三元合金靶沉積氮化鋁鈦硼及氮化鋁鈦矽硬質薄膜之機械性質與磨潤性能
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論文名稱三元合金靶沉積氮化鋁鈦硼及氮化鋁鈦矽硬質薄膜之機械性質與磨潤性能的作者是蔡孟蒓, 指導教授是張銀祐, 學位類別是碩士, 畢業學年度是106, 論文名稱(外文)是Mechanical Property and Tribological Performance of AlTiBN and AlTiSiN Hard Coatings Using Ternary Alloy Targets, 系所名稱是機械與電腦輔助工程系碩士班, 學校名稱是國立虎尾科技大學.

論文名稱	三元合金靶沉積氮化鋁鈦硼及氮化鋁鈦矽硬質薄膜之機械性質與磨潤性能
論文名稱(外文)	Mechanical Property and Tribological Performance of AlTiBN and AlTiSiN Hard Coatings Using Ternary Alloy Targets
學校名稱	國立虎尾科技大學
系所名稱	機械與電腦輔助工程系碩士班
畢業學年度	106
學位類別	碩士
作者	蔡孟蒓
指導教授	張銀祐
博碩士論文網址	https://hdl.handle.net/11296/8hyug2

論文名稱

三元合金靶沉積氮化鋁鈦硼及氮化鋁鈦矽硬質薄膜之機械性質與磨潤性能

論文名稱(外文)

Mechanical Property and Tribological Performance of AlTiBN and AlTiSiN Hard Coatings Using Ternary Alloy Targets

學校名稱

國立虎尾科技大學

系所名稱

機械與電腦輔助工程系碩士班

畢業學年度

106

學位類別

碩士

作者

蔡孟蒓

指導教授

張銀祐

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/8hyug2

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