一種用於低溫化學溶液合成製作硫化物半導體薄膜的裝置
- 技術司專利資料集 @ 經濟部

專利名稱-中文一種用於低溫化學溶液合成製作硫化物半導體薄膜的裝置的核准國家是中華民國, 證書號碼是M438929, 專利期間起是101/10/11, 專利期間訖是110/12/13, 專利性質是新型, 執行單位是中科院材料所, 產出年度是101, 計畫名稱是CIGS太陽電池關鍵技術開發計畫, 專利發明人是駱榮富,劉于菁,吳忠衛,何仁翔,林瑤冷,項裕德.

序號	10754
產出年度	101
領域別	機械運輸
專利名稱-中文	一種用於低溫化學溶液合成製作硫化物半導體薄膜的裝置
執行單位	中科院材料所
產出單位	中科院五所
計畫名稱	CIGS太陽電池關鍵技術開發計畫
專利發明人	駱榮富 \| 劉于菁 \| 吳忠衛 \| 何仁翔 \| 林瑤冷 \| 項裕德
核准國家	中華民國
獲證日期	101/10/11
證書號碼	M438929
專利期間起	101/10/11
專利期間訖	110/12/13
專利性質	新型
技術摘要-中文	藉由三組步進馬達移動平台的控制可使製程載台進行三維方向的運動，如此可將反應溶液以陣列方式排列，大幅縮短製程行程，提升連續離子吸附法製程製備硫化物薄膜薄膜製程效率，同時本創作並以光收發模組、電磁水閥、去離子水輸入管路及溢流水輸出管路等組成去離子水自動換補結構，使製程中清洗試片的去離子水保持良好潔淨度，以提升薄膜製程品質。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	吳政翰
電話	03-4712201ext357258
傳真	03-4711024
電子信箱	csist@csistdup.org.tw
參考網址	(空)
備註	(空)
特殊情形	(空)

序號

10754

產出年度

101

領域別

機械運輸

專利名稱-中文

一種用於低溫化學溶液合成製作硫化物半導體薄膜的裝置

執行單位

中科院材料所

產出單位

中科院五所

計畫名稱

CIGS太陽電池關鍵技術開發計畫

專利發明人

駱榮富 | 劉于菁 | 吳忠衛 | 何仁翔 | 林瑤冷 | 項裕德

核准國家

中華民國

獲證日期

101/10/11

證書號碼

M438929

專利期間起

101/10/11

專利期間訖

110/12/13

專利性質

新型

技術摘要-中文

藉由三組步進馬達移動平台的控制可使製程載台進行三維方向的運動，如此可將反應溶液以陣列方式排列，大幅縮短製程行程，提升連續離子吸附法製程製備硫化物薄膜薄膜製程效率，同時本創作並以光收發模組、電磁水閥、去離子水輸入管路及溢流水輸出管路等組成去離子水自動換補結構，使製程中清洗試片的去離子水保持良好潔淨度，以提升薄膜製程品質。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

吳政翰

電話

03-4712201ext357258

傳真

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薄膜太陽電池撓曲物理特性及效率量測裝置

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單人進出通行管制系統及方法	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 196399 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院環安中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 產業環境與安全衛生應用技術發展計畫 \| 專利發明人: 林國照 \| 賴加勳 \| 劉健偉
抗爆貨櫃強化門	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 215835 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 王明忠 \| 王豐賀 \| 安超群 \| 滕步旭
微形抓取夾結構	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 216640 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 張凱程 \| 范光錢
防回吸型牙鑽手機	核准國家: 德國 \| 證書號碼: 202004002873.5 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 郭啟榮 \| 魏增武 \| 張嘉揚
振動式環形陀螺儀的環體及支承結構	核准國家: 中國大陸 \| 證書號碼: ZL03264106.0 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 李國驤 \| 林松濤 \| 李世平 \| 張明暐 \| 李漢州 \| 許銘修 \| 粘金重
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可撓式基板之微型超音波換能器	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: 219612 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 張明暐 \| 鄧澤民 \| 樊天柱 \| 賴志敏 \| 李國驤 \| 邱家麟
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氣動工具之渦輪馬達	核准國家: 德國 \| 證書號碼: 202004005998.3 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 新型 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 郭啟榮 \| 吳嘉瑞 \| 張嘉揚 \| 王大維 \| 廖榮皇
應用光學干涉計之科氏力型流量計	核准國家: 中華民國 \| 證書號碼: I220157 \| 專利期間起: \| 專利期間訖: \| 專利性質: 發明 \| 執行單位: 工研院系統中心 \| 產出年度: 93 \| 計畫名稱: 航機結構與關鍵系統件技術發展四年計畫 \| 專利發明人: 范政文 \| 粘金重 \| 郭忠柱 \| 朱高弘

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