應用在混成式微影製程的光罩圖案的光罩及此製程的對準方法
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專利名稱-中文應用在混成式微影製程的光罩圖案的光罩及此製程的對準方法的核准國家是中華民國, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是100, 專利性質是發明, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 專利發明人是陳維恕,, 證書號碼是I338819.

序號	7880
產出年度	100
領域別	創新前瞻
專利名稱-中文	應用在混成式微影製程的光罩圖案的光罩及此製程的對準方法
執行單位	工研院院本部
產出單位	工研院院本部
計畫名稱	工研院創新前瞻技術研究計畫
專利發明人	陳維恕,
核准國家	中華民國
獲證日期	100/04/18
證書號碼	I338819
專利期間起	100/03/11
專利期間訖	115/06/22
專利性質	發明
技術摘要-中文	一種應用在混成式微影製程的光罩圖案，此光罩具有透光區與非透光區，透光區包括元件區與切割道區。光罩圖案包括：位於元件區上之多個元件圖案、部分的第一組、第二組對準量測圖形以及一組疊對測量圖形。其中，部分的第一組、第二組對準量測圖形位於切割道區上以及非透光區上。於進行曝光製程後，部分的第一組、第二組對準量測圖形會各別自行對準以自行產生二合成組對準量測圖形。一組疊對測量圖形包括四個方框，其分別位於非透光區與切割道區交界的邊角處之四個區域的其中之一，以補正光罩旋轉所產生的疊對誤差。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-5917812
傳真	03-5917431
電子信箱	oralp@itri.org.tw
參考網址	(空)
備註	(空)
特殊情形	(空)
同步更新日期	2019-07-24

序號

7880

產出年度

100

領域別

創新前瞻

專利名稱-中文

應用在混成式微影製程的光罩圖案的光罩及此製程的對準方法

執行單位

工研院院本部

產出單位

工研院院本部

計畫名稱

工研院創新前瞻技術研究計畫

專利發明人

陳維恕,

核准國家

中華民國

獲證日期

100/04/18

證書號碼

I338819

專利期間起

100/03/11

專利期間訖

115/06/22

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種應用在混成式微影製程的光罩圖案，此光罩具有透光區與非透光區，透光區包括元件區與切割道區。光罩圖案包括：位於元件區上之多個元件圖案、部分的第一組、第二組對準量測圖形以及一組疊對測量圖形。其中，部分的第一組、第二組對準量測圖形位於切割道區上以及非透光區上。於進行曝光製程後，部分的第一組、第二組對準量測圖形會各別自行對準以自行產生二合成組對準量測圖形。一組疊對測量圖形包括四個方框，其分別位於非透光區與切割道區交界的邊角處之四個區域的其中之一，以補正光罩旋轉所產生的疊對誤差。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-5917812

傳真

03-5917431

電子信箱

oralp@itri.org.tw

參考網址

(空)

備註

(空)

特殊情形

(空)

同步更新日期

2019-07-24

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通孔結構、記憶體陣列、三維電阻式記憶體與其形成方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 105 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: FREDERICK T. CHEN ,吳岱原 ,陳佑昇 ,陳維恕 ,辜佩儀 ,林雨德 \| 證書號碼: 9,257,641 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電阻式隨機存取記憶體及其製作方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 104 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 高階手持裝置三維整合應用技術計畫 \| 專利發明人: 陳維恕 ,吳岱原 ,楊姍意 ,陳鵬升 ,FREDERICK T. CHEN \| 證書號碼: 100148956 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電阻式記憶元件及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電光系統所 \| 產出年度: 105 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 高階手持裝置三維整合應用技術計畫 \| 專利發明人: 陳維恕 ,FREDERICK T. CHEN ,楊姍意 ,陳鵬升 \| 證書號碼: I521674 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
二維碟盤狀相變化記憶體元件結構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 96 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 陳維恕陳頤承王文翰許宏輝李乾銘卓言趙得勝李敏鴻 \| 證書號碼: I284389 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電阻式隨機存取記憶體及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 103 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 高階手持裝置三維整合應用技術計畫 \| 專利發明人: 陳維恕 ,吳岱原 ,FREDERICK T. CHEN ,陳邦旭 \| 證書號碼: I458077 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電阻式記憶元件及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 103 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 高階手持裝置三維整合應用技術計畫 \| 專利發明人: 陳維恕 \| 證書號碼: I433364 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
相變化記憶體裝置及其製造方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 103 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 高階手持裝置三維整合應用技術計畫 \| 專利發明人: 陳維恕 \| 證書號碼: I449170 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
電阻式隨機存取記憶體元件及其製作方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 103 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 高階手持裝置三維整合應用技術計畫 \| 專利發明人: 陳維恕 \| 證書號碼: I451608 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

通孔結構、記憶體陣列、三維電阻式記憶體與其形成方法

揚聲器單體結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陳明道 ,劉昌和 , \| 證書號碼: ZL200810211084.8 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
晶圓級模封接合結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陸蘇財 ,莊敬業 ,林育民 \| 證書號碼: 8,384,215 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
感測裝置及其掃描驅動方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 沈煜棠 ,葉紹興 \| 證書號碼: 8,416,213 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
揚聲器單體結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: ZL200710184913.3 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
平面揚聲器單體與揚聲器裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: ZL200910202828.4 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
平面揚聲器單體與揚聲器裝置	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: 8,391,520 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
照明裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃承揚 ,許詔開 \| 證書號碼: I402456 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
Amphiphilic block copolymers and nanoparticles comprising the same	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院生醫所 \| 產出年度: 104 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 智慧標靶藥物傳輸技術及應用開發計畫 \| 專利發明人: 謝明發, 張學曾, 陳進富, 張原嘉, 甘霈, 林才祐 \| 證書號碼: 8,940,333 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

浮動床型生物處理裝置以及使用該裝置淨化難分解性廢水或自來水原水的方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 莊順興, 邱創汎, 游惠宋, 張王冠, 邵信, 彭明鏡, 洪仁陽 \| 證書號碼: 6,682,653
使用無紡布過濾的膜生物反應器	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 張王冠, 張敏超, 洪仁陽, 邵信 \| 證書號碼: ZL01144422.3
使用不織物過濾膜之膜離物反應器	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 張王冠, 張敏超, 洪仁陽, 邵信 \| 證書號碼: 6,808,628
電透析膜離生物反應槽及含硝酸鹽原水或廢水的脫氮方法	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 洪仁陽, 張王冠, 邵信, 吳漢松 \| 證書號碼: ZL01139846.9
使用膜離生物反應器的廢水/水處理方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 洪仁陽, 張王冠, 邵信, 張敏超 \| 證書號碼: 207296
從水中移除砷的方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 李茂松, 張王冠, 黃志彬, 顏士閔 \| 證書號碼: 189832
多功能壓力量測裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃建平, 湯新達 \| 證書號碼: 210150
套管式平均動壓測量裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃建平, 唐思維 \| 證書號碼: ZL03249004.6
套管式平均動壓量測管	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃建平, 唐思維 \| 證書號碼: 242689
雙管式平均動壓測量裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃建平 \| 證書號碼: ZL03249005.4
雙管式平均動壓量測管	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃建平 \| 證書號碼: M245405
移動式負壓隔離艙	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陸忠憲, 黃建平, 林慶峰, 吳振榮, 許又仁 \| 證書號碼: M248423
旋轉乾燥造粒裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃嘉宏, 黃家銘, 賴重光, 蔡啟明, 張贊淵, 黃珧玲, 鄧瑞琴, 曾善訓, 陳政澤 \| 證書號碼: 209043
單人進出通行管制系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 林國照, 賴加勳, 劉健偉 \| 證書號碼: 196399
抗爆貨櫃強化門	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 王明忠, 王豐賀, 安超群, 滕步旭 \| 證書號碼: 215835

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