氧化鋅薄膜沉積於矽基板上以應用於表面聲波壓力感測器
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論文名稱氧化鋅薄膜沉積於矽基板上以應用於表面聲波壓力感測器的作者是黃靖雲, 指導教授是水瑞鐏, 學位類別是碩士, 畢業學年度是109, 論文名稱(外文)是Deposition of ZnO thin films on Silicon substrate for SAW pressure sensor application, 系所名稱是電子工程系碩士班, 學校名稱是國立虎尾科技大學.

論文名稱	氧化鋅薄膜沉積於矽基板上以應用於表面聲波壓力感測器
論文名稱(外文)	Deposition of ZnO thin films on Silicon substrate for SAW pressure sensor application
學校名稱	國立虎尾科技大學
系所名稱	電子工程系碩士班
畢業學年度	109
學位類別	碩士
作者	黃靖雲
指導教授	水瑞鐏
博碩士論文網址	https://hdl.handle.net/11296/697fy2

論文名稱

氧化鋅薄膜沉積於矽基板上以應用於表面聲波壓力感測器

論文名稱(外文)

Deposition of ZnO thin films on Silicon substrate for SAW pressure sensor application

學校名稱

國立虎尾科技大學

系所名稱

電子工程系碩士班

畢業學年度

109

學位類別

碩士

作者

黃靖雲

指導教授

水瑞鐏

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/697fy2

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