應用於極紫外光微影之高反射率多層膜反射鏡設計、製作與特性量測
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論文名稱應用於極紫外光微影之高反射率多層膜反射鏡設計、製作與特性量測的作者是黃信哲, 指導教授是黃遠東 許博淵, 學位類別是碩士, 畢業學年度是102, 論文名稱(外文)是Design, Fabrication, and Characterization of High-Reflectance Multilayer Mirrors for Extreme Ultra-Violet Lithography, 系所名稱是工學院加速器光源科技與應用碩士學位學程, 學校名稱是國立交通大學.

論文名稱應用於極紫外光微影之高反射率多層膜反射鏡設計、製作與特性量測
論文名稱(外文)Design, Fabrication, and Characterization of High-Reflectance Multilayer Mirrors for Extreme Ultra-Violet Lithography
學校名稱國立交通大學
系所名稱工學院加速器光源科技與應用碩士學位學程
畢業學年度102
學位類別碩士
作者黃信哲
指導教授黃遠東 許博淵
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/fft53b

論文名稱

應用於極紫外光微影之高反射率多層膜反射鏡設計、製作與特性量測

論文名稱(外文)

Design, Fabrication, and Characterization of High-Reflectance Multilayer Mirrors for Extreme Ultra-Violet Lithography

學校名稱

國立交通大學

系所名稱

工學院加速器光源科技與應用碩士學位學程

畢業學年度

102

學位類別

碩士

作者

黃信哲

指導教授

黃遠東 許博淵

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/fft53b

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藍光光電材料之研究與其發光之應用

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