以 I-Line 光學微影法製作次微米氮化鎵高電子遷移率電晶體之研究
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論文名稱以 I-Line 光學微影法製作次微米氮化鎵高電子遷移率電晶體之研究的作者是劉宜臻, 指導教授是綦振瀛, 學位類別是碩士, 畢業學年度是107, 論文名稱(外文)是Fabrication of Submicron GaN-based HEMTs by I-Line Optical Lithography, 系所名稱是電機工程學系, 學校名稱是國立中央大學.

論文名稱以 I-Line 光學微影法製作次微米氮化鎵高電子遷移率電晶體之研究
論文名稱(外文)Fabrication of Submicron GaN-based HEMTs by I-Line Optical Lithography
學校名稱國立中央大學
系所名稱電機工程學系
畢業學年度107
學位類別碩士
作者劉宜臻
指導教授綦振瀛
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/723b2t

論文名稱

以 I-Line 光學微影法製作次微米氮化鎵高電子遷移率電晶體之研究

論文名稱(外文)

Fabrication of Submicron GaN-based HEMTs by I-Line Optical Lithography

學校名稱

國立中央大學

系所名稱

電機工程學系

畢業學年度

107

學位類別

碩士

作者

劉宜臻

指導教授

綦振瀛

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/723b2t

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劉宜臻54008681核准設立

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