鑑定與製備微孔型非結晶二氧化矽低介電薄膜
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論文名稱鑑定與製備微孔型非結晶二氧化矽低介電薄膜的作者是陳翰儀, 指導教授是萬本儒, 學位類別是碩士, 畢業學年度是104, 論文名稱(外文)是Characterization and Preparation of Microporous Non-crystalline Silica Low-k Films, 系所名稱是化學工程學研究所, 學校名稱是國立臺灣大學.

論文名稱鑑定與製備微孔型非結晶二氧化矽低介電薄膜
論文名稱(外文)Characterization and Preparation of Microporous Non-crystalline Silica Low-k Films
學校名稱國立臺灣大學
系所名稱化學工程學研究所
畢業學年度104
學位類別碩士
作者陳翰儀
指導教授萬本儒
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/nvr3ud

論文名稱

鑑定與製備微孔型非結晶二氧化矽低介電薄膜

論文名稱(外文)

Characterization and Preparation of Microporous Non-crystalline Silica Low-k Films

學校名稱

國立臺灣大學

系所名稱

化學工程學研究所

畢業學年度

104

學位類別

碩士

作者

陳翰儀

指導教授

萬本儒

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/nvr3ud

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