依據標記影像對稱性來決定疊對誤差的方法與系統
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專利名稱-中文依據標記影像對稱性來決定疊對誤差的方法與系統的核准國家是美國, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是100, 專利性質是發明, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 專利發明人是顧逸霞,龐秀蘭,史密斯奈吉,, 證書號碼是7,477,396.

序號	7898
產出年度	100
領域別	創新前瞻
專利名稱-中文	依據標記影像對稱性來決定疊對誤差的方法與系統
執行單位	工研院院本部
產出單位	工研院院本部
計畫名稱	工研院創新前瞻技術研究計畫
專利發明人	顧逸霞,龐秀蘭,史密斯奈吉,
核准國家	美國
獲證日期	100/08/05
證書號碼	7,477,396
專利期間起	98/01/13
專利期間訖	116/02/17
專利性質	發明
技術摘要-中文	使用於半導體裝置製造之疊對量測方法中，一疊對對準記號有助於對準及/或半導體晶圓結構上的兩層之對準誤差量測，或同一層的不同曝光之對準誤差量測。本發明係關於一疊對量測記號，其係足夠小以致可置於半導體裝置之主動區域內，並結合適當量測方法，其結果可改善量測精確性。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	李露蘋
電話	03-5917812
傳真	03-5917431
電子信箱	oralp@itri.org.tw
參考網址	(空)
備註	(空)
特殊情形	(空)
同步更新日期	2019-07-24

序號

7898

產出年度

100

領域別

創新前瞻

專利名稱-中文

依據標記影像對稱性來決定疊對誤差的方法與系統

執行單位

工研院院本部

產出單位

工研院院本部

計畫名稱

工研院創新前瞻技術研究計畫

專利發明人

顧逸霞,龐秀蘭,史密斯奈吉,

核准國家

美國

獲證日期

100/08/05

證書號碼

7,477,396

專利期間起

98/01/13

專利期間訖

116/02/17

專利性質

發明

技術摘要-中文

使用於半導體裝置製造之疊對量測方法中，一疊對對準記號有助於對準及/或半導體晶圓結構上的兩層之對準誤差量測，或同一層的不同曝光之對準誤差量測。本發明係關於一疊對量測記號，其係足夠小以致可置於半導體裝置之主動區域內，並結合適當量測方法，其結果可改善量測精確性。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-5917812

傳真

03-5917431

電子信箱

oralp@itri.org.tw

參考網址

(空)

備註

(空)

特殊情形

(空)

同步更新日期

2019-07-24

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法務部司法官學院會計月報(按月)	資料集識別碼: 23541 \| 詮釋資料更新時間: 2024-06-14 10:23:22 \| 品質檢測: 金 \| 檔案格式: ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;... \| 編碼格式: UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-... \| 提供機關: 法務部司法官學院 \| 服務分類: 公共資訊 \| 資料集描述: 法務部司法官學院會計月報 @ 政府資料開放平臺資料集清單
教育部青年發展署會計報告	資料集識別碼: 158293 \| 詮釋資料更新時間: 2024-06-12 15:35:59 \| 品質檢測: 白金 \| 檔案格式: ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;... \| 編碼格式: UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-... \| 提供機關: 教育部青年發展署 \| 服務分類: 公共資訊 \| 資料集描述: 各年度、月份會計報告電子檔案 @ 政府資料開放平臺資料集清單

矯正署彰化監獄會計月報

資料集識別碼: 23701 | 詮釋資料更新時間: 2023-07-27 10:41:25 | 品質檢測: 金 | 檔案格式: ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;... | 編碼格式: UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-... | 提供機關: 法務部矯正署 | 服務分類: 公共資訊 | 資料集描述: 矯正署彰化監獄會計報告(按月)

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法務部司法官學院會計月報(按月)

資料集識別碼: 23541 | 詮釋資料更新時間: 2024-06-14 10:23:22 | 品質檢測: 金 | 檔案格式: ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;... | 編碼格式: UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-... | 提供機關: 法務部司法官學院 | 服務分類: 公共資訊 | 資料集描述: 法務部司法官學院會計月報

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教育部青年發展署會計報告

資料集識別碼: 158293 | 詮釋資料更新時間: 2024-06-12 15:35:59 | 品質檢測: 白金 | 檔案格式: ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;ZIP;... | 編碼格式: UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-8;UTF-... | 提供機關: 教育部青年發展署 | 服務分類: 公共資訊 | 資料集描述: 各年度、月份會計報告電子檔案

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晶片之疊對量測標記	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 95 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞、龐秀蘭、史密斯、奈吉 \| 證書號碼: I248154 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
內置式晶圓微影疊對圖樣設計	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 96 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞龐秀蘭史密斯奈吉 \| 證書號碼: I271811 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
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疊對量測標記及其疊對誤差之量測方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 101 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 龐秀蘭,顧逸霞,史密斯奈吉 \| 證書號碼: I361266 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
晶片之疊對量測標記	核准國家: 南韓 \| 執行單位: 工研院院本部 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 \| 專利發明人: 顧逸霞 ,龐秀蘭 ,史密斯奈吉 , \| 證書號碼: 10-1257961 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

揚聲器單體結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陳明道 ,劉昌和 , \| 證書號碼: ZL200810211084.8 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
晶圓級模封接合結構及其製造方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 陸蘇財 ,莊敬業 ,林育民 \| 證書號碼: 8,384,215 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
感測裝置及其掃描驅動方法	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院南分院 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 沈煜棠 ,葉紹興 \| 證書號碼: 8,416,213 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
揚聲器單體結構	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: ZL200710184913.3 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
平面揚聲器單體與揚聲器裝置	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: ZL200910202828.4 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
平面揚聲器單體與揚聲器裝置	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 劉昌和 ,陳明道 \| 證書號碼: 8,391,520 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
照明裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電光所 \| 產出年度: 102 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 軟性電子模組與應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 黃承揚 ,許詔開 \| 證書號碼: I402456 @ 經濟部產業技術司–專利資料集
Amphiphilic block copolymers and nanoparticles comprising the same	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院生醫所 \| 產出年度: 104 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 智慧標靶藥物傳輸技術及應用開發計畫 \| 專利發明人: 謝明發, 張學曾, 陳進富, 張原嘉, 甘霈, 林才祐 \| 證書號碼: 8,940,333 @ 經濟部產業技術司–專利資料集

碼群組辨識與框邊界同步的方法與裝置	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 陳柏村, 黃合淇, 陳蘊彥, 楊木榮 \| 證書號碼: 6,775,318
片狀天線	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 曾文仁, 沈志文, 陳建宏 \| 證書號碼: ZL01103747.4
環型耦合微波空腔	核准國家: 日本 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 劉智群, 張忠繼, 鍾如琦 \| 證書號碼: 3604653
多頻天線裝置	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 新型 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 曾文仁, 沈志文 \| 證書號碼: 214324
多層型電感電容共振式平衡至非平衡轉換器	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 湯敬文 \| 證書號碼: 184637
用於多頻帶功率放大器之阻抗匹配電路	核准國家: 德國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 劉士平, 邱永年, 王增川 \| 證書號碼: 10150159
具有寄生接地電容之多層式頻帶分隔器	核准國家: 中國大陸 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 沈志文 \| 證書號碼: ZL01131164.9
具有寄生接地電容之多層式頻帶分隔器	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 沈志文 \| 證書號碼: 6,677,833
一種具微細可調性之語音編解碼系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 陳芳祝 \| 證書號碼: 187286
無線電網路之語音通訊系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 逄愛君, 林一平, 黃毅然 \| 證書號碼: 185594
多頻道匹配網路	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 王增川, 邱永年 \| 證書號碼: 193917
倒F型平面天線	核准國家: 美國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 方士庭, 葉世晃, 翁金輅 \| 證書號碼: 6,727,854
應用在向量旋轉器之座標旋轉數位計算器運算方法及架構	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 吳政勳, 潘佳河, 吳安宇 \| 證書號碼: 200623
編碼及解碼裝置和方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 鄭延修, 蘇育德, 王維廷 \| 證書號碼: 189549
用於分散式閘道整合封包無線電服務支援節點系統之資源重分配方法	核准國家: 中華民國 \| 執行單位: 工研院電通所 \| 產出年度: 93 \| 專利性質: 發明 \| 計畫名稱: 無線通訊技術發展五年計畫 \| 專利發明人: 曹孝櫟 \| 證書號碼: 187511

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執行單位

產出單位

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專利發明人

核准國家

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