利用結構設計增加壓電麥克風感測靈敏度
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論文名稱利用結構設計增加壓電麥克風感測靈敏度的作者是林仲彥, 指導教授是方維倫, 學位類別是碩士, 畢業學年度是104, 論文名稱(外文)是Sensitivity Improvement of MEMS Piezoelectric Microphone Using Structural Design, 系所名稱是奈米工程與微系統研究所, 學校名稱是國立清華大學.

論文名稱利用結構設計增加壓電麥克風感測靈敏度
論文名稱(外文)Sensitivity Improvement of MEMS Piezoelectric Microphone Using Structural Design
學校名稱國立清華大學
系所名稱奈米工程與微系統研究所
畢業學年度104
學位類別碩士
作者林仲彥
指導教授方維倫
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/p648d8

論文名稱

利用結構設計增加壓電麥克風感測靈敏度

論文名稱(外文)

Sensitivity Improvement of MEMS Piezoelectric Microphone Using Structural Design

學校名稱

國立清華大學

系所名稱

奈米工程與微系統研究所

畢業學年度

104

學位類別

碩士

作者

林仲彥

指導教授

方維倫

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/p648d8

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