高深寬比矽蝕刻均勻度之改善研究
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論文名稱高深寬比矽蝕刻均勻度之改善研究的作者是劉怡德, 指導教授是張翼 張立, 學位類別是碩士, 畢業學年度是108, 論文名稱(外文)是Study of Improving Etching Uniformity in High Aspect Ratio Silicon Etching Process, 系所名稱是工學院半導體材料與製程設備學程, 學校名稱是國立交通大學.

論文名稱高深寬比矽蝕刻均勻度之改善研究
論文名稱(外文)Study of Improving Etching Uniformity in High Aspect Ratio Silicon Etching Process
學校名稱國立交通大學
系所名稱工學院半導體材料與製程設備學程
畢業學年度108
學位類別碩士
作者劉怡德
指導教授張翼 張立
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/5f4qrd

論文名稱

高深寬比矽蝕刻均勻度之改善研究

論文名稱(外文)

Study of Improving Etching Uniformity in High Aspect Ratio Silicon Etching Process

學校名稱

國立交通大學

系所名稱

工學院半導體材料與製程設備學程

畢業學年度

108

學位類別

碩士

作者

劉怡德

指導教授

張翼 張立

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/5f4qrd

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職稱: 董事 | 持有股份數: 1600000 | 所代表法人: | 長衡資本有限公司 | 統一編號: 52448564

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