製程參數對高功率脈衝磁控濺鍍製備氮化鉬薄膜結構與性質之影響
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論文名稱製程參數對高功率脈衝磁控濺鍍製備氮化鉬薄膜結構與性質之影響的作者是張庭恩, 指導教授是黃嘉宏, 學位類別是碩士, 畢業學年度是109, 論文名稱(外文)是Effects of Process Parameters on Structure and Properties of Molybdenum Nitride Thin Films by High-Power Impulse Magnetron Sputtering, 系所名稱是工程與系統科學系, 學校名稱是國立清華大學.

論文名稱	製程參數對高功率脈衝磁控濺鍍製備氮化鉬薄膜結構與性質之影響
論文名稱(外文)	Effects of Process Parameters on Structure and Properties of Molybdenum Nitride Thin Films by High-Power Impulse Magnetron Sputtering
學校名稱	國立清華大學
系所名稱	工程與系統科學系
畢業學年度	109
學位類別	碩士
作者	張庭恩
指導教授	黃嘉宏
博碩士論文網址	https://hdl.handle.net/11296/kyajnd

論文名稱

製程參數對高功率脈衝磁控濺鍍製備氮化鉬薄膜結構與性質之影響

論文名稱(外文)

Effects of Process Parameters on Structure and Properties of Molybdenum Nitride Thin Films by High-Power Impulse Magnetron Sputtering

學校名稱

國立清華大學

系所名稱

工程與系統科學系

畢業學年度

109

學位類別

碩士

作者

張庭恩

指導教授

黃嘉宏

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/kyajnd

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