共同佈植碳對磷去活化的影響
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論文名稱共同佈植碳對磷去活化的影響的作者是戴志銘, 指導教授是張睿達, 學位類別是碩士, 畢業學年度是103, 論文名稱(外文)是Effects of Carbon Coimplantation on Phosphorus Deactivation in Silicon, 系所名稱是電子工程學系, 學校名稱是長庚大學.

論文名稱共同佈植碳對磷去活化的影響
論文名稱(外文)Effects of Carbon Coimplantation on Phosphorus Deactivation in Silicon
學校名稱長庚大學
系所名稱電子工程學系
畢業學年度103
學位類別碩士
作者戴志銘
指導教授張睿達
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/zeq8uf

論文名稱

共同佈植碳對磷去活化的影響

論文名稱(外文)

Effects of Carbon Coimplantation on Phosphorus Deactivation in Silicon

學校名稱

長庚大學

系所名稱

電子工程學系

畢業學年度

103

學位類別

碩士

作者

戴志銘

指導教授

張睿達

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/zeq8uf

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