光譜監測應用於氮化矽蝕刻製程
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論文名稱光譜監測應用於氮化矽蝕刻製程的作者是張雁雯, 指導教授是林建中, 學位類別是碩士, 畢業學年度是110, 論文名稱(外文)是The Optical Emission Spectroscopy Monitor For Silicon Nitride Etching Process, 系所名稱是光電學院光電科技學程, 學校名稱是國立陽明交通大學.

論文名稱光譜監測應用於氮化矽蝕刻製程
論文名稱(外文)The Optical Emission Spectroscopy Monitor For Silicon Nitride Etching Process
學校名稱國立陽明交通大學
系所名稱光電學院光電科技學程
畢業學年度110
學位類別碩士
作者張雁雯
指導教授林建中
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/7hmxbw

論文名稱

光譜監測應用於氮化矽蝕刻製程

論文名稱(外文)

The Optical Emission Spectroscopy Monitor For Silicon Nitride Etching Process

學校名稱

國立陽明交通大學

系所名稱

光電學院光電科技學程

畢業學年度

110

學位類別

碩士

作者

張雁雯

指導教授

林建中

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/7hmxbw

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張雁雯

職稱: 董事 | 持有股份數: 1450 | 所代表法人: | 盈元機械股份有限公司 | 統一編號: 52941025

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張雁雯

職稱: 董事 | 持有股份數: 1000 | 所代表法人: | 盈捷科技股份有限公司 | 統一編號: 84246443

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臺中市西區公益里忠明南路237號5樓之2
張雁雯92286116核准設立 - 獨資

臺中市霧峰區坑口里中正路692巷18號一樓
張雁雯38870941歇業 - 獨資 (核准文號: 1090878126)

登記地址: 臺中市西區公益里忠明南路237號5樓之2 | 負責人: 張雁雯 | 統編: 92286116 | 核准設立 - 獨資

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