以低溫電漿輔助化學氣相沉積多層碳氮化矽/電漿聚合高分子水氣阻障膜
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論文名稱以低溫電漿輔助化學氣相沉積多層碳氮化矽/電漿聚合高分子水氣阻障膜的作者是周宏宇, 指導教授是呂志鵬, 學位類別是碩士, 畢業學年度是102, 論文名稱(外文)是Low-temperature PECVD deposited SiCxNy/Plasma-polymerized polymer multi-layered moisture barrier, 系所名稱是材料科學與工程學系所, 學校名稱是國立交通大學.
論文名稱 | 以低溫電漿輔助化學氣相沉積多層碳氮化矽/電漿聚合高分子水氣阻障膜 |
論文名稱(外文) | Low-temperature PECVD deposited SiCxNy/Plasma-polymerized polymer multi-layered moisture barrier |
學校名稱 | 國立交通大學 |
系所名稱 | 材料科學與工程學系所 |
畢業學年度 | 102 |
學位類別 | 碩士 |
作者 | 周宏宇 |
指導教授 | 呂志鵬 |
博碩士論文網址 | https://hdl.handle.net/11296/m2b367 |
論文名稱以低溫電漿輔助化學氣相沉積多層碳氮化矽/電漿聚合高分子水氣阻障膜 |
論文名稱(外文)Low-temperature PECVD deposited SiCxNy/Plasma-polymerized polymer multi-layered moisture barrier |
學校名稱國立交通大學 |
系所名稱材料科學與工程學系所 |
畢業學年度102 |
學位類別碩士 |
作者周宏宇 |
指導教授呂志鵬 |
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/m2b367 |