利用富矽二氧化矽薄膜形成奈米矽晶通道研究
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論文名稱利用富矽二氧化矽薄膜形成奈米矽晶通道研究的作者是鄭惟之, 指導教授是甘炯耀, 學位類別是碩士, 畢業學年度是104, 論文名稱(外文)是Formation of nano silicon channel with thin silicon-rich silicon oxide, 系所名稱是材料科學工程學系, 學校名稱是國立清華大學.

論文名稱利用富矽二氧化矽薄膜形成奈米矽晶通道研究
論文名稱(外文)Formation of nano silicon channel with thin silicon-rich silicon oxide
學校名稱國立清華大學
系所名稱材料科學工程學系
畢業學年度104
學位類別碩士
作者鄭惟之
指導教授甘炯耀
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/yru484

論文名稱

利用富矽二氧化矽薄膜形成奈米矽晶通道研究

論文名稱(外文)

Formation of nano silicon channel with thin silicon-rich silicon oxide

學校名稱

國立清華大學

系所名稱

材料科學工程學系

畢業學年度

104

學位類別

碩士

作者

鄭惟之

指導教授

甘炯耀

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/yru484

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