以濺鍍法沉積矽摻雜氮化鋁薄膜之電特性研究
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論文名稱以濺鍍法沉積矽摻雜氮化鋁薄膜之電特性研究的作者是張書瀚, 指導教授是高慧玲, 學位類別是碩士, 畢業學年度是102, 論文名稱(外文)是The electrical properties of Si-doped AlN thin film by using Helicon sputtering method, 系所名稱是電子工程研究所, 學校名稱是中原大學.

論文名稱以濺鍍法沉積矽摻雜氮化鋁薄膜之電特性研究
論文名稱(外文)The electrical properties of Si-doped AlN thin film by using Helicon sputtering method
學校名稱中原大學
系所名稱電子工程研究所
畢業學年度102
學位類別碩士
作者張書瀚
指導教授高慧玲
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/ck569j

論文名稱

以濺鍍法沉積矽摻雜氮化鋁薄膜之電特性研究

論文名稱(外文)

The electrical properties of Si-doped AlN thin film by using Helicon sputtering method

學校名稱

中原大學

系所名稱

電子工程研究所

畢業學年度

102

學位類別

碩士

作者

張書瀚

指導教授

高慧玲

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/ck569j

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張書瀚42818898解散 (核准解散日期: 2024-06-27)

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