研究晶圓盒依不同迫淨方式在開關門時的濕度比較
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論文名稱研究晶圓盒依不同迫淨方式在開關門時的濕度比較的作者是林少宇, 指導教授是胡石政, 學位類別是碩士, 畢業學年度是111, 論文名稱(外文)是A study on the comparison of relative humidity in the FOUP when the FOUP door is in open or close conditions under different purging flow rates., 系所名稱是能源與冷凍空調工程系, 學校名稱是國立臺北科技大學.

論文名稱研究晶圓盒依不同迫淨方式在開關門時的濕度比較
論文名稱(外文)A study on the comparison of relative humidity in the FOUP when the FOUP door is in open or close conditions under different purging flow rates.
學校名稱國立臺北科技大學
系所名稱能源與冷凍空調工程系
畢業學年度111
學位類別碩士
作者林少宇
指導教授胡石政
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/6wkg97

論文名稱

研究晶圓盒依不同迫淨方式在開關門時的濕度比較

論文名稱(外文)

A study on the comparison of relative humidity in the FOUP when the FOUP door is in open or close conditions under different purging flow rates.

學校名稱

國立臺北科技大學

系所名稱

能源與冷凍空調工程系

畢業學年度

111

學位類別

碩士

作者

林少宇

指導教授

胡石政

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/6wkg97

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林少宇

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耶斯喔! 喔……

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