混合高功率脈衝磁控濺鍍和射頻濺鍍進行氮化鉻釩薄膜的製備及研究
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論文名稱混合高功率脈衝磁控濺鍍和射頻濺鍍進行氮化鉻釩薄膜的製備及研究的作者是張博為, 指導教授是李志偉, 學位類別是碩士, 畢業學年度是103, 論文名稱(外文)是Hybrid high-power impulse magnetron sputtering and radio frequency sputtering deposition of chromium vanadium nitride coating, 系所名稱是材料工程系碩士班, 學校名稱是明志科技大學.

論文名稱混合高功率脈衝磁控濺鍍和射頻濺鍍進行氮化鉻釩薄膜的製備及研究
論文名稱(外文)Hybrid high-power impulse magnetron sputtering and radio frequency sputtering deposition of chromium vanadium nitride coating
學校名稱明志科技大學
系所名稱材料工程系碩士班
畢業學年度103
學位類別碩士
作者張博為
指導教授李志偉
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/s8473b

論文名稱

混合高功率脈衝磁控濺鍍和射頻濺鍍進行氮化鉻釩薄膜的製備及研究

論文名稱(外文)

Hybrid high-power impulse magnetron sputtering and radio frequency sputtering deposition of chromium vanadium nitride coating

學校名稱

明志科技大學

系所名稱

材料工程系碩士班

畢業學年度

103

學位類別

碩士

作者

張博為

指導教授

李志偉

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/s8473b

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張博為

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張博為

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張博為83084201核准設立

臺北市大同區甘谷街26號5樓
張博為83205578核准設立

臺北市文山區興隆路1段263號1樓
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