以反應式射頻磁控濺鍍(HfNbSiTaZr)CxNy多元碳氮化物薄膜之微結構與特性分析
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論文名稱以反應式射頻磁控濺鍍(HfNbSiTaZr)CxNy多元碳氮化物薄膜之微結構與特性分析的作者是曾柏恩, 指導教授是廖信德林俊銘, 學位類別是碩士, 畢業學年度是108, 論文名稱(外文)是A study of the microstructure and characterization of the Multi-element (HfNbSiTaZr)CxNy thin films prepared by reactive radio frequency magnetron spu..., 系所名稱是機械工程系精密機電工程碩士班, 學校名稱是明新科技大學.

論文名稱	以反應式射頻磁控濺鍍(HfNbSiTaZr)CxNy多元碳氮化物薄膜之微結構與特性分析
論文名稱(外文)	A study of the microstructure and characterization of the Multi-element (HfNbSiTaZr)CxNy thin films prepared by reactive radio frequency magnetron sputtering
學校名稱	明新科技大學
系所名稱	機械工程系精密機電工程碩士班
畢業學年度	108
學位類別	碩士
作者	曾柏恩
指導教授	廖信德林俊銘
博碩士論文網址	https://hdl.handle.net/11296/fjs8r8

論文名稱

以反應式射頻磁控濺鍍(HfNbSiTaZr)CxNy多元碳氮化物薄膜之微結構與特性分析

論文名稱(外文)

A study of the microstructure and characterization of the Multi-element (HfNbSiTaZr)CxNy thin films prepared by reactive radio frequency magnetron sputtering

學校名稱

明新科技大學

系所名稱

機械工程系精密機電工程碩士班

畢業學年度

108

學位類別

碩士

作者

曾柏恩

指導教授

廖信德林俊銘

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/fjs8r8

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曾柏恩	職稱: 董事 \| 持有股份數: 150000 \| 所代表法人: \| 穿透角股份有限公司 \| 統一編號: 53434552 @ 董監事資料集
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曾柏恩

職稱: 董事 | 持有股份數: 150000 | 所代表法人: | 穿透角股份有限公司 | 統一編號: 53434552

@ 董監事資料集

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