溼式蝕刻矽基板上直流磁控濺鍍氮化鋁薄膜特性研究
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論文名稱溼式蝕刻矽基板上直流磁控濺鍍氮化鋁薄膜特性研究的作者是曾凱威, 指導教授是陳至信, 學位類別是碩士, 畢業學年度是106, 論文名稱(外文)是AlN Characteristics Analysis by DC Magnetron Sputtering on Wet Etched Si Substrate, 系所名稱是電子工程研究所, 學校名稱是中原大學.

論文名稱溼式蝕刻矽基板上直流磁控濺鍍氮化鋁薄膜特性研究
論文名稱(外文)AlN Characteristics Analysis by DC Magnetron Sputtering on Wet Etched Si Substrate
學校名稱中原大學
系所名稱電子工程研究所
畢業學年度106
學位類別碩士
作者曾凱威
指導教授陳至信
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/q57yx2

論文名稱

溼式蝕刻矽基板上直流磁控濺鍍氮化鋁薄膜特性研究

論文名稱(外文)

AlN Characteristics Analysis by DC Magnetron Sputtering on Wet Etched Si Substrate

學校名稱

中原大學

系所名稱

電子工程研究所

畢業學年度

106

學位類別

碩士

作者

曾凱威

指導教授

陳至信

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/q57yx2

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高雄市三民區金山路235號
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登記地址: 臺中市石岡區九房里豐勢路山下巷13之3號1樓 | 負責人: 曾凱威 | 統編: 97421766 | 解散 (核准解散日期: 2015-08-31)

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