氮化矽(Si3N4)薄膜製程參數變化對砷化鎵微波晶片電容器的崩潰電壓研究
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論文名稱氮化矽(Si3N4)薄膜製程參數變化對砷化鎵微波晶片電容器的崩潰電壓研究的作者是黃嘉良, 指導教授是孫安正, 學位類別是碩士, 畢業學年度是102, 論文名稱(外文)是Effects of deposition conditions of Si3N4 thin film on breakdown voltage for capacitor on GaAs monolithic microwave integrated circuit (MMIC), 系所名稱是化學工程與材料科學學系, 學校名稱是元智大學.

論文名稱氮化矽(Si3N4)薄膜製程參數變化對砷化鎵微波晶片電容器的崩潰電壓研究
論文名稱(外文)Effects of deposition conditions of Si3N4 thin film on breakdown voltage for capacitor on GaAs monolithic microwave integrated circuit (MMIC)
學校名稱元智大學
系所名稱化學工程與材料科學學系
畢業學年度102
學位類別碩士
作者黃嘉良
指導教授孫安正
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/vz22fd

論文名稱

氮化矽(Si3N4)薄膜製程參數變化對砷化鎵微波晶片電容器的崩潰電壓研究

論文名稱(外文)

Effects of deposition conditions of Si3N4 thin film on breakdown voltage for capacitor on GaAs monolithic microwave integrated circuit (MMIC)

學校名稱

元智大學

系所名稱

化學工程與材料科學學系

畢業學年度

102

學位類別

碩士

作者

黃嘉良

指導教授

孫安正

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/vz22fd

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