降低銅晶圓缺陷之鹼性化學機械研磨後清洗液優化配方研發
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論文名稱降低銅晶圓缺陷之鹼性化學機械研磨後清洗液優化配方研發的作者是黃政鈞, 指導教授是林錕松, 學位類別是碩士, 畢業學年度是105, 論文名稱(外文)是Formula Optimization of Alkaline Chemical Mechanical Polishing Cleaning Solution for Reducing the Defects of Copper Wafer, 系所名稱是化學工程與材料科學學系, 學校名稱是元智大學.

論文名稱降低銅晶圓缺陷之鹼性化學機械研磨後清洗液優化配方研發
論文名稱(外文)Formula Optimization of Alkaline Chemical Mechanical Polishing Cleaning Solution for Reducing the Defects of Copper Wafer
學校名稱元智大學
系所名稱化學工程與材料科學學系
畢業學年度105
學位類別碩士
作者黃政鈞
指導教授林錕松
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/3wz4g2

論文名稱

降低銅晶圓缺陷之鹼性化學機械研磨後清洗液優化配方研發

論文名稱(外文)

Formula Optimization of Alkaline Chemical Mechanical Polishing Cleaning Solution for Reducing the Defects of Copper Wafer

學校名稱

元智大學

系所名稱

化學工程與材料科學學系

畢業學年度

105

學位類別

碩士

作者

黃政鈞

指導教授

林錕松

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/3wz4g2

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黃政鈞90895731解散 (核准解散日期: 2023-08-01)

桃園市桃園區南門里22鄰三民路三段286號13樓
黃政鈞96766853核准設立

登記地址: 臺中市中區大墩里民權路122號1樓 | 負責人: 黃政鈞 | 統編: 90895731 | 解散 (核准解散日期: 2023-08-01)

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