊，內容包含歲入累計表、經費累計表、以前年度歲入轉入數累計表、歲出用途別累計表、繳付公庫數分析表、公庫撥入數分析表、平衡表、收入支出表等，供...

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晶片之疊對量測標記	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I248154 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 95 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞 \| 龐秀蘭 \| 史密斯 \| 奈吉 @ 技術司專利資料集
晶片之疊對量測標記	核准國家: 南韓 \| 證書號碼: 10-1257961 \| 專利期間起: 102/04/18 \| 專利期間訖: 114/10/10 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 102 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞 \| 龐秀蘭 \| 史密斯奈吉 @ 技術司專利資料集
晶片之疊對量測標記	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7379184 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 97 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉 @ 技術司專利資料集

晶片之疊對量測標記

內置式晶圓微影疊對圖樣設計	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I271811 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 96 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉 @ 技術司專利資料集
依據標記影像對稱性來決定疊對誤差的方法與系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I286196 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 96 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉 @ 技術司專利資料集
依據標記影像對稱性來決定疊對誤差的方法與系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,477,396 \| 專利期間起: 98/01/13 \| 專利期間訖: 116/02/17 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞 \| 龐秀蘭 \| 史密斯奈吉 @ 技術司專利資料集
疊對量測標記及其疊對誤差之量測方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I361266 \| 專利期間起: 101/04/01 \| 專利期間訖: 117/05/26 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 101 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 龐秀蘭 \| 顧逸霞 \| 史密斯奈吉 @ 技術司專利資料集
依據標記影像對稱性來決定疊對誤差的方法與系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7477396 \| 專利期間起: 1998/1/13 \| 專利期間訖: 116/02/17 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞 \| 龐秀蘭 \| 史密斯奈吉 @ 技術司專利資料集

多執行緒程式之電源閘控方法以及電源閘控系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,904,736 \| 專利期間起: 100/03/08 \| 專利期間訖: 119/01/03 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 游逸平 \| 李政崑 \| 莊國煜 \| 吳宗憲 @ 技術司專利資料集
互動式顯示系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,916,129 \| 專利期間起: 100/03/29 \| 專利期間訖: 118/03/20 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資訊中心 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 林盈孜 \| 蕭詠今 \| 陳右凱 \| 李森 \| 楊博智 @ 技術司專利資料集
多執行緒程式之電源閘控方法以及電源閘控系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7904736 \| 專利期間起: 100/03/08 \| 專利期間訖: 119/01/03 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 游逸平 \| 李政崑 \| 莊國煜 \| 吳宗憲 @ 技術司專利資料集
互動式顯示系統	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7916129 \| 專利期間起: 100/03/29 \| 專利期間訖: 118/03/20 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資訊中心 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 林盈孜 \| 蕭詠今 \| 陳右凱 \| 李森 \| 楊博智 @ 技術司專利資料集
靜電放電防護電路	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,692,907 \| 專利期間起: 99/04/06 \| 專利期間訖: 117/03/03 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 資訊與通訊領域環境建構計畫 \| 專利發明人: 陳世宏 \| 柯明道 @ 技術司專利資料集
壓電驅動光學鏡頭	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,511,904 \| 專利期間起: 98/03/31 \| 專利期間訖: 116/05/17 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 胡朝彰 \| 蘇漢威 \| 沈聖智 @ 技術司專利資料集
氫甲醯化製程	核准國家: 美國 \| 證書號碼: 7,683,219 \| 專利期間起: 99/03/23 \| 專利期間訖: 118/03/22 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 99 \| 計畫名稱: 南部產業關鍵技術計畫 \| 專利發明人: 薛茂霖 \| 楊浩熏 \| 時國誠 \| 蘇再添 @ 技術司專利資料集
停車管理系統及裝置	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL200710159782.3 \| 專利期間起: 100/03/16 \| 專利期間訖: 116/12/20 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院資通所 \| 產出年度: 100 \| 計畫名稱: 智慧感測網路技術與服務發展計畫 \| 專利發明人: 郭倫嘉 \| 吳忠郼 \| 沈仲九 \| 黃士一 @ 技術司專利資料集

利用識別碼對應法之資料同步方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I222579 \| 專利期間起: 38281 \| 專利期間訖: 45198 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 新世代數位學習環境技術研發計畫 \| 專利發明人: 譚正中
擴充卡快速原型發展平台	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 204187 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 張志龍 \| 陳友士
文件內容與中介資料之對應方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 195703 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 陳文鋕 \| 張履平 \| 蒙以亨
組合的類別特徵選取方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 195776 \| 專利期間起: 37987 \| 專利期間訖: 44767 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 周世俊 \| 謝文泰 \| 蒙以亨
中文文章評量方法及系統及其電腦讀取媒介	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 199185 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 陳文鋕
根據常識樹狀標示法計算概念相似度之方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 204708 \| 專利期間起: 38139 \| 專利期間訖: 44918 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 謝文泰 \| 周世俊
超文件標示語言格式表格之轉換裝置及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 198948 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 張履平 \| 蔣岳霖 \| 陳文鋕
以本體論為基礎之知識圖形系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 198664 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 施信德
網路服務語意註冊系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 192858 \| 專利期間起: 37956 \| 專利期間訖: 44732 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 施信德 \| 喻瀚寬
網路服務推薦系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 198827 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 施信德 \| 陳文鋕
網路服務檢索與叢集系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 194252 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 廖炳堯 \| 施信德 \| 喻瀚寬
音訊/視訊的檢索資料庫之建立方法及歌曲檢索系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 220483 \| 專利期間起: 38220 \| 專利期間訖: 44850 \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 吳宗德 \| 賴志群
以影像為基礎之突出部位辨識與追蹤方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 207175 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 王學武 \| 楊德雲
使用線段描述肢體之肢體辨識技術之方法及系統	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 220503 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 資策會 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 資策會創新前瞻技術計畫 \| 專利發明人: 王學武 \| 楊德雲
可適於不同作業系統之螢幕色彩描述檔的產生方式	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I220632 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 印研中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 印刷電腦配色調墨技術研發三年計畫 \| 專利發明人: 張中一 \| 張世錩 \| 林美玲

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