優化沉積條件以改善DRAM產品之鈦薄膜阻值
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論文名稱優化沉積條件以改善DRAM產品之鈦薄膜阻值的作者是林家銘, 指導教授是林勻蔚, 學位類別是碩士, 畢業學年度是109, 論文名稱(外文)是Optimization of the Deposition Condition for Improving the Ti film Resistance of DRAM Products, 系所名稱是智慧系統與應用研究所, 學校名稱是國立陽明交通大學.

論文名稱優化沉積條件以改善DRAM產品之鈦薄膜阻值
論文名稱(外文)Optimization of the Deposition Condition for Improving the Ti film Resistance of DRAM Products
學校名稱國立陽明交通大學
系所名稱智慧系統與應用研究所
畢業學年度109
學位類別碩士
作者林家銘
指導教授林勻蔚
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/j9r97p

論文名稱

優化沉積條件以改善DRAM產品之鈦薄膜阻值

論文名稱(外文)

Optimization of the Deposition Condition for Improving the Ti film Resistance of DRAM Products

學校名稱

國立陽明交通大學

系所名稱

智慧系統與應用研究所

畢業學年度

109

學位類別

碩士

作者

林家銘

指導教授

林勻蔚

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/j9r97p

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臺中市大肚區瑞井里遊園路一段101之6號1樓
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臺中市西屯區上安里上明一街54巷8號1樓
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