爐管氮化矽均勻度改善之研究
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論文名稱爐管氮化矽均勻度改善之研究的作者是張治文, 指導教授是謝振中, 學位類別是碩士, 畢業學年度是105, 論文名稱(外文)是Study on Improvement of Uniformity of Silicon Nitride in Furnace, 系所名稱是電機與電子工程系, 學校名稱是大華科技大學.

論文名稱	爐管氮化矽均勻度改善之研究
論文名稱(外文)	Study on Improvement of Uniformity of Silicon Nitride in Furnace
學校名稱	大華科技大學
系所名稱	電機與電子工程系
畢業學年度	105
學位類別	碩士
作者	張治文
指導教授	謝振中
博碩士論文網址	https://hdl.handle.net/11296/48wwvy

論文名稱

爐管氮化矽均勻度改善之研究

論文名稱(外文)

Study on Improvement of Uniformity of Silicon Nitride in Furnace

學校名稱

大華科技大學

系所名稱

電機與電子工程系

畢業學年度

105

學位類別

碩士

作者

張治文

指導教授

謝振中

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/48wwvy

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