球微影蝕刻玻璃基材的方法
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專利名稱-中文球微影蝕刻玻璃基材的方法的核准國家是中華民國, 證書號碼是發明第I491053號, 專利期間起是104/07/01, 專利期間訖是119/12/02, 專利性質是發明, 執行單位是中科院材料暨光電研究所, 產出年度是104, 計畫名稱是高階稀有綠能材料應用研究發展計畫, 專利發明人是魏肇男、薄慧雲、方冠榮、蔡孟宏.

序號	16631
產出年度	104
領域別	綠能科技
專利名稱-中文	球微影蝕刻玻璃基材的方法
執行單位	中科院材料暨光電研究所
產出單位	中科院材料暨光電研究所
計畫名稱	高階稀有綠能材料應用研究發展計畫
專利發明人	魏肇男 \| 薄慧雲 \| 方冠榮 \| 蔡孟宏
核准國家	中華民國
獲證日期	104/07/01
證書號碼	發明第I491053號
專利期間起	104/07/01
專利期間訖	119/12/02
專利性質	發明
技術摘要-中文	本發明係一種球微影蝕刻玻璃基材的方法，包含以下步驟：提供一玻璃基板；於該玻璃基板上形成複數作為阻擋層之球體；對該玻璃基板及阻擋層進行反應離子蝕刻；以及將該蝕刻後之玻璃基板進行鍍膜，藉以提高光散射程度，及降低光的反射率，進而提升太陽能電池的效率。詳細說明本發明是有關於一種以球微影蝕刻玻璃基材的方法，此玻璃基材可應用於太陽能電池，增加光進入元件的散射，及降低光的反射，進而提升太陽能電池效率。
技術摘要-英文	(空)
聯絡人員	魏肇男
電話	03-4712201轉357047
傳真	03-4714368
電子信箱	kungcarothers@gmail.com
參考網址	(空)
備註	(空)
特殊情形	(空)

序號

16631

產出年度

104

領域別

綠能科技

專利名稱-中文

球微影蝕刻玻璃基材的方法

執行單位

中科院材料暨光電研究所

產出單位

中科院材料暨光電研究所

計畫名稱

高階稀有綠能材料應用研究發展計畫

專利發明人

魏肇男 | 薄慧雲 | 方冠榮 | 蔡孟宏

核准國家

中華民國

獲證日期

104/07/01

證書號碼

發明第I491053號

專利期間起

104/07/01

專利期間訖

119/12/02

專利性質

發明

技術摘要-中文

本發明係一種球微影蝕刻玻璃基材的方法，包含以下步驟：提供一玻璃基板；於該玻璃基板上形成複數作為阻擋層之球體；對該玻璃基板及阻擋層進行反應離子蝕刻；以及將該蝕刻後之玻璃基板進行鍍膜，藉以提高光散射程度，及降低光的反射率，進而提升太陽能電池的效率。詳細說明本發明是有關於一種以球微影蝕刻玻璃基材的方法，此玻璃基材可應用於太陽能電池，增加光進入元件的散射，及降低光的反射，進而提升太陽能電池效率。

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魏肇男

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03-4712201轉357047

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03-4714368

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