動態量測拋光墊系統於修整性能與銅膜晶圓化學機械平坦化之相關性研究
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論文名稱動態量測拋光墊系統於修整性能與銅膜晶圓化學機械平坦化之相關性研究的作者是廖偉程, 指導教授是陳炤彰, 學位類別是碩士, 畢業學年度是108, 論文名稱(外文)是Study on Correlation between Pad Dressing Performance and Cu-CMP of Pads by Dynamic Measuring System, 系所名稱是機械工程系, 學校名稱是國立臺灣科技大學.

論文名稱動態量測拋光墊系統於修整性能與銅膜晶圓化學機械平坦化之相關性研究
論文名稱(外文)Study on Correlation between Pad Dressing Performance and Cu-CMP of Pads by Dynamic Measuring System
學校名稱國立臺灣科技大學
系所名稱機械工程系
畢業學年度108
學位類別碩士
作者廖偉程
指導教授陳炤彰
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/27tm26

論文名稱

動態量測拋光墊系統於修整性能與銅膜晶圓化學機械平坦化之相關性研究

論文名稱(外文)

Study on Correlation between Pad Dressing Performance and Cu-CMP of Pads by Dynamic Measuring System

學校名稱

國立臺灣科技大學

系所名稱

機械工程系

畢業學年度

108

學位類別

碩士

作者

廖偉程

指導教授

陳炤彰

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/27tm26

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廖偉程

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臺中市潭子區東寶里雅潭路2段210號1樓
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南投縣中寮鄉永平村永安街101-1號
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