電漿輔助化學氣相沈積碳化氮及碳氮化矽薄膜之結構與光學性質
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論文名稱電漿輔助化學氣相沈積碳化氮及碳氮化矽薄膜之結構與光學性質的作者是張瑞閔, 指導教授是呂志鵬, 學位類別是碩士, 畢業學年度是105, 論文名稱(外文)是Structure and optical properties of carbon nitride and silicon carbonitride films prepared by PECVD, 系所名稱是材料科學與工程學系所, 學校名稱是國立交通大學.

論文名稱電漿輔助化學氣相沈積碳化氮及碳氮化矽薄膜之結構與光學性質
論文名稱(外文)Structure and optical properties of carbon nitride and silicon carbonitride films prepared by PECVD
學校名稱國立交通大學
系所名稱材料科學與工程學系所
畢業學年度105
學位類別碩士
作者張瑞閔
指導教授呂志鵬
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/t992gz

論文名稱

電漿輔助化學氣相沈積碳化氮及碳氮化矽薄膜之結構與光學性質

論文名稱(外文)

Structure and optical properties of carbon nitride and silicon carbonitride films prepared by PECVD

學校名稱

國立交通大學

系所名稱

材料科學與工程學系所

畢業學年度

105

學位類別

碩士

作者

張瑞閔

指導教授

呂志鵬

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/t992gz

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