反應濺鍍 (111) TiC磊晶薄膜於(0001) 4H-SiC晶片之製備及其應用於方向性鑽石膜成長之研究
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論文名稱反應濺鍍 (111) TiC磊晶薄膜於(0001) 4H-SiC晶片之製備及其應用於方向性鑽石膜成長之研究的作者是林靖峰, 指導教授是張立, 學位類別是碩士, 畢業學年度是111, 論文名稱(外文)是Reactive Sputtering Deposition of Epitaxial TiC (111) Buffer Layer on 4H-SiC (0001) and its Application for Oriented Diamond Growth, 系所名稱是材料科學與工程學系所, 學校名稱是國立陽明交通大學.

論文名稱反應濺鍍 (111) TiC磊晶薄膜於(0001) 4H-SiC晶片之製備及其應用於方向性鑽石膜成長之研究
論文名稱(外文)Reactive Sputtering Deposition of Epitaxial TiC (111) Buffer Layer on 4H-SiC (0001) and its Application for Oriented Diamond Growth
學校名稱國立陽明交通大學
系所名稱材料科學與工程學系所
畢業學年度111
學位類別碩士
作者林靖峰
指導教授張立
博碩士論文網址https://hdl.handle.net/11296/vbdfgt

論文名稱

反應濺鍍 (111) TiC磊晶薄膜於(0001) 4H-SiC晶片之製備及其應用於方向性鑽石膜成長之研究

論文名稱(外文)

Reactive Sputtering Deposition of Epitaxial TiC (111) Buffer Layer on 4H-SiC (0001) and its Application for Oriented Diamond Growth

學校名稱

國立陽明交通大學

系所名稱

材料科學與工程學系所

畢業學年度

111

學位類別

碩士

作者

林靖峰

指導教授

張立

博碩士論文網址

https://hdl.handle.net/11296/vbdfgt

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主要產品: 292其他專用機械設備、293通用機械設備、251金屬刀具、手工具及模具 | 統一編號: 34122214 | 工廠登記狀態: 生產中 | 新北市中和區中原里立德街三一一號

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