以分子動力學搭配ReaxFF勢能模擬銅矽基板化學機械研磨在不同研磨液下之奈米磨擦行為
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論文名稱以分子動力學搭配ReaxFF勢能模擬銅矽基板化學機械研磨在不同研磨液下之奈米磨擦行為的作者是邱詩庭, 指導教授是陳鐵城, 學位類別是碩士, 畢業學年度是110, 論文名稱(外文)是Atomistic mechanisms of Copper and Silicon substrate CMP in different slurries by Molecular dynamics simulation using ReaxFF reactive force field, 系所名稱是機械工程學系, 學校名稱是國立成功大學.

論文名稱以分子動力學搭配ReaxFF勢能模擬銅矽基板化學機械研磨在不同研磨液下之奈米磨擦行為
論文名稱(外文)Atomistic mechanisms of Copper and Silicon substrate CMP in different slurries by Molecular dynamics simulation using ReaxFF reactive force field
學校名稱國立成功大學
系所名稱機械工程學系
畢業學年度110
學位類別碩士
作者邱詩庭
指導教授陳鐵城
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/mt92x9

論文名稱

以分子動力學搭配ReaxFF勢能模擬銅矽基板化學機械研磨在不同研磨液下之奈米磨擦行為

論文名稱(外文)

Atomistic mechanisms of Copper and Silicon substrate CMP in different slurries by Molecular dynamics simulation using ReaxFF reactive force field

學校名稱

國立成功大學

系所名稱

機械工程學系

畢業學年度

110

學位類別

碩士

作者

邱詩庭

指導教授

陳鐵城

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/mt92x9

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桃園市桃園區新埔六街77號11樓之5
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臺北市內湖區舊宗路2段169號3樓
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