氮化物半導體模板及其制作方法
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專利名稱-中文氮化物半導體模板及其制作方法的核准國家是中國大陸, 執行單位是工研院院本部, 產出年度是103, 專利性質是發明, 計畫名稱是工研院創新前瞻技術研究計畫, 專利發明人是蔡政達 ,劉柏均, 證書號碼是ZL201010606225.3.

序號13401
產出年度103
領域別服務創新
專利名稱-中文氮化物半導體模板及其制作方法
執行單位工研院院本部
產出單位工研院電光所
計畫名稱工研院創新前瞻技術研究計畫
專利發明人蔡政達 ,劉柏均
核准國家中國大陸
獲證日期103/04/02
證書號碼ZL201010606225.3
專利期間起119/12/23
專利期間訖一種氮化物半導體模板及其製作方法。氮化物半導體模板包括一具有一第一熱膨脹係數的承載基板、一具有一第二熱膨脹係數的氮化物半導體層以及一接合層,且第一熱膨脹係數不同於第二熱膨脹係數。配置於承載基板上的氮化物半導體層至少有10μm厚。氮化物半導體層在第一表面比上第二表面的一差排密度比值由0.1至10。接合層配置於承載基板與氮化物半導體層之間以使氮化物半導體層貼合至承載基板上。第二表面接近氮化物半導體層與接合層之間的一介面,而第一表面距離第二表面10μm。
專利性質發明
技術摘要-中文一種氮化物半導體模板及其製作方法。氮化物半導體模板包括一具有一第一熱膨脹係數的承載基板、一具有一第二熱膨脹係數的氮化物半導體層以及一接合層,且第一熱膨脹係數不同於第二熱膨脹係數。配置於承載基板上的氮化物半導體層至少有10μm厚。氮化物半導體層在第一表面比上第二表面的一差排密度比值由0.1至10。接合層配置於承載基板與氮化物半導體層之間以使氮化物半導體層貼合至承載基板上。第二表面接近氮化物半導體層與接合層之間的一介面,而第一表面距離第二表面10μm。
技術摘要-英文(空)
聯絡人員李露蘋
電話03-5918064
傳真03-5917683
電子信箱oralp@itri.org.tw
參考網址(空)
備註(空)
特殊情形(空)
同步更新日期2019-07-24

序號

13401

產出年度

103

領域別

服務創新

專利名稱-中文

氮化物半導體模板及其制作方法

執行單位

工研院院本部

產出單位

工研院電光所

計畫名稱

工研院創新前瞻技術研究計畫

專利發明人

蔡政達 ,劉柏均

核准國家

中國大陸

獲證日期

103/04/02

證書號碼

ZL201010606225.3

專利期間起

119/12/23

專利期間訖

一種氮化物半導體模板及其製作方法。氮化物半導體模板包括一具有一第一熱膨脹係數的承載基板、一具有一第二熱膨脹係數的氮化物半導體層以及一接合層,且第一熱膨脹係數不同於第二熱膨脹係數。配置於承載基板上的氮化物半導體層至少有10μm厚。氮化物半導體層在第一表面比上第二表面的一差排密度比值由0.1至10。接合層配置於承載基板與氮化物半導體層之間以使氮化物半導體層貼合至承載基板上。第二表面接近氮化物半導體層與接合層之間的一介面,而第一表面距離第二表面10μm。

專利性質

發明

技術摘要-中文

一種氮化物半導體模板及其製作方法。氮化物半導體模板包括一具有一第一熱膨脹係數的承載基板、一具有一第二熱膨脹係數的氮化物半導體層以及一接合層,且第一熱膨脹係數不同於第二熱膨脹係數。配置於承載基板上的氮化物半導體層至少有10μm厚。氮化物半導體層在第一表面比上第二表面的一差排密度比值由0.1至10。接合層配置於承載基板與氮化物半導體層之間以使氮化物半導體層貼合至承載基板上。第二表面接近氮化物半導體層與接合層之間的一介面,而第一表面距離第二表面10μm。

技術摘要-英文

(空)

聯絡人員

李露蘋

電話

03-5918064

傳真

03-5917683

電子信箱

oralp@itri.org.tw

參考網址

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備註

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特殊情形

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同步更新日期

2019-07-24

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氮化物半導體襯底的制造方法及複合材料襯底

核准國家: 中國大陸 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 98 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 劉柏均 ,劉文岳 ,賴志銘 ,郭義德 ,蔡政達 , | 證書號碼: ZL200610100109.8

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氮化物半導體基板的製造方法及複合材料基板

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 99 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 劉柏均 ,劉文岳 ,賴志銘 ,郭義德 ,蔡政達 , | 證書號碼: I334164

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氮化物半導體基板的製造方法及複合材料基板

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 99 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 劉柏均 ,劉文岳 ,賴志銘 ,郭義德 ,蔡政達 , | 證書號碼: 7687378

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氮化物半導體基板的製造方法及複合材料基板

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 劉柏均,劉文岳,賴志銘,郭義德,蔡政達 | 證書號碼: 8,058,705

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氮化物半導體基板、氮化物半導體層之形成方法以及其與基板之分離方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 99 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭義德 ,賴志銘 ,蔡政達 ,劉柏均 , | 證書號碼: I319893

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氮化物半導體基板、氮化物半導體層之形成方法以及其與基板之分離方法

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 99 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭義德 ,賴志銘 ,蔡政達 ,劉柏均 , | 證書號碼: 7772595

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島狀式承載板及其制作方法

核准國家: 中國大陸 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭義德,蔡政達,劉柏均, | 證書號碼: ZL200710181527.9

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島狀式承載板

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭義德,蔡政達,劉柏均, | 證書號碼: I353657

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氮化物半導體襯底的制造方法及複合材料襯底

核准國家: 中國大陸 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 98 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 劉柏均 ,劉文岳 ,賴志銘 ,郭義德 ,蔡政達 , | 證書號碼: ZL200610100109.8

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氮化物半導體基板的製造方法及複合材料基板

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 99 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 劉柏均 ,劉文岳 ,賴志銘 ,郭義德 ,蔡政達 , | 證書號碼: I334164

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氮化物半導體基板的製造方法及複合材料基板

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 99 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 劉柏均 ,劉文岳 ,賴志銘 ,郭義德 ,蔡政達 , | 證書號碼: 7687378

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氮化物半導體基板的製造方法及複合材料基板

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 劉柏均,劉文岳,賴志銘,郭義德,蔡政達 | 證書號碼: 8,058,705

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氮化物半導體基板、氮化物半導體層之形成方法以及其與基板之分離方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 99 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭義德 ,賴志銘 ,蔡政達 ,劉柏均 , | 證書號碼: I319893

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氮化物半導體基板、氮化物半導體層之形成方法以及其與基板之分離方法

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 99 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭義德 ,賴志銘 ,蔡政達 ,劉柏均 , | 證書號碼: 7772595

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島狀式承載板及其制作方法

核准國家: 中國大陸 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭義德,蔡政達,劉柏均, | 證書號碼: ZL200710181527.9

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島狀式承載板

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 100 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭義德,蔡政達,劉柏均, | 證書號碼: I353657

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毫微型基地台中具有應用層閘道支援網路位址轉換的區域網際網路通訊協定存取系統與方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 葛達 ,楊人順 ,王瑞堂 ,Shubhranshu Singh ,黃貴笠 | 證書號碼: I431995

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微波等離子體激發裝置

核准國家: 中國大陸 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 張志振 ,黃昆平 ,謝宇澤 | 證書號碼: ZL201110065895.3

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前置編碼與解碼的系統、裝置及方法

核准國家: 中國大陸 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 王煥宗 ,黃德振 , | 證書號碼: ZL200810085399.2

@ 經濟部產業技術司–專利資料集

減少上行傳輸多基地台干擾的裝置及方法

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭秉衡 ,丁邦安 | 證書號碼: 8605803

@ 經濟部產業技術司–專利資料集

非接觸式擾動感測裝置

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 趙哲寬 ,吳秉勳 | 證書號碼: 8665098

@ 經濟部產業技術司–專利資料集

組播廣播服務區域裡可靠同步裝置與方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭維翰 ,劉家隆 ,王瑞堂 ,楊人順 | 證書號碼: I432062

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認證方法、金鑰分配方法及認證與金鑰分配方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 王瑞堂 ,黃貴笠 ,Shubhranshu Singh ,葛達 ,楊人順 | 證書號碼: I432040

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注入鎖定除頻器

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 張鴻埜 ,葉彥良 ,張家宏 ,陳俊仁 | 證書號碼: I431943

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毫微型基地台中具有應用層閘道支援網路位址轉換的區域網際網路通訊協定存取系統與方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 葛達 ,楊人順 ,王瑞堂 ,Shubhranshu Singh ,黃貴笠 | 證書號碼: I431995

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微波等離子體激發裝置

核准國家: 中國大陸 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 張志振 ,黃昆平 ,謝宇澤 | 證書號碼: ZL201110065895.3

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前置編碼與解碼的系統、裝置及方法

核准國家: 中國大陸 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 王煥宗 ,黃德振 , | 證書號碼: ZL200810085399.2

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減少上行傳輸多基地台干擾的裝置及方法

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭秉衡 ,丁邦安 | 證書號碼: 8605803

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非接觸式擾動感測裝置

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 趙哲寬 ,吳秉勳 | 證書號碼: 8665098

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組播廣播服務區域裡可靠同步裝置與方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 郭維翰 ,劉家隆 ,王瑞堂 ,楊人順 | 證書號碼: I432062

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認證方法、金鑰分配方法及認證與金鑰分配方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 王瑞堂 ,黃貴笠 ,Shubhranshu Singh ,葛達 ,楊人順 | 證書號碼: I432040

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注入鎖定除頻器

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院院本部 | 產出年度: 103 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院創新前瞻技術研究計畫 | 專利發明人: 張鴻埜 ,葉彥良 ,張家宏 ,陳俊仁 | 證書號碼: I431943

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與氮化物半導體模板及其制作方法同分類的經濟部產業技術司–專利資料集

一種金屬內外表面電解拋光裝置

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林春宏, 吳錦清, 鍾允昇, 涂運泉, 吳清吉, 彭永振 | 證書號碼: 6776884

手持式光纖切割裝置

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 李文宇, 周大鑫 | 證書號碼: 6754426

直結式主軸於機台上之安裝機構

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 蔡垂錫, 黃興杰, 陳義堂 | 證書號碼: 6772660

具位置.速度與力量控制之晶片取放裝置

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 黃國興, 劉俊賢, 李思慧, 張瀛方, 林宏毅, 徐嘉彬 | 證書號碼: 6651865

無間隙3-D微結構陣列模仁之製程

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林坤龍, 周敏傑, 潘正堂 | 證書號碼: 201594

無間隙3-D微結構陣列模仁之製程

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林坤龍, 周敏傑, 潘正堂 | 證書號碼: 6,746,823

降低鎳基合金鍍層內應力之方法

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 柯世宗, 李仁智, 葛明德, 王樂民, 宋鈺, 楊詔中, 黃雅如 | 證書號碼: 6699379

球形工件加工裝置

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 新型 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林衛助, 蔡坤龍 | 證書號碼: 211484

物件與膠膜分離之方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 劉俊賢, 黃國興, 徐嘉彬, 洪嘉宏 | 證書號碼: 194407

可三維即時修正之尋光方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 周甘霖, 李閔凱 | 證書號碼: 188264

隔膜閥

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 新型 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林春宏, 蔡陳德, 吳錦清, 何榮振, 王漢聰 | 證書號碼: 218453

二片式繞射/折射複合型成像系統

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 傅春能, 林宗信, 林信義, 陸懋宏, 徐得銘 | 證書號碼: 220699

二片式繞射/折射複合型成像系統

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 傅春能, 林宗信, 林信義, 陸懋宏, 徐得銘 | 證書號碼: 6,724,532

分離脆性材料的旋轉對位機構

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 新型 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 陳貴榮, 江錦忠 | 證書號碼: 209926

改善非晶矽薄膜基板之製程方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林宏彝, 吳東權, 李三保 | 證書號碼: 194454

一種金屬內外表面電解拋光裝置

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林春宏, 吳錦清, 鍾允昇, 涂運泉, 吳清吉, 彭永振 | 證書號碼: 6776884

手持式光纖切割裝置

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 李文宇, 周大鑫 | 證書號碼: 6754426

直結式主軸於機台上之安裝機構

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 蔡垂錫, 黃興杰, 陳義堂 | 證書號碼: 6772660

具位置.速度與力量控制之晶片取放裝置

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 黃國興, 劉俊賢, 李思慧, 張瀛方, 林宏毅, 徐嘉彬 | 證書號碼: 6651865

無間隙3-D微結構陣列模仁之製程

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林坤龍, 周敏傑, 潘正堂 | 證書號碼: 201594

無間隙3-D微結構陣列模仁之製程

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林坤龍, 周敏傑, 潘正堂 | 證書號碼: 6,746,823

降低鎳基合金鍍層內應力之方法

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 柯世宗, 李仁智, 葛明德, 王樂民, 宋鈺, 楊詔中, 黃雅如 | 證書號碼: 6699379

球形工件加工裝置

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 新型 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林衛助, 蔡坤龍 | 證書號碼: 211484

物件與膠膜分離之方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 劉俊賢, 黃國興, 徐嘉彬, 洪嘉宏 | 證書號碼: 194407

可三維即時修正之尋光方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 周甘霖, 李閔凱 | 證書號碼: 188264

隔膜閥

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 新型 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林春宏, 蔡陳德, 吳錦清, 何榮振, 王漢聰 | 證書號碼: 218453

二片式繞射/折射複合型成像系統

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 傅春能, 林宗信, 林信義, 陸懋宏, 徐得銘 | 證書號碼: 220699

二片式繞射/折射複合型成像系統

核准國家: 美國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 傅春能, 林宗信, 林信義, 陸懋宏, 徐得銘 | 證書號碼: 6,724,532

分離脆性材料的旋轉對位機構

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 新型 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 陳貴榮, 江錦忠 | 證書號碼: 209926

改善非晶矽薄膜基板之製程方法

核准國家: 中華民國 | 執行單位: 工研院機械所 | 產出年度: 93 | 專利性質: 發明 | 計畫名稱: 工研院精密機械與微機電領域環境建構計畫 | 專利發明人: 林宏彝, 吳東權, 李三保 | 證書號碼: 194454

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