利用遠程電漿輔助原子層沉積技術製作摻雜氮之結晶化高介電常數金屬閘極堆疊之研究
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論文名稱利用遠程電漿輔助原子層沉積技術製作摻雜氮之結晶化高介電常數金屬閘極堆疊之研究的作者是黃芝傑, 指導教授是陳敏璋, 學位類別是博士, 畢業學年度是102, 論文名稱(外文)是Study of Nitrogen-doped Crystalline High-K/Metal Gate Stacks Prepared by Remote Plasma Atomic Layer Deposition, 系所名稱是材料科學與工程學研究所, 學校名稱是國立臺灣大學.

論文名稱利用遠程電漿輔助原子層沉積技術製作摻雜氮之結晶化高介電常數金屬閘極堆疊之研究
論文名稱(外文)Study of Nitrogen-doped Crystalline High-K/Metal Gate Stacks Prepared by Remote Plasma Atomic Layer Deposition
學校名稱國立臺灣大學
系所名稱材料科學與工程學研究所
畢業學年度102
學位類別博士
作者黃芝傑
指導教授陳敏璋
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/a29zfp

論文名稱

利用遠程電漿輔助原子層沉積技術製作摻雜氮之結晶化高介電常數金屬閘極堆疊之研究

論文名稱(外文)

Study of Nitrogen-doped Crystalline High-K/Metal Gate Stacks Prepared by Remote Plasma Atomic Layer Deposition

學校名稱

國立臺灣大學

系所名稱

材料科學與工程學研究所

畢業學年度

102

學位類別

博士

作者

黃芝傑

指導教授

陳敏璋

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/a29zfp

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