利用射頻磁控濺鍍法在石英基板上製備之五氧化二鉭光波導與微環
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論文名稱利用射頻磁控濺鍍法在石英基板上製備之五氧化二鉭光波導與微環的作者是郭力齊, 指導教授是李晁逵朱安國洪玉珠, 學位類別是碩士, 畢業學年度是103, 論文名稱(外文)是Optical Waveguides and Microrings Fabricated using Ta2O5 Thin Films Grown by RF Magnetic Sputtering on Quartz Substrates, 系所名稱是光電工程學系研究所, 學校名稱是國立中山大學.

論文名稱	利用射頻磁控濺鍍法在石英基板上製備之五氧化二鉭光波導與微環
論文名稱(外文)	Optical Waveguides and Microrings Fabricated using Ta2O5 Thin Films Grown by RF Magnetic Sputtering on Quartz Substrates
學校名稱	國立中山大學
系所名稱	光電工程學系研究所
畢業學年度	103
學位類別	碩士
作者	郭力齊
指導教授	李晁逵朱安國洪玉珠
博碩士論文網址	https://hdl.handle.net/11296/s9eu5m

論文名稱

利用射頻磁控濺鍍法在石英基板上製備之五氧化二鉭光波導與微環

論文名稱(外文)

Optical Waveguides and Microrings Fabricated using Ta2O5 Thin Films Grown by RF Magnetic Sputtering on Quartz Substrates

學校名稱

國立中山大學

系所名稱

光電工程學系研究所

畢業學年度

103

學位類別

碩士

作者

郭力齊

指導教授

李晁逵朱安國洪玉珠

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/s9eu5m

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