兆聲波清洗SiC晶圓技術之研究
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論文名稱兆聲波清洗SiC晶圓技術之研究的作者是游輝隆, 指導教授是李雄, 學位類別是碩士, 畢業學年度是105, 論文名稱(外文)是The research of cleaning process with megasonic waves for SiC wafer, 系所名稱是機械工程學系在職專班, 學校名稱是國立中央大學.

論文名稱兆聲波清洗SiC晶圓技術之研究
論文名稱(外文)The research of cleaning process with megasonic waves for SiC wafer
學校名稱國立中央大學
系所名稱機械工程學系在職專班
畢業學年度105
學位類別碩士
作者游輝隆
指導教授李雄
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/8c5t6j

論文名稱

兆聲波清洗SiC晶圓技術之研究

論文名稱(外文)

The research of cleaning process with megasonic waves for SiC wafer

學校名稱

國立中央大學

系所名稱

機械工程學系在職專班

畢業學年度

105

學位類別

碩士

作者

游輝隆

指導教授

李雄

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/8c5t6j

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