低溫電漿輔助化學氣相沉積法成長富矽碳化矽薄膜之薄膜太陽能電池
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論文名稱低溫電漿輔助化學氣相沉積法成長富矽碳化矽薄膜之薄膜太陽能電池的作者是王哲夫, 指導教授是潘犀靈, 學位類別是碩士, 畢業學年度是102, 論文名稱(外文)是Fabrication of Si-rich Silicon Carbide Film and Solar Cells by Low-Temperature Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, 系所名稱是物理系, 學校名稱是國立清華大學.

論文名稱低溫電漿輔助化學氣相沉積法成長富矽碳化矽薄膜之薄膜太陽能電池
論文名稱(外文)Fabrication of Si-rich Silicon Carbide Film and Solar Cells by Low-Temperature Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
學校名稱國立清華大學
系所名稱物理系
畢業學年度102
學位類別碩士
作者王哲夫
指導教授潘犀靈
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/qn825c

論文名稱

低溫電漿輔助化學氣相沉積法成長富矽碳化矽薄膜之薄膜太陽能電池

論文名稱(外文)

Fabrication of Si-rich Silicon Carbide Film and Solar Cells by Low-Temperature Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

學校名稱

國立清華大學

系所名稱

物理系

畢業學年度

102

學位類別

碩士

作者

王哲夫

指導教授

潘犀靈

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/qn825c

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