投影式微影之光源模態最佳化研究
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論文名稱投影式微影之光源模態最佳化研究的作者是吳韋辰, 指導教授是郭鴻飛, 學位類別是碩士, 畢業學年度是102, 論文名稱(外文)是Source Shape Optimization Used in Projection Optical Lithography, 系所名稱是自動化及控制研究所, 學校名稱是國立臺灣科技大學.

論文名稱	投影式微影之光源模態最佳化研究
論文名稱(外文)	Source Shape Optimization Used in Projection Optical Lithography
學校名稱	國立臺灣科技大學
系所名稱	自動化及控制研究所
畢業學年度	102
學位類別	碩士
作者	吳韋辰
指導教授	郭鴻飛
博碩士論文網址	https://hdl.handle.net/11296/r9ag75

論文名稱

投影式微影之光源模態最佳化研究

論文名稱(外文)

Source Shape Optimization Used in Projection Optical Lithography

學校名稱

國立臺灣科技大學

系所名稱

自動化及控制研究所

畢業學年度

102

學位類別

碩士

作者

吳韋辰

指導教授

郭鴻飛

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/r9ag75

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